一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，属于光伏电池生产技术领域。本实用新型专利技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，包括进气管路、快充控制阀以及慢充控制阀，进气管路第一端连接外接高压气源，进气管路第二端连通装卸载腔室的腔室内部，快充控制阀与慢充控制阀顺次设置在进气管路上，快充控制阀设置在慢充控制阀靠近进气管路第一端的一侧。本实用新型专利技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，装卸载腔室处于高真空状态时，快充控制阀保持断开状态，开启慢充控制阀，当腔室内的气压上升到一定程度时，开启快充控制阀，气压达到规定状态，断开快充控制阀与慢充控制阀，缩短了充气时长，降低了成本。降低了成本。降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统


[0001]本技术属于光伏电池生产
，具体涉及一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统。

技术介绍

[0002]链式镀膜机设备是一种常见的应用于光伏电池生产加工的设备，链式镀膜设备包括一个装载腔室、一个卸载腔室，N个反应腔室以及设置在任意两个相邻的反应腔室之间的过渡腔室，反应腔室作为光伏电池生产过程中的薄膜生长的反应室，装载腔室及卸载腔室用于进行载片盘的进料及出料，过渡腔室设置在反应腔室之间用于进行载片盘从一个反应腔室到另一个反应腔室的过渡，每个腔室均设置有可控制开关的阀门，在链式镀膜机设备运行过程中，反应腔室需要维持低压环境，过渡腔室需要进行低压和真空环境反复切换，装卸载腔室需要进行真空、低压及常压环境反复切换，实现载片盘的进出循环。当装卸载腔室处在真空状态需要切换成常压状态时，向装卸载腔室内充入一个大气压，装卸载腔室内恢复到大气状态后打开腔室外侧的大气端阀门，载片盘进出装卸载腔室。现有的破真空充气系统的充气口设于装卸载真空腔室外部，高速气体流经充气口进入到真空状态下的装卸载真空腔室内部，高速气体流会直接喷射到载片盘表面，在腔室内形成回旋气流，容易将真空状态下的腔室内的粉尘刮起，粉尘吸附在载片盘上的工件表面，影响工件质量，为了保证工件质量，降低高速气体的流速，导致充气时间延长。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，旨在解决装卸载腔室破真空时充气时间较长的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，包括：进气管路、快充控制阀以及慢充控制阀，所述进气管路第一端连接外接高压气源，所述进气管路第二端连通装卸载腔室的腔室内部，所述快充控制阀与所述慢充控制阀顺次设置在所述进气管路上，所述快充控制阀设置在所述慢充控制阀靠近所述进气管路第一端的一侧。
[0005]在一种可能的实现方式中，所述进气管路上设置有缓冲罐，所述缓冲罐设置在所述快充控制阀与所述慢充控制阀之间。
[0006]在一种可能的实现方式中，所述进气管路上设置有延时控制器，所述延时控制器设置在所述快充控制阀与所述慢充控制阀之间。
[0007]在一种可能的实现方式中，所述延时控制器设置在所述缓冲罐与所述快充控制阀之间。
[0008]在一种可能的实现方式中，所述进气管路第二端设置有充气管路，所述充气管路上设置有充气孔。
[0009]在一种可能的实现方式中，所述充气管路为环形管。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述充气孔沿着所述充气管路的长度方向均匀分布。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述充气管路设置在腔室的内侧壁与载片盘之间。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述充气孔的开口朝向腔室的内侧壁设置。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述进气管路、所述快充控制阀以及所述慢充控制阀分别设置有两组。
[0014]本技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统的有益效果在于：
[0015]与现有技术相比，设置有进气管路、快充控制阀以及慢充控制阀，快充控制阀以及慢充控制阀均设置在进气管路上，慢充控制阀设置在快充控制阀靠近装卸载腔室的一侧，进气管路第一端连接外接高压气源，高压气源产生的高压气流通过进气管路进入装卸载腔室的腔室内部，快充控制阀以及慢充控制阀串联在进气管路上，相对于快充控制阀以及慢充控制阀并联，缩小了体积，缩短了充气时长，降低了成本，真空状态下的装卸载腔室进行破真空时，保持快充控制阀的断开状态，开启慢充控制阀，控制气流缓慢进入腔室内，当腔室气压上升到一定程度时，开启快充控制阀，控制高压气流快速进入腔室内，气压达到规定状态，断开快充控制阀与慢充控制阀，等待下一次破真空操作。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例提供的破真空充气系统的结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例所采用的的充气管路的结构示意图。
[0019]图中：1、进气管路；2、快充控制阀；3、延时控制器；4、缓冲罐；5、慢充控制阀；6、充气管路；7、充气孔；8、外接高压气源；9、装卸载腔室；10、载片盘。
具体实施方式
[0020]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]请参照图1，现对本技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统的一种具体实施方式进行说明，包括：进气管路1、快充控制阀2以及慢充控制阀5，进气管路1第一端连接外接高压气源8，进气管路1第二端连通装卸载腔室9的腔室内部，快充控制阀2与慢充控制阀5顺次设置在进气管路1上，快充控制阀2设置在慢充控制阀5靠近进气管路1第一端的一侧。
[0022]本技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，与现有技术相比，设置有进气管路1、快充控制阀2以及慢充控制阀5，快充控制阀2以及慢充控制阀5均设置在进气管路1上，慢充控制阀5设置在快充控制阀2靠近装卸载腔室9的一侧，进气管路1第一端连接外接高压气源8，高压气源产生的高压气流通过进气管路1进入装卸载腔室9的腔
室内部，快充控制阀2以及慢充控制阀5串联在进气管路1上，相对于快充控制阀2以及慢充控制阀5并联，缩小了体积，缩短了充气时长，降低了成本，真空状态下的装卸载腔室9进行破真空时，保持快充控制阀2的断开状态，开启慢充控制阀5，控制气流缓慢进入腔室内，当腔室气压上升到一定程度时，开启快充控制阀2，控制高压气流快速进入腔室内，气压达到规定状态，断开快充控制阀2与慢充控制阀5，等待下一次破真空操作。
[0023]具体的，请参照图1，设置有进气管路1，在进气管路1上顺次设置有快充控制阀2以及慢充控制阀5，进气管路1第一端连接外接高压气源8，快充控制阀2靠近进气管路1第一端设置，慢充控制阀5靠近装卸载腔室9设置，外接高压气源8产生的高压气体进入进气管路1，顺次经过快充控制阀2、慢充控制阀5，进入装卸载腔室9内，真空状态下的装卸载腔室9进行破真空时，首先打开慢充控制阀5，气流缓慢进入腔室内，腔室内气压到达规定值时，打开快充控制阀2，高压气流快速进入腔室内，气压达到规定值，依次关闭快充控制阀2与慢充控制阀5，等待下一次破真空操作，缩短了充气时长，降低了成本。
[0024]作为本技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统的一种具体实施方式，请参照图1，进气管路1上设置有缓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，其特征在于，包括：进气管路、快充控制阀以及慢充控制阀，所述进气管路第一端连接外接高压气源，所述进气管路第二端连通装卸载腔室的腔室内部，所述快充控制阀与所述慢充控制阀顺次设置在所述进气管路上，所述快充控制阀设置在所述慢充控制阀靠近所述进气管路第一端的一侧，所述进气管路上设置有缓冲罐，所述缓冲罐设置在所述快充控制阀与所述慢充控制阀之间。2.如权利要求1所述的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，其特征在于，所述进气管路上设置有延时控制器，所述延时控制器设置在所述快充控制阀与所述慢充控制阀之间。3.如权利要求2所述的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，其特征在于，所述延时控制器设置在所述缓冲罐与所述快充控制阀之间。4.如权利要求1所述的一种链式镀膜设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张煌军，赵强，韩永清，赵鹏，张志强，冉祖辉，杨川，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：新型
国别省市：