一种真空镀膜机的抽气机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的抽气机构，包括镀膜机体，所述镀膜机体的上端内壁一体成型有抽真空罩。在抽真空时，真空泵工作将内部的气体抽出，在抽出的过程中，通过过滤网能防止镀膜机体内的杂质抽入到真空泵内损坏真空泵，提高设备的运形稳定；同时在镀膜机体一侧增加了数显电子压力表，当内部压力到达设置的真空范围内，通过数显电子压力表将数据传入到控制台内，在通过控制主板控制电磁阀关闭，完成自动密封功能，同时在抽真空的过程中，通过带有的计时组件进行计时，当到达设置时间范围内，依然未抽成真空，说明有某个部位出现漏气现象，此时声光报警器报警，提醒人员需要维护，能够对内部的漏气情况进行实时检测。能够对内部的漏气情况进行实时检测。能够对内部的漏气情况进行实时检测。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的抽气机构


[0001]本技术属于镀膜机
，具体为一种真空镀膜机的抽气机构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射等很多种，真空镀膜机在工作的时候，抽气系统可将真空室内的气体抽走，使真空室内持续处于负压真空状态，以保证基片镀膜的质量。
[0003]目前抽气机构在工作时，当内部抽到对应的真空压力时，此时真空泵自动关闭，完成一次真空抽取操作，但是真空镀膜机需要密封的位置很多，在实际使用过程中(如门体开开合合导致密封条产生部分磨损和脱落等)经常会出现密封位置的密封效果变差，从而导致真空抽取的时间变长，如不及时处理，会影响到后阶段的镀膜效果，目前的抽气机构只具备单一的抽气效果，无法知晓真空镀膜机上是否出现漏气现象，影响到了真空镀膜机整体的工作质量。
[0004]鉴于此，提出了一种真空镀膜机的抽气机构。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种真空镀膜机的抽气机构。
[0006]本技术采用的技术方案如下：一种真空镀膜机的抽气机构，包括镀膜机体，所述镀膜机体的上端内壁一体成型有抽真空罩，所述抽真空罩上安装有可拆的过滤网；
[0007]所述镀膜机体的上端外壁一体成型有与抽真空罩相连通的连接头，所述连接头上端设置有真空管，所述真空管的尾端固定连接有真空泵，所述真空管上设置有电磁阀；
[0008]所述镀膜机体的左侧上端设置有与镀膜机体相连通的数显电子压力表，所述镀膜机体的一侧设置有控制台，所述控制台内置有控制主板和计时组件。
[0009]在一优选的实施方式中，所述过滤网的两端固定连接有滑块，所述抽真空罩的两侧内壁开设有满足滑块滑入的滑槽。
[0010]在一优选的实施方式中，所述滑槽的两侧在抽真空罩上安装有弹簧插杆，所述滑块上开设有满足弹簧插杆插入的通孔。
[0011]在一优选的实施方式中，所述真空管的头端固定连接有连接接头，所述连接接头螺纹安装在连接头上，所述连接接头与连接头之间过盈安装有密封圈。
[0012]在一优选的实施方式中，所述控制主板与真空泵、电磁阀、计时组件和数显电子压力表电性连接。
[0013]在一优选的实施方式中，所述镀膜机体左侧上端设置有声光报警器，所述声光报警器与控制主板电性连接。
[0014]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0015]1、本技术中，在镀膜机体一侧增加了数显电子压力表，当内部压力到达设置
的真空范围内，通过数显电子压力表将数据传入到控制台内，在通过控制主板控制电磁阀关闭，完成自动密封功能，降低出现跑气的现象。
[0016]2、本技术中，抽真空时，真空泵工作将内部的气体抽出，在抽出的过程中，通过过滤网能防止镀膜机体内的杂质抽入到真空泵内损坏真空泵，提高设备的运形稳定。
[0017]2、本技术中，抽真空的过程中，通过带有的计时组件进行计时，当到达设置时间范围内，依然未抽成真空，说明有某个部位出现漏气现象，此时声光报警器报警，提醒人员需要维护，能够对内部的漏气情况进行实时检测。
附图说明
[0018]图1为本技术中整体的结构示意图；
[0019]图2为图1中A处的放大结构示意简图；
[0020]图3为本技术中整体的系统结构框图。
[0021]图中标记：1
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控制台、2
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数显电子压力表、3
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声光报警器、4
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真空管、5
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电磁阀、6
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真空泵、7
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镀膜机体、8
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连接接头、9
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密封圈、10
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连接头、11
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弹簧插杆、12
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滑块、13
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抽真空罩、14
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过滤网、15
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控制主板、16
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计时组件。
具体实施方式
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0023]参照图1
‑
3，一种真空镀膜机的抽气机构，包括镀膜机体7，镀膜机体7的上端内壁一体成型有抽真空罩13，抽真空罩13上安装有可拆的过滤网14，在抽出的过程中，通过过滤网14能防止镀膜机体7内的杂质抽入到真空泵6内损坏真空泵6，提高设备的运形稳定。
[0024]镀膜机体7的上端外壁一体成型有与抽真空罩13相连通的连接头10，连接头10上端设置有真空管4，真空管4的尾端固定连接有真空泵6，真空管4上设置有电磁阀5，镀膜机体7的左侧上端设置有与镀膜机体7相连通的数显电子压力表2，镀膜机体7的一侧设置有控制台1，控制台1内置有控制主板15和计时组件16，在抽真空时，真空泵6工作将内部的气体抽出，当内部压力到达设置的真空范围内，通过数显电子压力表2将数据传入到控制台1内，在通过控制主板15控制电磁阀5关闭，完成自动密封功能。
[0025]参照图1和图2所示，过滤网14的两端固定连接有滑块12，抽真空罩13的两侧内壁开设有满足滑块12滑入的滑槽，滑槽的两侧在抽真空罩13上安装有弹簧插杆11，滑块12上开设有满足弹簧插杆11插入的通孔，当需要对过滤网14进行清理时，向外拽出弹簧插杆11，然后便可将过滤网14顺着滑槽拿出，进行清理。
[0026]安装时，先将弹簧插杆11向外拽出，然后将过滤网14的滑块12顺着滑槽放出，放入后，松掉弹簧插杆11，弹簧插杆11受弹簧回弹力自动锁入到通孔内，便可完成对过滤网14的安装，能够实现快拆快安操作。
[0027]本实施例中，真空管4的头端固定连接有连接接头8，连接接头8螺纹安装在连接头10上，连接接头8与连接头10之间过盈安装有密封圈9，以上组合方式能够保证连接部分的密封效果，在使用时不容易出现漏气的现象。
[0028]需要提及的是，真空管4与真空泵6的连接部分以及其他类似管道连接部分均采用以上连接方式，就不在详细说明。
[0029]本实施例中，控制主板15与真空泵6、电磁阀5、计时组件16和数显电子压力表2电性连接，镀膜机体7左侧上端设置有声光报警器3，声光报警器3与控制主板15电性连接，在抽真空的过程中，通过带有的计时组件16进行计时，当到达设置时间范围内，依然未抽成真空，说明有某个部位出现漏气现象，此时声光报警器3报警，提醒人员需要维护，能够对内部的漏气情况进行实时检测。
[0030]需要说明的是，以上电性连接方式为现有技术中常用的连接方式，具体结构和具体电路就不在详细说明。
[0031]在抽真空时，真空泵6工作将内部的气体抽出，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的抽气机构，包括镀膜机体(7)，其特征在于：所述镀膜机体(7)的上端内壁一体成型有抽真空罩(13)，所述抽真空罩(13)上安装有可拆的过滤网(14)；所述镀膜机体(7)的上端外壁一体成型有与抽真空罩(13)相连通的连接头(10)，所述连接头(10)上端设置有真空管(4)，所述真空管(4)的尾端固定连接有真空泵(6)，所述真空管(4)上设置有电磁阀(5)；所述镀膜机体(7)的左侧上端设置有与镀膜机体(7)相连通的数显电子压力表(2)，所述镀膜机体(7)的一侧设置有控制台(1)，所述控制台(1)内置有控制主板(15)和计时组件(16)。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的抽气机构，其特征在于：所述过滤网(14)的两端固定连接有滑块(12)，所述抽真空罩(13)的两侧内壁开设有满足滑块(12)滑入的滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙瑞雪，江成龙，
申请(专利权)人：聚能纳米科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：