一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶，包括靶座、浮动座、安装座、锥套、锥槽、轴承安装槽、轴承、靶管，锥套上开设有安装孔，两个浮动座由调节装置驱动其相对移动，以调节两个锥套的纵向间距。本实用新型专利技术的有益效果：设置两个安装臂，同时在两个安装臂上安装锥套，通过锥套以锥度配合在锥槽内，使得轴承的安装精度较高，即使轴承重复安装后，亦能保证两个轴承的同轴度，此外通过两个浮动座的上下移动，使安装臂对应靶管不同位置，进而能够根据靶管长度型号来调节两个安装臂的纵向间距，适应不同长度的靶管进行安装。适应不同长度的靶管进行安装。适应不同长度的靶管进行安装。

【技术实现步骤摘要】
一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶


[0001]本技术涉及真空磁控溅射镀膜设备
，具体涉及一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
[0003]真空镀膜设备中，旋转靶机构中的靶管一般长度较长，这样就导致了用于安装靶管的两个靶座必须保证同轴度，否则，即使相差一点，通过靶管长度的放大，使得同轴度产生较大偏差，进而影响靶管的安装，另外现有的靶座只能安装固定长度的靶管，在更换不同型号的靶管时，需要花费大量时间来更换不同的靶座，进而导致生产效率的低下。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术中存在的问题，提供一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶，它可以实现至少一定程度上解决现有技术的问题。
[0005]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶，包括安装在真空镀膜设备内的靶座，所述靶座上竖直滑动连接有两个浮动座，两个所述浮动座上各设有朝远离靶座方向水平延伸的安装座，所述安装座上嵌装有锥套，所述锥套成圆台状结构，对应的所述安装座上开设有供锥套嵌装的锥槽，两个所述锥套的相对侧端面上各开设有盲孔形式的轴承安装槽，所述轴承安装槽上紧配卡装有轴承，两个所述轴承分别套装在靶管长度方向两端上，对应的，所述锥套上开设有供靶管自由通过的、通孔形式的安装孔，两个所述浮动座由调节装置驱动其相对移动，以调节两个所述锥套的纵向间距。
[0007]作为如上所述技术方案的进一步优化，所述靶座上竖直设有两个导柱，所述浮动座上设有两个分别滑配套装在两个导柱上的耳块，使所述浮动座竖直滑动连接在靶座上。
[0008]作为如上所述技术方案的进一步优化，所述耳块上嵌装有衬套，所述衬套对应滑配套装在导柱上。
[0009]作为如上所述技术方案的进一步优化，所述调节装置包括竖直转动连接在靶座上的转动轴，所述转动轴长度方向两端分别设有螺纹旋向相反的第一丝杆部、第二丝杆部，两个所述浮动座上各嵌装有丝杆螺母，两个所述丝杆螺母分别螺纹套装在第一丝杆部、第二丝杆部上。
[0010]作为如上所述技术方案的进一步优化，所述转动轴由安装在靶座上的伺服电机驱动转动。
[0011]本技术的有益效果：设置两个安装臂，同时在两个安装臂上安装锥套，通过锥
套以锥度配合在锥槽内，使得轴承的安装精度较高，即使轴承重复安装后，亦能保证两个轴承的同轴度，此外通过两个浮动座的上下移动，使安装臂对应靶管不同位置，进而能够根据靶管长度型号来调节两个安装臂的纵向间距，适应不同长度的靶管进行安装，另外设置调整装置由转动轴、丝杆螺母构成，通过转动轴的转动，使转动轴上的第一丝杆部、第二丝杆部分别与两个丝杆螺母螺纹旋合，进而驱动两个浮动座相对移动，结构简单，操作便捷，且能保证两个安装臂安装在靶管上的位置比较对称，降低了靶管的应力集中现象。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1为本技术的立体结构示意图；
[0014]图2为图1中立体结构的爆炸示意图；
[0015]图3为图1中立体结构的仰视角度示意图；
[0016]图4为图1中立体结构的正视示意图；
[0017]其中各附图标记说明如下：
[0018]1‑
伺服电机，2
‑
第一丝杆部，3
‑
浮动座，4
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安装座，5
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安装孔，6
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锥套，7
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靶管，8
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导柱，9
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丝杆螺母，10
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靶座,11
‑
锥槽，12
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第二丝杆部，13
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轴承。
具体实施方式
[0019]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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4，图1
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4示出了一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶，包括安装在真空镀膜设备内的靶座10，所述靶座10上竖直滑动连接有两个浮动座3，两个所述浮动座3上各设有朝远离靶座10方向水平延伸的安装座4，所述安装座4上嵌装有锥套6，所述锥套6成圆台状结构，对应的所述安装座4上开设有供锥套6嵌装的锥槽11，两个所述锥套6的相对侧端面上各开设有盲孔形式的轴承安装槽，所述轴承安装槽上紧配卡装有轴承13，两个所述轴承13分别套装在靶管7长度方向两端上，对应的，所述锥套6上开设有供靶管7自由通过的、通孔形式的安装孔5，两个所述浮动座3由调节装置驱动其相对移动，以调节两个所述锥套6的纵向间距。
[0021]所述靶座10上竖直设有两个导柱8，所述浮动座3上设有两个分别滑配套装在两个导柱8上的耳块，使所述浮动座3竖直滑动连接在靶座10上，通过耳块滑配套装在导柱8上，使得浮动座3竖直滑动连接在靶座10上。
[0022]所述耳块上嵌装有衬套，所述衬套对应滑配套装在导柱8上，通过设置衬套，使得导柱8在与耳块进行相对滑动时，降低了对耳块的机械磨损，进而提升浮动座3的使用寿命。
[0023]所述调节装置包括竖直转动连接在靶座10上的转动轴，所述转动轴长度方向两端分别设有螺纹旋向相反的第一丝杆部2、第二丝杆部12，两个所述浮动座3上各嵌装有丝杆螺母9，两个所述丝杆螺母9分别螺纹套装在第一丝杆部2、第二丝杆部12上，所述转动轴由安装在靶座10上的伺服电机1驱动转动，使得无需人力转动转动轴，操作更便捷。
[0024]本技术在使用时：将两个轴承13套在靶管7两端，再将两个轴承13分别卡装在两个锥套6的轴承安装槽内，接通外部电源，启动伺服电机1，伺服电机1转动，驱动转动轴转动，进而使两个丝杆螺母9分别与第一丝杆部2及第二丝杆部12螺纹旋合，使两个浮动座3相对移动，使两个锥套6分别卡入两个安装臂4的锥槽11内，再使用螺钉将锥套6连接在安装臂4上，此时靶管7安装在靶座10上。
[0025]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶，其特征在于,包括安装在真空镀膜设备内的靶座(10)，所述靶座(10)上竖直滑动连接有两个浮动座(3)，两个所述浮动座(3)上各设有朝远离靶座(10)方向水平延伸的安装座(4)，所述安装座(4)上嵌装有锥套(6)，所述锥套(6)成圆台状结构，对应的所述安装座(4)上开设有供锥套(6)嵌装的锥槽(11)，两个所述锥套(6)的相对侧端面上各开设有盲孔形式的轴承安装槽，所述轴承安装槽上紧配卡装有轴承(13)，两个所述轴承(13)分别套装在靶管(7)长度方向两端上，对应的，所述锥套(6)上开设有供靶管(7)自由通过的、通孔形式的安装孔(5)，两个所述浮动座(3)由调节装置驱动其相对移动，以调节两个所述锥套(6)的纵向间距。2.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶，其特征在于，所述靶座(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐伟，肖秀梅，
申请(专利权)人：深圳市端天科技有限公司，
类型：新型
国别省市：