一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管，所述蒸发管靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管，所述蒸发管的端口处焊接固定有连接法兰，所述连接法兰的一端通过多个固定螺栓固定连接有密封盖，所述螺旋加热管的外周面设置有隔热盖。本装置在使用时，通过蒸发管一侧的螺旋加热管对蒸发管内放置的粉材进行加热，由于螺旋加热管是均匀环绕在蒸发管的外端的，使得能够实现对粉材快速的气化，而且气化更加均匀，防止内部出现积粉的现象，在隔热盖和密封盖的夹层内均设置有真空腔，通过真空腔起到隔热和保温的作用，而且在密封盖内增加了隔热的真空腔，使得在拆卸密封盖向内部进行加料时，不容易出现烫伤的现象。烫伤的现象。烫伤的现象。

【技术实现步骤摘要】
一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构


[0001]本技术属于镀膜
，具体为一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构。

技术介绍

[0002]镀膜设备需要将固态前驱体(即派瑞林粉材)放置于蒸发管内加热成气态，然后输送到温度相对较低的成膜腔体内。
[0003]相关技术中，可参考公告号为CN218372481U的中国专利，具体公开了一种防止管道口积粉的真空设备用蒸发管结构，包括蒸发管、蒸发管法兰、后盖、紧固件和加热器。通过上述方式，本技术杜绝蒸发管管道口积粉的情况发生，不破坏蒸发管路内热平衡特性，沉积膜层质量依旧能够达到保证。
[0004]针对上述相关技术方案，申请人发现：以上加热方式通过一侧增加的加热器进行加热，然后通过将热量传导到蒸发管内，完成对内部粉料的气化，但是以上加热方式，需要经过加热和传导，加热效率不高，气化速度慢，而且当需要将盖体拆卸掉，进行加料时，由于加热器时置于在后盖体内，使得在拆卸掉时，容易出现烫伤事故。
[0005]鉴于此，提出了一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构。
[0007]本技术采用的技术方案如下：一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管，所述蒸发管靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管；
[0008]所述蒸发管的端口处焊接固定有连接法兰，所述连接法兰的一端通过多个固定螺栓固定连接有密封盖；
[0009]所述螺旋加热管的外周面设置有隔热盖，所述隔热盖和密封盖的夹层内均设置有真空腔。
[0010]在一优选的实施方式中，所述密封盖的外端焊接固定有提手。
[0011]在一优选的实施方式中，所述密封盖与连接法兰之间过盈安装有耐高温密封圈。
[0012]在一优选的实施方式中，所述蒸发管的内壁喷涂有特氟龙涂层。
[0013]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术中，通过蒸发管一侧的螺旋加热管对蒸发管内放置的粉材进行加热，由于螺旋加热管是均匀环绕在蒸发管的外端的，使得能够实现对粉材快速的气化，而且气化更加均匀，防止内部出现积粉的现象。
[0015]2、本技术中，通过真空腔起到隔热和保温的作用，而且在密封盖内增加了隔热的真空腔，使得在拆卸密封盖向内部进行加料时，不容易出现烫伤的现象。
附图说明
[0016]图1为本技术整体的立体结构示意图；
[0017]图2为本技术中蒸发管与隔热盖和螺旋加热管组合的侧面剖视平面结构示意简图；
[0018]图3为本技术中螺旋加热管的立体结构示意简图。
[0019]图中标记：1
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隔热盖、2
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提手、3
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固定螺栓、4
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密封盖、5
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连接法兰、6
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蒸发管、7
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真空腔、8
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螺旋加热管。
具体实施方式
[0020]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]参照图1
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3，一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管6，蒸发管6靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管8，通过蒸发管6一侧的螺旋加热管8对蒸发管6内放置的粉材进行加热，由于螺旋加热管8是均匀环绕在蒸发管6的外端的，使得能够实现对粉材快速的气化，而且气化更加均匀，防止内部出现积粉的现象。
[0022]蒸发管6的端口处焊接固定有连接法兰5，连接法兰5的一端通过多个固定螺栓3固定连接有密封盖4，螺旋加热管8的外周面设置有隔热盖1，隔热盖1和密封盖4的夹层内均设置有真空腔7，隔热盖1和密封盖4的夹层内均设置有真空腔7，通过真空腔7起到隔热和保温的作用，而且在密封盖4内增加了隔热的真空腔7，使得在拆卸密封盖4向内部进行加料时，不容易出现烫伤的现象。
[0023]参照图1，密封盖4的外端焊接固定有提手2，增加的提手2可以方便将密封盖4提起，而且在提起的过程中，不与密封盖4其他部分相接触，不容易出现烫伤现象。
[0024]本实施例中，密封盖4与连接法兰5之间过盈安装有耐高温密封圈(图中未示出)，增加的耐高温密封圈能够保证密封盖4与连接法兰5之间连接部分的密封性，防止出现漏粉和漏气现象。
[0025]本实施例中，蒸发管6的内壁喷涂有特氟龙涂层，由于特氟龙涂层具有耐高温、耐磨和自润滑的性能，使得蒸发管内不容易磨损，而且粉料不容易粘附在蒸发管6内部。
[0026]本装置在使用时，通过蒸发管6一侧的螺旋加热管8对蒸发管6内放置的粉材进行加热，由于螺旋加热管8是均匀环绕在蒸发管6的外端的，使得能够实现对粉材快速的气化，而且气化更加均匀，防止内部出现积粉的现象。
[0027]在隔热盖1和密封盖4的夹层内均设置有真空腔7，通过真空腔7起到隔热和保温的作用，而且在密封盖4内增加了隔热的真空腔7，使得在拆卸密封盖4向内部进行加料时，不容易出现烫伤的现象。
[0028]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管(6)，其特征在于：所述蒸发管(6)靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管(8)；所述蒸发管(6)的端口处焊接固定有连接法兰(5)，所述连接法兰(5)的一端通过多个固定螺栓(3)固定连接有密封盖(4)；所述螺旋加热管(8)的外周面设置有隔热盖(1)，所述隔热盖(1)和密封盖(4)的夹层内均设置有真空腔(7)。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：江成龙，
申请(专利权)人：聚能纳米科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：