【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜机，具体是一种真空镀膜机。
技术介绍
1、真空镀膜机的种类多种多样，因为其采用的镀膜原理各不相同，包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延、pld激光溅射沉积等，主要思路是分成蒸发和溅射两种，根据不同的产品特性选择不同类型的镀膜机，其中需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。
2、现有技术中在对基片进行真空镀膜时，大多通过旋转机构带动基片在镀膜机本体内部不断的旋转，使得靶材能够均匀的沉降在基片表面，但旋转机构需要借助夹持部件才能带动基片旋转，通过夹持部件对基片进行固定，靶材无法沉降在夹持部件与基片接触的位置，基片存在一定的镀膜死角，因此需要频繁的调整基片的夹持位置才能实现对基片的全面镀膜，降低了镀膜效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种真空镀膜机，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体内部固定连接有呈对称分布的限位板，限位板内部均设有槽体，槽体内部均设有呈对称分布的夹具，夹具连接有转动机构，转动机构用于带动夹具圆周运动，其中夹具内部设有夹持机构，夹持机构用于基片的固定，所述夹具连接有推杆，推杆贯穿夹具，所述槽体内壁上设有凹槽，其中一个所述推杆位于凹槽内部，所述凹槽内部设有推动机构，推动机构用于将推杆推入到夹具内部。
4、进一步的：所述转动机构包括安装在镀膜机本体侧壁上的电机，电
5、进一步的：所述推动机构包括设置在凹槽内部的抵杆，所述抵杆贯穿限位板并与其滑动连接，抵杆贯穿限位板的一端固定连接有第一凸起，第一凸起通过第一弹性部件与限位板侧壁相连接，其中抵杆连接有自锁组件，当抵杆端部与槽体内壁对齐时，自锁组件用于抵杆的固定。
6、进一步的：所述自锁组件包括设置在凹槽侧壁上的滑槽，滑槽内部滑动连接有卡块，卡块一端与抵杆侧壁抵触连接，卡块另一端贯穿限位板侧壁并固定连接有第二凸起，第二凸起通过第二弹性部件与限位板侧壁相连接，所述抵杆侧壁上设有与卡块相适配的卡槽。
7、进一步的：所述夹持机构包括设置在夹具内部且呈对称分布的夹块，夹块通过第三弹性部件与夹具内壁相连接，所述夹具内部设有推板，推杆转动连接有连杆，其中推杆位于夹具内部的一端与连杆转动连接，所述推板通过传动组件与两个所述夹块相连接，传动组件用于将推板受到的力传递给夹块，使得夹块能够相互靠近，从而完成基片的固定。
8、进一步的：所述传动组件包括与夹块固定连接的滑杆，滑杆伸入到夹具内部，所述滑杆伸入到夹具内部的一端固定连接有梯形块，所述推板固定连接有呈对称分布的支杆，支杆端部与梯形块斜面抵触连接。
9、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术在槽体内部设有呈对称分布的两个夹具，并且槽体分成圆形和凹陷两部分，通过槽体的圆形内壁对推杆进行挤压，使得夹块能够对基片进行固定，当推杆移动到槽体凹陷的部分时，槽体对推杆的挤压程度降低，夹块与基片分离，通过另一个夹具内部的夹块对基片进行固定，对基片起到了一个换位夹持的目的，使得靶材能够沉降在夹块与基片接触的位置，避免了镀膜死角，不需要频繁的调整基片的夹持位置即可实现对基片的全面镀膜，提高了镀膜效率。
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1.一种真空镀膜机，包括镀膜机本体；其特征在于，所述镀膜机本体内部固定连接有呈对称分布的限位板，限位板内部均设有槽体，槽体内部均设有呈对称分布的夹具，夹具连接有转动机构，转动机构用于带动夹具圆周运动，其中夹具内部设有夹持机构，夹持机构用于基片的固定，所述夹具连接有推杆，推杆贯穿夹具，所述槽体内壁上设有凹槽，其中一个所述推杆位于凹槽内部，所述凹槽内部设有推动机构，推动机构用于将推杆推入到夹具内部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述转动机构包括安装在镀膜机本体侧壁上的电机，电机输出端设有第一齿轮，第一齿轮啮合有第二齿轮，第二齿轮一侧与镀膜机本体内壁转动连接，另一侧与两个所述夹具固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述推动机构包括设置在凹槽内部的抵杆，所述抵杆贯穿限位板并与其滑动连接，抵杆贯穿限位板的一端固定连接有第一凸起，第一凸起通过第一弹性部件与限位板侧壁相连接，其中抵杆连接有自锁组件，当抵杆端部与槽体内壁对齐时，自锁组件用于抵杆的固定。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述第一弹性部件与第二弹性部件均为弹簧。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述夹持机构包括设置在夹具内部且呈对称分布的夹块，夹块通过第三弹性部件与夹具内壁相连接，所述夹具内部设有推板，推杆转动连接有连杆，其中推杆位于夹具内部的一端与连杆转动连接，所述推板通过传动组件与两个所述夹块相连接，传动组件用于将推板受到的力传递给夹块，使得夹块能够相互靠近，从而完成基片的固定。
7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述传动组件包括与夹块固定连接的滑杆，滑杆伸入到夹具内部，所述滑杆伸入到夹具内部的一端固定连接有梯形块，所述推板固定连接有呈对称分布的支杆，支杆端部与梯形块斜面抵触连接。
8.根据权利要求6或7所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述第三弹性部件为弹簧。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机，包括镀膜机本体；其特征在于，所述镀膜机本体内部固定连接有呈对称分布的限位板，限位板内部均设有槽体，槽体内部均设有呈对称分布的夹具，夹具连接有转动机构，转动机构用于带动夹具圆周运动，其中夹具内部设有夹持机构，夹持机构用于基片的固定，所述夹具连接有推杆，推杆贯穿夹具，所述槽体内壁上设有凹槽，其中一个所述推杆位于凹槽内部，所述凹槽内部设有推动机构，推动机构用于将推杆推入到夹具内部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述转动机构包括安装在镀膜机本体侧壁上的电机，电机输出端设有第一齿轮，第一齿轮啮合有第二齿轮，第二齿轮一侧与镀膜机本体内壁转动连接，另一侧与两个所述夹具固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述推动机构包括设置在凹槽内部的抵杆，所述抵杆贯穿限位板并与其滑动连接，抵杆贯穿限位板的一端固定连接有第一凸起，第一凸起通过第一弹性部件与限位板侧壁相连接，其中抵杆连接有自锁组件，当抵杆端部与槽体内壁对齐时，自锁组件用于抵杆的固定。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述自锁组件包...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙瑞雪，江成龙，
申请(专利权)人：聚能纳米科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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