一种磁控溅射靶遮挡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射靶遮挡装置，包括反应腔、遮挡板、安装夹、传动杆和第二通道，所述反应腔内部的两侧皆设有遮挡板，所述反应腔的外侧壁上安装有制冷板，所述遮挡板外侧壁的两端皆设有散热环，所述遮挡板的内侧安装有缓存板，所述反应腔的顶端安装有旋转机构，所述遮挡板的底端安装有连接柱，所述反应腔内侧壁的两端安装有连接套管，所述反应腔底端的两侧皆设有升降机构，所述反应腔内侧壁的一端设有第一通道，所述反应腔的外侧壁上设有观察窗。本实用新型专利技术提高了蒸镀设备的维护效率，延长了遮挡板的使用寿命，而且降低了镀膜产品的不良率。产品的不良率。产品的不良率。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射靶遮挡装置


[0001]本技术涉及磁控溅射设备领域，具体为一种磁控溅射靶遮挡装置。

技术介绍

[0002]磁控溅射作为一种镀膜方法，广泛应用在集成电路、液晶显示器以及薄膜太阳能等领域，磁控溅射靶遮挡装置在其使用中起到关键作用，控制镀膜的均匀厚度，因此磁控溅射靶遮挡装置应运而生。
[0003]现今市场上的此类磁控溅射靶遮挡种类繁多，基本可以满足人们的使用需求，但是依然存在一定的问题，具体问题有以下几点：
[0004]1、传统的磁控溅射靶遮挡安装拆卸步骤较为繁琐，不便与蒸镀设备后期的维护保养；
[0005]2、磁控溅射靶遮挡使用时，不断吸收镀层时产生的热量，无法进行热量散发，从而导致缩短遮挡板的使用寿命；
[0006]3、传统的磁控溅射靶遮挡使用时，无法根据蒸镀产品的实际情况，调节间隙宽度，从而导致镀膜产品的不良率降低。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种磁控溅射靶遮挡装置，以解决上述
技术介绍
中提出磁控溅射靶遮挡装置不便与蒸镀设备后期的维护保养，无法进行热量散发，而且无法根据蒸镀产品的实际情况，调节间隙宽度等问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种磁控溅射靶遮挡装置，包括反应腔、遮挡板、安装夹、传动杆和第二通道，所述反应腔内部的两侧皆设有遮挡板，且遮挡板外侧壁上设有传动杆，并且传动杆通过安装夹与遮挡板相固定，所述反应腔的外侧壁上安装有制冷板，所述遮挡板外侧壁的两端皆设有散热环，且散热环之间通过第一连接管道相互连接，并且散热环通过第二连接管道与制冷板相连通，所述遮挡板的内侧安装有缓存板，所述反应腔的顶端安装有旋转机构，所述遮挡板的底端安装有连接柱，且相邻的连接柱之间缠绕有限位块，所述反应腔内侧壁的两端安装有连接套管，且连接套管的底端延伸至反应腔的外侧，所述反应腔底端的两侧皆设有升降机构，所述反应腔内侧壁的一端设有第一通道，且反应腔靠近第一通道一端的外侧壁上安装有磁控溅射靶材，所述反应腔的外侧壁上设有观察窗，且观察窗的下方安装有控制面板，并且控制面板内部单片机的输出端与制冷板的输入端电性连接。
[0009]优选的，所述旋转机构从上到下依次设置有旋转电机、第二齿轮、转轴、第一齿轮以及第三齿轮，所述反应腔的顶端安装有旋转电机，且旋转电机的输出端通过联轴器安装有转轴，并且转轴的底端安装有第一齿轮，所述反应腔内部的顶端安装有第二齿轮，且第一齿轮与第二齿轮相配合。
[0010]优选的，所述第二齿轮内部的两端皆安装有第三齿轮，且第三齿轮的底端与传动
杆的顶端固定连接。
[0011]优选的，所述升降机构从上到下依次设置有固定箱、连接板、旋转块以及丝杆，所述反应腔底端的两侧皆安装有固定箱，且固定箱的内部设有丝杆，并且丝杆的一端延伸至固定箱的外侧。
[0012]优选的，所述丝杆外侧的两端皆安装有旋转块，且旋转块的顶端铰接有连接板，并且连接板的底端与连接套管的底端相铰接。
[0013]优选的，所述反应腔远离第一通道一端的内侧壁上设有第二通道，且反应腔靠近第二通道一端的外侧壁上安装有磁控溅射靶。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该磁控溅射靶遮挡装置不仅提高了蒸镀设备的维护效率，延长了遮挡板的使用寿命，而且降低了镀膜产品的不良率；
[0015]1、通过设置有固定箱、连接板、旋转块以及丝杆，通过旋转丝杆，带动丝杆外侧壁上的旋转块，在旋转块的作用下带动连接板的移动，之后通过连接杆带动连接套管的移动，从而带动传动杆的顶端的第三齿轮移动，以遮挡板的拆卸工作，从而提高了蒸镀设备的维护效率；
[0016]2、通过设置有散热环、第一连接管道、第二连接管道以及制冷板，通过将反应腔内部电离反应产生的热量沿遮挡板传递到散热环的内部，之后散热环内部的热量依次沿第一连接管道、第二连接管道，传递到制冷板的外部，实现了遮挡板的散热工作，从而延长了遮挡板的使用寿命；
[0017]3、通过设置旋转电机、第二齿轮、转轴、第一齿轮以及第三齿轮，通过旋转电机的转动，带动转轴的转动，之后带动第一齿轮的转动，在第一齿轮的作用下，第二齿轮开始转动，从而带动第三齿轮的转动，使其控制传动杆的工作，完成遮挡板间隙调节的工作，从而降低了镀膜产品的不良率。
附图说明
[0018]图1为本技术的主视侧视结构示意图；
[0019]图2为本技术的主时外观结构示意图；
[0020]图3为本技术的旋转机构放大结构示意图；
[0021]图4为本技术的第一齿轮放大结构示意图；
[0022]图5为本技术的升降机构放大结构示意图。
[0023]图中：1、反应腔；2、遮挡板；3、制冷板；4、散热环；5、缓存板；6、旋转机构；601、旋转电机；602、第二齿轮；603、转轴；604、第一齿轮； 605、第三齿轮；7、安装夹；9、第一连接管道；10、传动杆；11、连接套管； 13、连接柱；14、升降机构；1401、固定箱；1402、连接板；1403、旋转块； 1404、丝杆；15、第一通道；16、磁控溅射靶材；17、磁控溅射靶；18、第二通道；19、观察窗；20、控制面板。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的、技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提
下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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5，本技术提供的一种实施例：一种磁控溅射靶遮挡装置，包括反应腔1、遮挡板2、安装夹7、传动杆10和第二通道18，反应腔1内部的两侧皆设有遮挡板2，且遮挡板2外侧壁上设有传动杆10，并且传动杆 10通过安装夹7与遮挡板2相固定，反应腔1的外侧壁上安装有制冷板3，该制冷板3的型号可为CE60R
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9Q，遮挡板2外侧壁的两端皆设有散热环4，且散热环4之间通过第一连接管道9相互连接，并且散热环4通过第二连接管道与制冷板3相连通，遮挡板2的内侧安装有缓存板5，反应腔1的顶端安装有旋转机构6；
[0026]旋转机构6从上到下依次设置有旋转电机601、第二齿轮602、转轴603、第一齿轮604以及第三齿轮605，反应腔1的顶端安装有旋转电机601，该旋转电机601的型号可为MR
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J2S
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20A，且旋转电机601的输出端通过联轴器安装有转轴603，并且转轴603的底端安装有第一齿轮604，反应腔1内部的顶端安装有第二齿轮602，且第一齿轮604与第二齿轮602相配合，第二齿轮 602内部的两端皆安装有第三齿轮605，且第三齿轮605的底端与传动杆10 的顶端固定连接；
[0027]使用时，通过旋转电机601的转动，带动转轴603的转动，之后带动第一齿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射靶遮挡装置，包括反应腔(1)、遮挡板(2)、安装夹(7)、传动杆(10)和第二通道(18)，其特征在于：所述反应腔(1)内部的两侧皆设有遮挡板(2)，且遮挡板(2)外侧壁上设有传动杆(10)，并且传动杆(10)通过安装夹(7)与遮挡板(2)相固定，所述反应腔(1)的外侧壁上安装有制冷板(3)，所述遮挡板(2)外侧壁的两端皆设有散热环(4)，且散热环(4)之间通过第一连接管道(9)相互连接，并且散热环(4)通过第二连接管道与制冷板(3)相连通，所述遮挡板(2)的内侧安装有缓存板(5)，所述反应腔(1)的顶端安装有旋转机构(6)，所述遮挡板(2)的底端安装有连接柱(13)，且相邻的连接柱(13)之间缠绕有限位块，所述反应腔(1)内侧壁的两端安装有连接套管(11)，且连接套管(11)的底端延伸至反应腔(1)的外侧，所述反应腔(1)底端的两侧皆设有升降机构(14)，所述反应腔(1)内侧壁的一端设有第一通道(15)，且反应腔(1)靠近第一通道(15)一端的外侧壁上安装有磁控溅射靶材(16)，所述反应腔(1)的外侧壁上设有观察窗(19)，且观察窗(19)的下方安装有控制面板(20)，并且控制面板(20)内部单片机的输出端与制冷板(3)的输入端电性连接。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶遮挡装置，其特征在于：所述旋转机构(6)从上到下依次设置有旋转电机(601)、第二齿轮(602)、转轴(603)、第一齿轮(604)以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：李石豹，
申请(专利权)人：遵化市洪晟霖翼钛金设备有限公司，
类型：新型
国别省市：