一种金属蒸发加热元件以及真空卷材镀膜机制造技术

本发明专利技术涉及真空蒸镀领域，公开了一种金属蒸发加热元件以及真空卷材镀膜机。所述金属蒸发加热元件包括第一结构面、用于容纳金属蒸发液的蒸发池以及凹槽，凹槽与蒸发池平行设置，蒸发池的设置方向与金属蒸发加热元件的长度方向相平行，蒸发池和凹槽均从第一结构面向下凹陷设置。本发明专利技术的金属蒸发加热元件能够在不改变与电极板接触的侧面面积的前提下减少蒸发池所在区域的电流流通截面，从而增加流经蒸发池的电流密度，增大蒸发池内金属液的蒸发速度，提高镀膜效率，减少金属蒸发加热元件所消耗的能量。此外能够使得金属蒸发液更容易在蒸发池内铺满，从而优化了金属蒸发加热元件的润湿性以及温场分布，提升镀膜均匀性，减少金属液飞溅。液飞溅。液飞溅。

【技术实现步骤摘要】
一种金属蒸发加热元件以及真空卷材镀膜机


[0001]本专利技术涉及真空蒸镀
，具体地涉及一种金属蒸发加热元件以及真空卷材镀膜机。

技术介绍

[0002]近年来，随着光学技术、储能技术、平板显示技术的高速发展对薄膜产品性能的均匀性和稳定性提出了更高的要求。作为薄膜制备的重要工艺技术之一，真空卷材镀膜机在上述领域的薄膜产品的工业生产中得到了广泛的应用。
[0003]真空镀膜是一种在高真空环境下，在金属、塑料等工件表面上形成具有所需特性薄膜的一种工艺方法，其被广泛应用于电子设备制造的各个领域。真空蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子
→
气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送
→
气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜
→
薄膜原子重构或产生化学键合。
[0004]金属蒸发加热元件作为真空卷材镀膜机中的重要部件，对金属镀层的镀膜均匀性、成膜质量等参数有着重要影响。然而，现有技术中的金属蒸发加热元件具有金属液蒸发速率慢、蒸发效率低的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的金属液蒸发速度慢、效率低的问题，提供一种金属蒸发加热元件，该金属蒸发加热元件具有能够提高金属液蒸发效率的优点。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供一种金属蒸发加热元件，包括第一结构面以及用于容纳金属蒸发液的蒸发池，金属蒸发加热元件还包括凹槽，所述凹槽与所述蒸发池平行设置，所述蒸发池的设置方向与所述金属蒸发加热元件的长度方向相平行，所述蒸发池和所述凹槽均从所述第一结构面向下凹陷设置。
[0007]可选地，所述蒸发池的深度为1mm至5mm。
[0008]可选地，所述蒸发池的宽度为2mm至20mm。
[0009]可选地，所述金属蒸发加热元件还包括第二结构面和第三结构面，所述第三结构面设置于所述第一结构面的下方，所述第二结构面连接于所述第一结构面与所述第三结构面之间，所述凹槽从所述第一结构面贯通至所述第二结构面和/或所述第三结构面。
[0010]可选地，所述金属蒸发加热元件形成有两个所述凹槽，两个所述凹槽对称地设置于所述蒸发池的两侧，并且两个所述凹槽的设置方向与所述金属蒸发加热元件的长度方向相平行。
[0011]可选地，所述蒸发池包括相邻的内侧壁，所述相邻的内侧壁的连接处设置有圆角。
[0012]可选地，所述金属蒸发加热元件还包括第二结构面和第三结构面，所述第三结构面设置于所述第一结构面的下方，所述第二结构面连接于所述第一结构面与所述第三结构面之间，所述第二结构面沿所述金属蒸发加热元件的长度方向延伸设置，所述第二结构面从所述第一结构面倾斜向内地延伸至所述第三结构面。
[0013]可选地，所述金属蒸发加热元件具有上宽下窄的梯形截面。
[0014]可选地，所述金属蒸发加热元件还包括第二结构面和第三结构面，所述第三结构面设置于所述第一结构面的下方，所述第二结构面连接于所述第一结构面与所述第三结构面之间，所述第二结构面沿所述金属蒸发加热元件的长度方向延伸设置，所述第二结构面从所述第一结构面竖直向下地延伸至所述第三结构面。
[0015]可选地，所述金属蒸发加热元件具有矩形截面。
[0016]可选地，所述金属蒸发加热元件的材质包括二硼化钛和氮化硼。
[0017]可选地，所述金属蒸发加热元件的材质还包括氮化铝、氧化铝、氧化锆、碳化钨、碳化硅、氮化硅中的一种或多种。
[0018]本专利技术还提供一种真空卷材镀膜机，所述真空卷材镀膜机包括上述的金属蒸发加热元件。
[0019]通过上述技术方案，本专利技术中的金属蒸发加热元件在不改变与电极板接触的侧面面积的前提下，通过设置凹槽的方式减少了蒸发池所在区域的电流流通截面，使得更多的电流能够集中通过蒸发池，从而增加了流经蒸发池的电流密度，增大了蒸发池内金属液的蒸发速度，提高了镀膜效率，减少了金属蒸发加热元件所消耗的能量。此外，由于蒸发池的投影面积小于第一结构面的面积，金属蒸发液更容易在蒸发池内铺满，从而优化了金属蒸发加热元件的润湿性以及温场分布，提升镀膜均匀性，减少金属液飞溅。
附图说明
[0020]图1是本专利技术中金属蒸发加热元件的一种实施方式的立体图；
[0021]图2是图1中金属蒸发加热元件的俯视图；
[0022]图3是图2中A
‑
A的剖视图。
[0023]附图标记说明
[0024]1‑
蒸发池；2
‑
凹槽；301
‑
第一结构面；302
‑
第二结构面；303
‑
第三结构面。
具体实施方式
[0025]以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。在本专利技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指参照附图所示的方位，“内、外”是指相对于各部件本身轮廓的内、外。
[0026]本专利技术一方面提供一种金属蒸发加热元件，参考图1
‑
图3，所述金属蒸发加热元件包括蒸发池1、第一结构面301以及凹槽2，所述凹槽2与蒸发池1平行设置，所述蒸发池1用于容纳金属蒸发液，并且所述蒸发池1的设置方向与金属蒸发加热元件的长度方向相平行，所述蒸发池1和所述凹槽2均从所述第一结构面301向下凹陷设置。
[0027]需要说明的是，在使用时，电极板通常连接于金属蒸发加热元件在长度方向上平行设置的两个端面(参见图2所示的上下两个端面)。
[0028]具体地，金属蒸发加热元件在作业时，送丝机构将金属丝送至蒸发池1内，金属丝在蒸发池1内或在蒸发池1的上方融化，由于蒸发池1的投影面积小于第一结构面301的面积，金属蒸发液更容易在蒸发池1内铺满，从而优化金属蒸发加热元件的润湿性以及温场分
布，提升镀膜均匀性，减少金属液飞溅。
[0029]本专利技术中的金属蒸发加热元件在不改变侧面与电极板接触面积的前提下，通过设置凹槽2的方式减少了蒸发池所在区域的电流流通截面，使得更多的电流能够集中通过蒸发池1，从而增加了流经蒸发池1的电流密度，增大了蒸发池1内金属液的蒸发速度，提高镀膜效率，减少金属蒸发加热元件所消耗的能量。
[0030]本专利技术中，凹槽2可以为任意的形状。
[0031]在本专利技术中，为了提高金属蒸发液的延展性，提升金属蒸发加热元件的润湿效果，所述蒸发池1的深度优选为1mm至5mm，所述蒸发池1的宽度优选为2mm至20mm。
[0032]参考图3，作为一种实施方式，所述金属蒸发加热元件还包括第二结构面302和第三结构面303，所述第三结构面303设置于所述第一结构面301的下方，所述第二结构面302连接于所述第一结构面301与所述第三结构面303之间，所述凹槽2可以从所述第一结构面301贯通至所述第二结构面302和/或第三结构面303。该实施方式中，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属蒸发加热元件，包括第一结构面(301)以及用于容纳金属蒸发液的蒸发池(1)，其特征在于，所述金属蒸发加热元件还包括凹槽(2)，所述凹槽(2)与所述蒸发池(1)平行设置，所述蒸发池(1)的设置方向与所述金属蒸发加热元件的长度方向相平行，所述蒸发池(1)和所述凹槽(2)均从所述第一结构面(301)向下凹陷设置。2.根据权利要求1所述的金属蒸发加热元件，其特征在于，所述蒸发池(1)的深度为1mm至5mm；并且/或者所述蒸发池(1)的宽度为2mm至20mm。3.根据权利要求1所述的金属蒸发加热元件，其特征在于，所述金属蒸发加热元件还包括第二结构面(302)和第三结构面(303)，所述第三结构面(303)设置于所述第一结构面(301)的下方，所述第二结构面(302)连接于所述第一结构面(301)与所述第三结构面(303)之间，所述凹槽(2)从所述第一结构面(301)贯通至所述第二结构面(302)和/或所述第三结构面(303)。4.根据权利要求1所述的金属蒸发加热元件，其特征在于，所述金属蒸发加热元件形成有两个所述凹槽(2)，两个所述凹槽(2)对称地设置于所述蒸发池(1)的两侧，并且两个所述凹槽(2)的设置方向与所述金属蒸发加热元件的长度方向相平行；并且/或者所述蒸发池(1)包括相邻的内侧壁，所述相邻的内侧壁的连接处设置有圆角。5.根据权利要求1所述的金属蒸发加热元件，其特征在于，所述金属蒸发加热元件包括第二结构面(302)和第三结构面(303)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙欣森，李永强，王超，汪振南，姜春华，李永伟，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：