一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，属于光伏电池生产技术领域。本实用新型专利技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，包括进气管路、快充控制阀以及慢充控制阀，进气管路第一端连接外接高压气源，进气管路第二端连通装卸载腔室的腔室内部，快充控制阀与慢充控制阀顺次设置在进气管路上，快充控制阀设置在慢充控制阀靠近进气管路第一端的一侧。本实用新型专利技术提供的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，装卸载腔室处于高真空状态时，快充控制阀保持断开状态，开启慢充控制阀，当腔室内的气压上升到一定程度时，开启快充控制阀，气压达到规定状态，断开快充控制阀与慢充控制阀，缩短了充气时长，降低了成本。降低了成本。降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统


[0001]本技术属于光伏电池生产
，具体涉及一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统。

技术介绍

[0002]链式镀膜机设备是一种常见的应用于光伏电池生产加工的设备，链式镀膜设备包括一个装载腔室、一个卸载腔室，N个反应腔室以及设置在任意两个相邻的反应腔室之间的过渡腔室，反应腔室作为光伏电池生产过程中的薄膜生长的反应室，装载腔室及卸载腔室用于进行载片盘的进料及出料，过渡腔室设置在反应腔室之间用于进行载片盘从一个反应腔室到另一个反应腔室的过渡，每个腔室均设置有可控制开关的阀门，在链式镀膜机设备运行过程中，反应腔室需要维持低压环境，过渡腔室需要进行低压和真空环境反复切换，装卸载腔室需要进行真空、低压及常压环境反复切换，实现载片盘的进出循环。当装卸载腔室处在真空状态需要切换成常压状态时，向装卸载腔室内充入一个大气压，装卸载腔室内恢复到大气状态后打开腔室外侧的大气端阀门，载片盘进出装卸载腔室。现有的破真空充气系统的充气口设于装卸载真空腔室外部，高速气体流经充气口进入到真空状态下的装卸载真空腔室内部，高速气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，其特征在于，包括：进气管路、快充控制阀以及慢充控制阀，所述进气管路第一端连接外接高压气源，所述进气管路第二端连通装卸载腔室的腔室内部，所述快充控制阀与所述慢充控制阀顺次设置在所述进气管路上，所述快充控制阀设置在所述慢充控制阀靠近所述进气管路第一端的一侧，所述进气管路上设置有缓冲罐，所述缓冲罐设置在所述快充控制阀与所述慢充控制阀之间。2.如权利要求1所述的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，其特征在于，所述进气管路上设置有延时控制器，所述延时控制器设置在所述快充控制阀与所述慢充控制阀之间。3.如权利要求2所述的一种链式镀膜设备装卸载腔室破真空充气系统，其特征在于，所述延时控制器设置在所述缓冲罐与所述快充控制阀之间。4.如权利要求1所述的一种链式镀膜设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张煌军，赵强，韩永清，赵鹏，张志强，冉祖辉，杨川，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：新型
国别省市：