一种镀膜蒸发室基片固定结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜蒸发室基片固定结构，包括基片固定架和承托架，所述基片固定架的底面均匀环绕设置有多个基片放置槽，所述基片固定架的底面中心处螺纹安装有螺纹杆，所述螺纹杆的上端固定连接有圆锥台，所述基片放置槽靠近圆锥台的一侧均开设有定位孔。首先将基片对应放置在基片放置槽内，在放置后，转动转动把手，在转动的过程中，螺纹杆向内移动，在移动的过程中同步带动圆锥台向内移动，在移动的过程中，受圆锥台坡度的影响，会挤压外周面设置的导向杆向外端一侧移动，在移动的过程中，会带动固定压板向外移动，从而对放置在基片放置槽内的基片进行固定，以上方式能够同步对多个基片进行固定，能够提高整体的镀膜速率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜蒸发室基片固定结构


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体为一种镀膜蒸发室基片固定结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，完成镀膜操作，在镀膜之前需要将基片对应安装在基片固定架内。
[0003]相关技术中，可参考公告号为CN213507181U的中国专利，具体公开了一种真空镀膜用基片载架夹持装置，包括顶板。本技术的目的在于提供一种真空镀膜用基片载架夹持装置，用于在真空镀膜过程中自动化地取放基片载架，提高真空镀膜效率。
[0004]针对上述相关技术方案，申请人发现：为了保证镀膜速率，一般会在基片载架上设置多个放置基片的槽，在放入之后，需要用胶布或着其他固定方式，将基片固定在放置基片的槽内，无疑会增加镀膜之前的准备时间。
[0005]鉴于此，提出了一种镀膜蒸发室基片固定结构。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种镀膜蒸发室基片固定结构。
[0007]本技术采用的技术方案如下：一种镀膜蒸发室基片固定结构，包括基片固定架和承托架，所述基片固定架的底面均匀环绕设置有多个基片放置槽；
[0008]所述基片固定架的底面中心处螺纹安装有螺纹杆，所述螺纹杆的上端固定连接有圆锥台，所述基片放置槽靠近圆锥台的一侧均开设有定位孔，所述定位孔内均设置有固定压板；
[0009]所述固定压板靠近圆锥台的一侧均固定连接有导向杆，所述导向杆的尾端设有与圆锥台斜度相同的斜面；
[0010]所述基片固定架的外周面一体成型有导向环。
[0011]在一优选的实施方式中，所述承托架的下侧内部开设有满足基片固定架放入的放置槽，所述放置槽的两侧内壁上开设有满足导向环插入的导向环槽。
[0012]在一优选的实施方式中，所述导向环槽的两侧外端在承托架上设置有弹簧插杆，所述导向环的两端对应弹簧插杆开设有插孔。
[0013]在一优选的实施方式中，所述基片放置槽的内端和固定压板的另一侧均粘接有硅胶垫。
[0014]在一优选的实施方式中，所述螺纹杆的下端固定连接有转动把手。
[0015]在一优选的实施方式中，所述导向杆的中部外端套设有弹簧，所述弹簧设置在基片固定架内预留的空腔内。
[0016]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0017]1、本技术中，将基片放入到基片放置槽内后，并转动转动把手，在转动的过程中，螺纹杆和圆锥台向上移动，受圆锥台坡度的影响，会挤压导向杆和固定压板向外移动，从而对放置在基片放置槽内的基片进行固定，以上方式能够同步对多个基片进行固定，能够提高整体的镀膜速率。
[0018]2、本技术中，在放入基片之前，向外拽出弹簧插杆，便可将基片固定架拿出，方便向基片固定架上放入基片，当固定基片之后，将基片固定架顺着导向环槽插入并用弹簧插杆锁紧，便可完成对基片固定架的固定，能够实现快速拆装操作，方便放置基片。
附图说明
[0019]图1为本技术整体组合的剖视平面结构示意图；
[0020]图2为图1中A处的放大结构示意简图；
[0021]图3为本技术中基片固定架仰视的平面结构示意简图。
[0022]图中标记：1
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弹簧插杆、2
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承托架、3
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导向环、4
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圆锥台、5
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转动把手、6
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螺纹杆、7
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基片固定架、8
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基片放置槽、9
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硅胶垫、11
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空腔、12
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弹簧、13
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导向杆、14
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定位孔、15
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固定压板。
具体实施方式
[0023]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]参照图1
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3，一种镀膜蒸发室基片固定结构，包括基片固定架7和承托架2，基片固定架7的底面均匀环绕设置有多个基片放置槽8，基片固定架7的底面中心处螺纹安装有螺纹杆6，螺纹杆6的上端固定连接有圆锥台4，基片放置槽8靠近圆锥台4的一侧均开设有定位孔14，定位孔14内均设置有固定压板15，固定压板15靠近圆锥台4的一侧均固定连接有导向杆13，导向杆13的尾端设有与圆锥台4斜度相同的斜面，将基片放入到基片放置槽8内后，转动转动把手5，在转动的过程中，螺纹杆6和圆锥台4向上移动，受圆锥台4坡度的影响，会挤压导向杆13和固定压板15向外移动，从而对放置在基片放置槽8内的基片进行固定，以上方式能够同步对多个基片进行固定，能够提高整体的镀膜速率。
[0025]转动的越深，固定压板15移动的位置越远，能够适用多种尺寸基片的固定。
[0026]其中，圆锥台4整体为上窄下宽。
[0027]参照图1和图3所示，基片固定架7的外周面一体成型有导向环3，承托架2的下侧内部开设有满足基片固定架7放入的放置槽，放置槽的两侧内壁上开设有满足导向环3插入的导向环槽，导向环槽的两侧外端在承托架2上设置有弹簧插杆1，导向环3的两端对应弹簧插杆1开设有插孔，在放入基片之前，向外拽出弹簧插杆1，便可将基片固定架7拿出，方便向基片固定架7上放入基片，当固定基片之后，将基片固定架7顺着导向环槽插入并用弹簧插杆1锁紧，便可完成对基片固定架7的固定，能够实现快速拆装操作，方便放置基片。
[0028]参照图1和图3所示，基片放置槽8的内端和固定压板15的另一侧均粘接有硅胶垫9，通过带有的硅胶垫9能够在对基片固定时，对基片起到一定的保护作用。
[0029]参照图1所示，螺纹杆6的下端固定连接有转动把手5，带有的转动把手5能够方便
转动螺纹杆6。
[0030]参照图2，导向杆13的中部外端套设有弹簧12，弹簧12设置在基片固定架7内预留的空腔11内，当需要取出基片时，反向转动螺纹杆6，此时圆锥台4向下运动，导向杆13受弹簧12的回弹力便可自动复位，能够方便进行取料操作。
[0031]将基片对应放置在基片放置槽8内，在放置后，转动转动把手5，在转动的过程中，螺纹杆6向内移动，在移动的过程中同步带动圆锥台4向内移动，在移动的过程中，受圆锥台4坡度的影响，会挤压外周面设置的导向杆13向外端一侧移动，在移动的过程中，会带动固定压板15向外移动，从而对放置在基片放置槽8内的基片进行固定，以上方式能够同步对多个基片进行固定，能够提高整体的镀膜速率。
[0032]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜蒸发室基片固定结构，包括基片固定架(7)和承托架(2)，其特征在于：所述基片固定架(7)的底面均匀环绕设置有多个基片放置槽(8)；所述基片固定架(7)的底面中心处螺纹安装有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的上端固定连接有圆锥台(4)，所述基片放置槽(8)靠近圆锥台(4)的一侧均开设有定位孔(14)，所述定位孔(14)内均设置有固定压板(15)；所述固定压板(15)靠近圆锥台(4)的一侧均固定连接有导向杆(13)，所述导向杆(13)的尾端设有与圆锥台(4)斜度相同的斜面；所述基片固定架(7)的外周面一体成型有导向环(3)。2.如权利要求1所述的一种镀膜蒸发室基片固定结构，其特征在于：所述承托架(2)的下侧内部开设有满足基片固定架(7)放入的放置槽，...

【专利技术属性】
技术研发人员：江成龙，
申请(专利权)人：聚能纳米科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：