具有易结晶功能的镀膜机制造技术

本实用新型专利技术属于易结晶功能的镀膜机技术领域，尤其为具有易结晶功能的镀膜机，包括防护仓，所述防护仓顶端内壁转动连接有旋转中轴，所述旋转中轴侧壁开设有螺纹槽，所述旋转中轴侧壁滑动连接有空间分隔板，所述旋转中轴侧壁设置有用以对所述空间分隔板进行驱动的螺纹环，所述旋转中轴通过所述螺纹槽与所述螺纹环螺纹连接，所述螺纹环侧壁固定连接有两个限位杆，所述防护仓内壁开设有两个导向槽，通过空间分隔板与螺纹环的配合使用，实现了对基材进行镀膜时空间缩小，从而使镀膜所造成的污染区域减少，减少了后期对装置进行清理的时间和精力，并且旋转中轴对防护仓内部空间进行压缩，从而使真空抽取时间缩短，从而提高了抽取真空效率。真空效率。真空效率。

【技术实现步骤摘要】
具有易结晶功能的镀膜机


[0001]本技术属于易结晶功能的镀膜机
，具体涉及具有易结晶功能的镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其中真空电阻加热蒸发为常用的镀膜方法，膜材即要镀的材料放于蒸发舟中，置于真空室中，抽到一定真空时，通过电阻加热膜材，使其蒸发，当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源至基片的线性尺寸时，原子和分子从蒸发源中逸出后，到达基片形成膜，但是在实际操作中，对蒸发仓内部进行真空抽取时由于抽取空间较大导致抽取真空的时间较长，从而导致抽取真空效率较低，并且若采用空间较小的方式势必会增加放置和取出基材、膜材的难度，不便上下料操作，同时，若采用较大空间在镀膜完成后对内部清理的区域较大，较为耗费清理的时间。

技术实现思路

[0003]本技术提供了具有易结晶功能的镀膜机，具有提高镀膜机真空抽取的效率和提高清理效率的特点。
[0004]本技术提供如下技术方案：包括防护仓，所述防护仓顶端内壁转动连接有旋转中轴，所述旋转中轴侧壁开设有螺纹槽，所述旋转中轴侧壁滑动连接有空间分隔板，所述旋转中轴侧壁设置有用以对所述空间分隔板进行驱动的螺纹环，所述旋转中轴通过所述螺纹槽与所述螺纹环螺纹连接，所述螺纹环侧壁固定连接有两个限位杆，所述防护仓内壁开设有两个导向槽，所述限位杆滑动连接于对应所述导向槽内壁，所述防护仓内壁开设有环形限位槽，所述环形限位槽与两个所述导向槽内部空间相连通。
[0005]其中，所述空间分隔板顶端开设有若干个插接槽，若干个所述插接槽内壁均设置有磁片，所述螺纹环底端固定连接有若干个磁吸杆，所述磁吸杆插接于所述插接槽内壁。
[0006]其中，所述防护仓顶端安装有驱动电机，所述驱动电机输出端与所述旋转中轴顶端固定连接。
[0007]其中，所述旋转中轴侧壁固定连接有用以对所述空间分隔板进行限位的限位盘，所述空间分隔板与所述限位盘顶端接触。
[0008]其中，所述旋转中轴底端固定连接有用以对基材进行支撑的承载盘，所述承载盘顶端固定连接有若干个斜撑板，若干个所述斜撑板均固定连接于所述旋转中轴侧壁，所述承载盘顶端固定连接有用以对基材进行限位的限位环。
[0009]本技术的有益效果是：
[0010]1、通过空间分隔板与螺纹环的配合使用，实现了对基材进行镀膜时空间缩小，从而使镀膜所造成的污染区域减少，减少了后期对装置进行清理的时间和精力，并且旋转中轴对防护仓内部空间进行压缩，从而使真空抽取时间缩短，从而提高了抽取真空效率；
[0011]2、通过旋转中轴和空间分隔板的配合使用，将防护仓内部空间进行压缩，从而使
其内部的膜材蒸发时更聚集，有利于基材与蒸发在空中的膜材与之接触，并且，旋转中轴对基材进行旋转驱动，亦增加了基材与膜材之间接触的概率，降低了基材镀膜的时间，并且，易于基材镀膜结晶工作。
[0012]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
[0013]图1为本技术的立体剖面结构示意图；
[0014]图2为本技术运动状态下的立体剖面结构示意图；
[0015]图3为图1中A部的放大图；
[0016]图4为本技术中限位杆立体结构示意图。
[0017]图中：1、防护仓；11、导向槽；12、环形限位槽；13、驱动电机；2、旋转中轴；21、螺纹槽；22、空间分隔板；23、插接槽；24、限位盘；3、螺纹环；31、限位杆；32、磁吸杆；4、承载盘；41、斜撑板；42、限位环。
具体实施方式
[0018]请参阅图1
‑
图4，本技术提供以下技术方案：包括防护仓1，防护仓1顶端内壁转动连接有旋转中轴2，旋转中轴2侧壁开设有螺纹槽21，旋转中轴2侧壁滑动连接有空间分隔板22，旋转中轴2侧壁设置有用以对空间分隔板22进行驱动的螺纹环3，旋转中轴2通过螺纹槽21与螺纹环3螺纹连接，螺纹环3侧壁固定连接有两个限位杆31，防护仓1内壁开设有两个导向槽11，限位杆31滑动连接于对应导向槽11内壁，防护仓1内壁开设有环形限位槽12，环形限位槽12与两个导向槽11内部空间相连通。
[0019]本实施方案中：防护仓1对装置各组件进行支撑和外部防护，旋转中轴2位于防护仓1中心位置，旋转中轴2对防护仓1内部空间进行分隔，上下位移的旋转中轴2，使旋转中轴2下方防护仓1内空间得到调整，从而使防护仓1内部的空间得到调整，从而便于基材和膜材的取出和放置，并且，在使用时通过螺纹环3控制空间分隔板22向下对基材所处空间进行压缩，从而使对基材进行镀膜时空间缩小，从而使镀膜所造成的污染区域减少，减少了后期对装置进行清理的时间和精力，并且旋转中轴2对防护仓1内部空间进行压缩，从而使真空抽取时间缩短，从而提高了抽取真空效率，螺纹槽21开设的范围与导向槽11和环形限位槽12的尺寸相对应，旋转中轴2旋转时通过螺纹槽21对螺纹环3进行驱动，螺纹环3带动空间分隔板22进行上下方向的位移，同时螺纹环3带动两个限位杆31上下滑动，当装置使用时，螺纹环3带动两个限位杆31和空间分隔板22位移至下方，限位杆31到达环形限位槽12位置，此时限位杆31不再对限位杆31进行限位，旋转中轴2带动螺纹环3进行水平旋转，同时空间分隔板22与螺纹环3脱离，从而使空间分隔板22不再受到螺纹环3的驱动，旋转中轴2旋转时亦带动基材进行旋转，从而使基材在旋转中与内部蒸发的膜材接触，增加了基材与膜材接触的概率，降低了基材镀膜的时间，并且，易于基材镀膜结晶。
[0020]空间分隔板22顶端开设有若干个插接槽23，若干个插接槽23内壁均设置有磁片，螺纹环3底端固定连接有若干个磁吸杆32，磁吸杆32插接于插接槽23内壁；螺纹环3通过若干个磁吸杆32对空间分隔板22进行控制，磁吸杆32为通电和不通电两种状态，磁吸杆32通电时对插接槽23内部的磁片进行相互吸引，从而使磁吸杆32能够对空间分隔板22进行向上
吸引，从而使磁吸杆32能够插接进对应插接槽23内部，同时，旋转中轴2带动螺纹环3处于旋转状态，从而使螺纹环3能够带动磁吸杆32进行旋转，便于磁吸杆32与插接槽23对应时进行插接工作，当磁吸杆32不通电时，磁吸杆32不再对空间分隔板22进行吸引，从而使空间分隔板22与螺纹环3实现脱离，从而使空间分隔板22不再受到螺纹环3的干扰。
[0021]防护仓1顶端安装有驱动电机13，驱动电机13输出端与旋转中轴2顶端固定连接；驱动电机13对旋转中轴2进行驱动，旋转中轴2旋转时通过螺纹槽21对螺纹环3进行驱动，螺纹环3带动空间分隔板22进行上下方向的位移，同时螺纹环3带动两个限位杆31上下滑动，旋转中轴2旋转时亦带动基材进行旋转，从而使基材在旋转中与内部蒸发的膜材接触，增加了基材与膜材接触的概率，增加了基材镀膜的时间，并且，易于基材镀膜结晶。
[0022]旋转中轴2侧壁固定连接有用以对空间分隔板22进行限位的限位盘24，空间分隔板22与限位盘24顶端接触；限位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.具有易结晶功能的镀膜机，其特征在于：包括防护仓(1)，所述防护仓(1)顶端内壁转动连接有旋转中轴(2)，所述旋转中轴(2)侧壁开设有螺纹槽(21)，所述旋转中轴(2)侧壁滑动连接有空间分隔板(22)，所述旋转中轴(2)侧壁设置有用以对所述空间分隔板(22)进行驱动的螺纹环(3)，所述旋转中轴(2)通过所述螺纹槽(21)与所述螺纹环(3)螺纹连接，所述螺纹环(3)侧壁固定连接有两个限位杆(31)，所述防护仓(1)内壁开设有两个导向槽(11)，所述限位杆(31)滑动连接于对应所述导向槽(11)内壁，所述防护仓(1)内壁开设有环形限位槽(12)，所述环形限位槽(12)与两个所述导向槽(11)内部空间相连通。2.根据权利要求1所述的具有易结晶功能的镀膜机，其特征在于：所述空间分隔板(22)顶端开设有若干个插接槽(23)，若干个所述插接槽(23)内壁均设置有磁片，所述螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：甄元石，
申请(专利权)人：深圳市端天科技有限公司，
类型：新型
国别省市：