一种真空蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空蒸镀装置，包括依次设置的进料机构、预热机构和蒸发机构，所述预热机构包括预热坩埚和预热加热模块，所述预热坩埚与所述进料机构连接，所述蒸发机构包括蒸发坩埚和蒸发加热模块，所述蒸发坩埚和预热坩埚通过出料通道连通，所述进料机构用于将金属蒸镀材料输送到所述预热坩埚内，所述预热加热模块用于对所述预热坩埚加热，所述蒸发加热模块用于对所述蒸发坩埚加热。本实用新型专利技术可保证镀层厚度的一致性，且可提高镀膜产品的质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体的是涉及一种真空蒸镀装置。

技术介绍

[0002]真空蒸镀是一种在薄膜表面沉积金属的生产工艺，其主要原理为：将待蒸镀的材料送入蒸发坩埚中，在蒸发坩埚中对待蒸镀材料进行加热蒸发，蒸发的蒸镀材料在真空条件下，以原子或者原子团的形式向上沉积到从蒸发坩埚上方经过的薄膜的表面上，从而在薄膜的表面上形成一层镀层。
[0003]现有的蒸镀装置在进行蒸镀的过程中，其通常是通过送料机构将金属蒸镀材料不断地送入蒸发坩埚内进行加热蒸发，由于金属蒸镀材料的进料速度不稳定，容易导致蒸发坩埚内融化的金属液的温度发生剧烈波动，从而导致蒸发速率产生波动，蒸发速率的不一致往往会导致薄膜的表面上形成的镀层厚度的不一致。并且，金属蒸镀材料中往往存在部分杂质，直接将金属蒸镀材料送入到蒸发坩埚内进行加热蒸发，金属蒸镀材料中的杂质也可能会沉积到薄膜的表面上。
[0004]因此，亟需一种真空蒸镀装置来解决上述的技术问题。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种真空蒸镀装置，可保证镀层厚度的一致性，且可减少沉积到薄膜表面上的杂质，提高了镀膜产品的质量。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0007]一种真空蒸镀装置，包括依次设置的进料机构、预热机构和蒸发机构，所述预热机构包括预热坩埚和预热加热模块，所述预热坩埚与所述进料机构连接，所述蒸发机构包括蒸发坩埚和蒸发加热模块，所述蒸发坩埚和预热坩埚通过出料通道连通，所述进料机构用于将金属蒸镀材料输送到所述预热坩埚内，所述预热加热模块用于对所述预热坩埚加热，所述蒸发加热模块用于对所述蒸发坩埚加热。
[0008]作为优选的技术方案，所述进料机构包括进料通道、加料仓和驱动件，所述加料仓的底端与所述进料通道连通，所述进料通道的一端设有所述驱动件，另一端与所述预热坩埚连通，所述进料通道内设有螺旋输送杆，所述螺旋输送杆的长度方向与所述进料通道的长度方向相同，所述螺旋输送杆的一端与所述驱动件连接，所述驱动件用于驱动所述螺旋输送杆在所述进料通道内转动。
[0009]作为优选的技术方案，所述进料通道包括第一部分和第二部分，所述加料仓的底端与所述第一部分连通，所述第一部分内设有所述螺旋输送杆，所述第一部分的一端设有所述驱动件，另一端伸入到所述预热坩埚内并连接有所述第二部分，所述第二部分的远离所述第一部分的一端与所述预热坩埚内的底部相靠近，所述第二部分分别与所述第一部分、预热坩埚连通。
[0010]作为优选的技术方案，所述出料通道位于所述蒸发坩埚和预热坩埚相靠近的一侧
之间，所述出料通道与所述预热坩埚的底端之间的距离大于所述预热坩埚的高度的一半。
[0011]作为优选的技术方案，所述蒸发坩埚的蒸发口的一侧沿靠近所述蒸发口的方向依次设置有电子枪和两个呈上下平行设置的扫描线圈，所述两个扫描线圈之间具有空间，所述电子枪的输出端与所述空间相对。
[0012]作为优选的技术方案，所述蒸发坩埚的上方设有电极板，所述电极板和蒸发坩埚分别与电源的负极、正极连接。
[0013]作为优选的技术方案，所述蒸发坩埚为收口坩埚。
[0014]作为优选的技术方案，所述金属蒸镀材料为金属丝、金属粉末或金属颗粒。
[0015]作为优选的技术方案，所述预热加热模块和蒸发加热模块均包括多个加热丝，所述预热加热模块的多个加热丝设置在所述预热坩埚的四侧外壁以及底端上，所述蒸发加热模块的多个加热丝设置在所述蒸发坩埚的四侧外壁以及底端上。
[0016]作为优选的技术方案，所述预热加热模块为所述预热坩埚外接的预热电压，所述蒸发加热模块为所述蒸发坩埚外接的蒸发电压。
[0017]本技术的有益效果是：本技术通过设置的预热机构，通过调节预热加热模块对预热坩埚内的金属蒸镀材料进行加热的温度，从而可使得进入到蒸发坩埚内的熔融金属液的温度是稳定的，这样可避免因蒸发坩埚直接进料而导致蒸发坩埚内的熔融金属液的温度的剧烈波动，保证了蒸发速率的一致性，从而保证了镀层厚度的一致性。同时由于对金属蒸镀材料进行加热的温度低于对熔融金属液进行加热蒸发的温度，金属蒸镀材料中的高沸点杂质不会融化并会沉积在预热坩埚内的底部，从而可减少沉积到薄膜表面上的杂质，提高了镀膜产品的质量。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0019]图1是本技术一实施例提供的一种真空蒸镀装置的结构示意图；
[0020]图2是图1所示真空蒸镀装置的蒸发坩埚、电子枪和扫描线圈的结构示意图。
[0021]附图标记：
[0022]10、进料机构；12、进料通道；122、第一部分；123、第二部分；13、加料仓；14、驱动件；15、螺旋输送杆；
[0023]20、预热机构；22、预热坩埚；23、加热丝；
[0024]30、蒸发机构；32、蒸发坩埚；
[0025]40、出料通道；
[0026]50、电极板；
[0027]60、电子枪；
[0028]70、扫描线圈；
[0029]100、薄膜。
具体实施方式
[0030]以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只
是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
[0031]请参照图1，本技术一实施例提供的一种真空蒸镀装置，包括依次设置的进料机构10、预热机构20和蒸发机构30。
[0032]预热机构20包括预热坩埚22和预热加热模块。预热坩埚22与进料机构10连接。蒸发机构30包括蒸发坩埚32和蒸发加热模块。预热加热模块和蒸发加热模块用于与控制系统连接。蒸发坩埚32和预热坩埚22相靠近的一侧之间通过出料通道40连接。出料通道40的内部分别与预热坩埚22的内部、蒸发坩埚32的内部连通。在实际应用时，待镀的薄膜100从蒸发坩埚32的上方经过，通过进料机构10可将金属蒸镀材料输送到预热坩埚22内，通过预热加热模块可对预热坩埚22内的金属蒸镀材料进行加热从而形成熔融金属液，当形成的熔融金属液的液面到达与出料通道40对应的位置时，形成的熔融金属液可进入到出料通道40内，之后进入到蒸发坩埚32内，通过蒸发加热模块可对蒸发坩埚32内的熔融金属液进行加热蒸发从而形成蒸汽，蒸汽向上移动并沉积到薄膜100上，从而实现在薄膜的表面上形成镀层。本技术通过设置的预热机构，先通过进料机构10将金属蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括依次设置的进料机构、预热机构和蒸发机构，所述预热机构包括预热坩埚和预热加热模块，所述预热坩埚与所述进料机构连接，所述蒸发机构包括蒸发坩埚和蒸发加热模块，所述蒸发坩埚和预热坩埚通过出料通道连通，所述进料机构用于将金属蒸镀材料输送到所述预热坩埚内，所述预热加热模块用于对所述预热坩埚加热，所述蒸发加热模块用于对所述蒸发坩埚加热。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述进料机构包括进料通道、加料仓和驱动件，所述加料仓的底端与所述进料通道连通，所述进料通道的一端设有所述驱动件，另一端与所述预热坩埚连通，所述进料通道内设有螺旋输送杆，所述螺旋输送杆的长度方向与所述进料通道的长度方向相同，所述螺旋输送杆的一端与所述驱动件连接，所述驱动件用于驱动所述螺旋输送杆在所述进料通道内转动。3.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述进料通道包括第一部分和第二部分，所述加料仓的底端与所述第一部分连通，所述第一部分内设有所述螺旋输送杆，所述第一部分的一端设有所述驱动件，另一端伸入到所述预热坩埚内并连接有所述第二部分，所述第二部分的远离所述第一部分的一端与所述预热坩埚内的底部相靠近，所述第二部分分别与所述第一部分、预热坩埚连通。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，刘文卿，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：