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本实用新型公开了一种镀膜蒸发室基片固定结构，包括基片固定架和承托架，所述基片固定架的底面均匀环绕设置有多个基片放置槽，所述基片固定架的底面中心处螺纹安装有螺纹杆，所述螺纹杆的上端固定连接有圆锥台，所述基片放置槽靠近圆锥台的一侧均开设有定位孔...
该专利属于聚能纳米科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚能纳米科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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