【技术实现步骤摘要】
本技术属于太阳能电池制作，具体涉及一种陶瓷环及设置有该种陶瓷环的石墨舟。
技术介绍
1、topcon电池是一种基于选择性载流子原理的太阳能电池，目前，topcon电池中的隧穿氧化层的制备主要有lpcvd、pvd、pecvd和peald四种工艺，其中pecvd和peald两种原位掺杂的工艺均需要用到石墨舟。
2、石墨舟作为对太阳能硅片进行pecvd镀膜时的载体，在进行镀膜时，将插有待镀膜硅片的石墨舟装入pecvd真空镀膜设备中对硅片进行磷掺杂非晶硅镀膜。石墨舟包括绝缘陶瓷环以及可放置太阳能硅片的石墨舟页，绝缘陶瓷环抵接于两个石墨舟页之间，以保证两个石墨舟页之间的间距满足要求，同时还能够将两个与不同电极连接的石墨舟页绝缘隔离，使两片石墨舟页之间形成电场，进而在硅片上沉积非晶硅层。
3、当使用pecvd镀掺杂非晶硅等良导体薄膜时，陶瓷环上会沉积导电薄膜，并随着陶瓷环使用次数以及使用时间的增长而累积，陶瓷环的绝缘性能会逐渐降低，最终会导致陶瓷环变为导体，使石墨舟正负极板间导通，引发工艺不稳定问题，造成产品质量下降、良率下
【技术保护点】
1.一种陶瓷环，其特征在于，包括：陶瓷环本体(1)，所述陶瓷环本体(1)的外表面上设置有环形窄缝(3)，所述环形窄缝(3)倾斜延伸至所述陶瓷环本体(1)内，以使所述环形窄缝(3)的内壁构成圆台侧面。
2.如权利要求1所述的陶瓷环，其特征在于，所述环形窄缝(3)的开口距离所述陶瓷环本体(1)轴端的最短距离L1为1-2mm。
3.如权利要求1所述的陶瓷环，其特征在于，所述环形窄缝(3)的槽底距离所述陶瓷环本体(1)轴端的最短距离L2为1-1.5mm。
4.如权利要求1所述的陶瓷环，其特征在于，所述环形窄缝(3)的槽底距离所述陶瓷环本体(...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷环，其特征在于，包括：陶瓷环本体(1)，所述陶瓷环本体(1)的外表面上设置有环形窄缝(3)，所述环形窄缝(3)倾斜延伸至所述陶瓷环本体(1)内，以使所述环形窄缝(3)的内壁构成圆台侧面。
2.如权利要求1所述的陶瓷环，其特征在于，所述环形窄缝(3)的开口距离所述陶瓷环本体(1)轴端的最短距离l1为1-2mm。
3.如权利要求1所述的陶瓷环，其特征在于，所述环形窄缝(3)的槽底距离所述陶瓷环本体(1)轴端的最短距离l2为1-1.5mm。
4.如权利要求1所述的陶瓷环，其特征在于，所述环形窄缝(3)的槽底距离所述陶瓷环本体(1)内壁的最短距...
【专利技术属性】
技术研发人员：张煌军，杨川，祁兆溪，赵鹏，韩永清，张志强，丁雅红，冉祖辉，何广川，张树骞，
申请(专利权)人：英利能源发展保定有限公司，
类型：新型
国别省市：
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