一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器，属于真空镀膜领域。包括有卧式真空管、点状蒸发源组件，卧式真空管包括有进口插板阀、出口插板阀以及横向设置的管体，进口插板阀、出口插板阀分别安装在管体的前后两端形成镀膜空间，点状蒸发源组件设置在真空室内。本实用新型专利技术的优势在于：相比于现有技术，本实用新型专利技术的卧式真空镀膜器将卧式真空管和点状蒸发源相结合，为工件构造出了独立的镀膜空间，且相邻的卧式真空镀膜器可以通过进口插板阀与出口插板阀密封连接形成连续的镀膜生产线，工件可以依次经过一个个真空镀膜器进行连续镀膜而不会破坏真空环境，实现连续镀膜，提升镀膜效率。提升镀膜效率。提升镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器


[0001]本技术属于真空镀膜领域，特别涉及一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术以在真空环境中通过蒸发、磁控溅射、化学气相沉积等方式成膜，相较于传统的湿式镀膜技术，其薄膜和基体选材更广泛，成膜厚度可控性更好，成型薄膜与基体结合强度更好，且其成膜过程不产生废液，因此逐渐替代传统的湿式镀膜技术，在材料表面涂层、光学仪器制造、集成电子硬件制造等领域广泛使用。
[0003]真空镀膜技术应用到实际加工过程中时，按照其具体采用的镀膜工艺不同，可大致分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀三种，这其中蒸发镀膜由于存在设备、工艺简单，成膜速度快、效率高，薄膜纯度高、质量好等优点，镀膜的厚度可以根据自己需求可以控制，因此在工业应用中被广泛使用。
[0004]现有技术中提供的应用了蒸发镀膜的真空镀膜设备往往具有固定且独立的腔室结构，其往往采用独立结构构造真空腔室，并在真空腔室中布置单一的蒸发镀膜源，在具体使用时，需操作人员先打开真空腔室、放入待加工工件后关闭腔室门，重新对该腔室内部抽真空后，方能启动镀膜源对待加工工件做出离子镀膜加工。这无疑降低了加工效率，不仅不方便对数量庞大的待加工工件进行统一的大规模加工，且在对单一工件进行反复多次镀制多层膜时，由于需要反复打开真空腔室，会破坏腔室的真空环境，存在镀膜效率低下的问题，不利于离子镀膜技术广泛推广。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本技术的首要目的在于提供一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器，将卧式真空管和点状蒸发源相结合，为工件构造出了独立的镀膜空间，且相邻的卧式真空镀膜器可以通过进口插板阀与出口插板阀密封连接形成连续的镀膜生产线，工件可以依次经过一个个真空镀膜器进行连续镀膜而不会破坏真空环境，实现连续镀膜，提升镀膜效率。
[0006]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0007]本技术提供一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器，包括有卧式真空管、点状蒸发源组件，所述卧式真空管包括有进口插板阀、出口插板阀以及横向设置的管体，所述进口插板阀、出口插板阀分别安装在管体的前后两端形成镀膜空间，所述点状蒸发源组件设置在真空室内。在本申请中，卧式真空管具有内部镀膜空间，能够容工件进出并在该内部镀膜空间中停留镀膜。蒸发源组件用于对工件做出真空镀膜；进口插板阀用于镀膜前打开镀膜空间，出口插板阀用于镀膜后打开镀膜空间，方便工件进出；抽气口向外部气源开放连接，方便改变管体内部气压环境，在需要时对管体内部空间抽真空，为工件在管体内停留并进行镀膜加工提供真空环境。在本申请中，在管体的两端分别设置进口插板阀以及
出口插板阀，则进口插板阀、管体以及出口插板阀三者接合，将形成一个卧式结构，需要加工的工件经前序加工后，进口插板阀打开，工件通过进口插板阀进入到管体中，在管体中完成加工后，出口插板阀打开，完成加工的工件再经出口插板阀送出，工件在整个加工过程中，其行进方向为统一的直线方向，可以正向加工或反向回炉加工，这就意味着，在具体使用时，设置多个卧式真空管并顺序排列，相邻管体之间通过进口插板阀与出口插板阀密封结合，在打开进口插板阀与出口插板阀时不会破坏真空环境，多个卧式真空管沿管体轴线方向铺设输送轨道，则工件可在前一卧式真空管中完成该管体中预先设置的指定加工工序后，通过前一卧式真空管的出口插板阀后，经后一卧式真空管的进口插板阀进入到后一管体中，在后一管体中进行指定加工，前一卧式真空管与后一卧式真空管彼此独立、互不干扰，工件可依次进出前后管体完成指定加工，操作人员无需再对某一加工工序单独设置真空设备、反复破坏该设备的真空环境放入或取出工件后再转移至下一真空设备中，大幅提升了镀膜效率。
[0008]进一步地，所述点状蒸发源组件包括有两根导电极，两根所述导电极之间连接有多根分散设置的发热丝，所述发热丝上设置有蒸发源。
[0009]进一步地，所述发热丝包括有钨丝。
[0010]进一步地，所述管体上还设置有抽气口。
[0011]进一步地，所述管体内还设置有工件限位架，工件限位架为圆环型结构。
[0012]本技术的优势在于：相比于现有技术，本技术的卧式真空镀膜器将卧式真空管和点状蒸发源相结合，为工件构造出了独立的镀膜空间，且相邻的卧式真空镀膜器可以通过进口插板阀与出口插板阀密封连接形成连续的镀膜生产线，工件可以依次经过一个个真空镀膜器进行连续镀膜而不会破坏真空环境，实现连续镀膜，提升镀膜效率。
附图说明
[0013]图1是本实施例的卧式真空镀膜器的内部结构示意图。
[0014]图2是图1中A的局部放大图。
[0015]图3是本实施的卧式真空镀膜器的正面的剖视图。
[0016]图4是本实施的卧式真空镀膜器的侧面的剖视图。
具体实施方式
[0017]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0018]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0019]参见图1
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4所示，本实施例提供一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器，包括有卧式真空管1、点状蒸发源组件2，卧式真空管1包括有进口插板阀11、出口插板阀12以及横向设置的管体13，进口插板阀11、出口插板阀12分别安装在管体13的前后两端形成镀膜空间，点状蒸发源组件2设置在真空室内。在本申请中，卧式真空管1具有内部镀膜空间，能够容工件3进出并在该内部镀膜空间中停留镀膜。蒸发源组件用于对工件3做出真空镀膜；进口插板阀11用于镀膜前打开镀膜空间，出口插板阀12用于镀膜后打开镀膜空间，方便工
件3进出；抽气口向外部气源开放连接，方便改变管体13内部气压环境，在需要时对管体13内部空间抽真空，为工件3在管体13内停留并进行镀膜加工提供真空环境。在本申请中，在管体13的两端分别设置进口插板阀11以及出口插板阀12，则进口插板阀11、管体13以及出口插板阀12三者接合，将形成一个卧式结构，需要加工的工件3经前序加工后，进口插板阀11打开，工件3通过进口插板阀11进入到管体13中，在管体13中完成加工后，出口插板阀12打开，完成加工的工件3再经出口插板阀12送出，工件3在整个加工过程中，其行进方向为统一的直线方向，可以正向加工或反向回炉加工，这就意味着，在具体使用时，设置多个卧式真空管1并顺序排列，相邻管体13之间通过进口插板阀11与出口插板阀12密封结合，在打开进口插板阀11与出口插板阀12时不会破坏真空环境，多个卧式真空管1沿管体13轴线方向铺设输送轨道，则工件3可在前一卧式真空管1中完成该管体13中预先设置的指定加工工序后，通过前一卧式真空管1的出口插板阀12后，经后一卧式真空管1的进口插板阀11进入到后一管体13中，在后一管体13中进行指定加工，前一卧式真空管1与后一卧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，包括有卧式真空管、点状蒸发源组件，所述卧式真空管包括有进口插板阀、出口插板阀以及横向设置的管体，所述进口插板阀、出口插板阀分别安装在管体的前后两端形成镀膜空间，所述点状蒸发源组件设置在真空室内。2.如权利要求1所述的一种具有点状蒸发镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述点状蒸发源组件包括有两根导电极，两根所述导电极之间连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪达文，汪友林，陆作军，
申请(专利权)人：森科五金深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：