一种具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，该镀膜器包括有：具有内部镀膜空间，容工件进出并在该内部镀膜空间中停留镀膜的卧式真空管；用于对工件做出离子镀膜的点状电弧；以及，用于连接点状电弧以及卧式真空管的密封法兰。相比于现有技术，在本实用新型专利技术中提供的技术方案将卧式真空管和点状电弧相结合，为工件构造出了一种结构简洁、加工方便的真空镀膜器，应用到具体镀膜加工过程中，能产生良好的镀膜效果。能产生良好的镀膜效果。能产生良好的镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器


[0001]本技术属于真空镀膜设备领域，特别涉及一种真空镀膜器。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术以在真空环境中通过蒸发、磁控溅射、化学气相沉积等方式成膜，相较于传统的湿式镀膜技术，其薄膜和基体选材更广泛，成膜厚度可控性更好，成型薄膜与基体结合强度更好，且其成膜过程不产生废液，因此逐渐替代传统的湿式镀膜技术，在材料表面涂层、光学仪器制造、集成电子硬件制造等领域广泛使用。
[0003]真空镀膜技术应用到实际加工过程中时，按照其具体采用的镀膜工艺不同，可大致分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀三种，这其中离子镀工艺兼具了蒸发镀膜所具备的高沉积速率以及与溅射镀膜所具备的良好的膜层附着力等有优点的同时，还具备良好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜等特点，因此在工业应用中被广泛使用。
[0004]现有技术中提供的应用了离子镀的真空镀膜设备往往具有固定且独立的腔室结构，其往往采用独立结构构造真空腔室，并在真空腔室中布置单一的离子镀膜源，在具体使用时，需操作人员先打开真空腔室、放入待加工工件后关闭腔室门，重新对该腔室内部抽真空后，方能启动镀膜源对待加工工件做出离子镀膜加工。这无疑降低了加工效率，不仅不方便对数量庞大的待加工工件进行统一的大规模加工，也同样不方便对单一工件进行反复多次镀制多层膜，不利于离子镀膜技术广泛推广。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本技术的目的在于提供一种真空镀膜器，该镀膜器区别于卧式管状结构构造镀膜空间，并在该镀膜空间中设置点状电弧镀膜源，构造一种具有接续加工能力的真空镀膜器结构，有利于提升镀膜效率，方便大批量或多层次地加工指定工件。
[0006]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0007]一种具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，该镀膜器包括有：
[0008]具有内部镀膜空间，容工件进出并在该内部镀膜空间中停留镀膜的卧式真空管；
[0009]用于对工件做出离子镀膜的点状电弧；
[0010]以及，用于连接点状电弧以及卧式真空管的密封法兰。
[0011]进一步的，卧式真空管包括有管体、进口插板阀、出口插板阀、抽气口以及至少一个镀膜源口；
[0012]进口插板阀设置在管体的其中一端，与管体连接，进口插板阀打开时，工件经进口插板阀进入管体中；出口插板阀设置在管体的另一端，与管体连接，出口插板阀打开时，工件经出口插板阀离开管体；抽气口开设在管体上；镀膜源口与点状电弧相适配开设在管体上。抽气口向外部气源开放连接，方便改变管体内部气压环境，在需要时对管体内部空间抽真空，为工件在管体内停留并进行镀膜加工提供真空环境。而镀膜源口则为点状电弧提供安装基础。在管体的两端分别设置进口插板阀以及出口插板阀，则进口插板阀、管体以及出
口插板阀三者接合，将形成一个卧式结构，需要加工的工件经前序加工后，进口插板阀打开，工件通过进口插板阀进入到管体中，在管体中完成加工后，出口插板阀打开，完成加工的工件再经出口插板阀送出，工件在整个加工过程中，其行进方向为统一的、前向的，单一方向的，这就意味着，在具体使用时，设置多个卧式真空管并顺序排列，相邻管体至今通过进口插板阀与出口插板阀密封结合，沿管体轴线方向铺设输送轨道，则工件可在前一卧式真空管中完成该管体中预先设置的指定加工工序后，通过前一卧式真空管的出口插板阀后，经后一卧式真空管的进口插板阀进入到后一管体中，在后一管体中进行指定加工，前一卧式真空管与后一卧式真空管彼此独立、互不干扰，工件可依次进出前后管体完成指定加工，操作人员无需再对某一加工工序单独设置真空设备、反复破坏该设备的真空环境放入或取出工件后再转移至下一真空设备中，大幅提升了镀膜效率。
[0013]进一步的，由于卧式真空管的卧式结构，使得工件从进入到管体、在管体中停留加工到离开管体的过程，其行进路线始终为沿管体的轴线方向的，为保证工件在管体中停留时，该真空镀膜器能充分地对足够多的工件进行镀膜加工，在本申请提供的技术方案中，镀膜源口设置至少一个，镀膜源口沿管体的轴线排列，相邻镀膜源口之间均匀间隔。进一步提升镀膜效果，保证工件均匀、充分、有效地完成当前镀膜工序。
[0014]进一步的，密封法兰包括有密封支管、法兰垫片以及法兰盘；密封支管与镀膜源口一一对应设置，且每一根密封支管均对应镀膜源口与管体接合连通；法兰垫片设置在法兰盘与密封支管之间，法兰盘通过法兰垫片与密封支管连接。设置密封法兰，一方面可利用法兰盘、法兰垫片和密封支管之间的连接关系，方便地将点状电弧与管体连接起来；另一方面，法兰盘、法兰垫片也很方便与密封支管拆卸，这样的结构也将方便技术人员拆下故障的点状电弧，维修或替换新的点状电弧；再者，法兰盘、法兰垫片与密封支管之间，由其结构具备的良好的接合性能，也非常适合于需求严格真空的场合，方便在管体中为工件构造镀膜环境。
[0015]进一步的，点状电弧包括有接套以及弧源；弧源嵌套在接套中，与接套连接；接套嵌套在法兰盘中，与法兰盘连接，接套与法兰盘连接时，弧源伸入管体中。在采用电弧为镀膜源为工件进行真空镀膜的过程中，一般需要通过引弧针尖触碰靶材表面产生放电进行引弧。如在镀膜过程中，引弧针与靶材表面距离过近，则引弧针针尖温度将不断升高，持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断，造成灭弧后镀膜工作无法继续进行；而如引弧针位置与靶材距离过远，弧针针尖与靶面不能接触，以致无法放电启弧。随着镀膜器持续工作，靶材的不断被消耗，引弧针与靶材之间的距离将不断改变，为保证每次镀膜前引弧针都能准确地与靶材接触，需不断调整引弧针与靶材之间的距离，因此在本申请提供的技术方案中，弧源包括有引弧气缸、引弧针以及靶材；引弧气缸嵌套在接套上，其缸体与接套连接，引弧气缸的气缸输出轴向管体内部空间伸出，引弧针与引弧气缸的气缸输出轴连接；靶材也与接套连接，引弧气缸伸缩时，引弧针与靶材接触或分离。气缸结构简洁、控制方便，使用气缸提供驱动力，并将气缸嵌套在接套上，使其气缸输出轴伸入管体内部，持续为引弧针提供可控的驱动力，则操作人员无需再反复破坏管体内部的真空环境、反复取出引弧针并调整其与把靶材的距离，保证镀膜器长时间稳定工作。
[0016]本技术的优势在于：相比于现有技术，在本技术中提供的技术方案将卧式真空管和点状电弧相结合，为工件构造出了一种结构简洁、加工方便的真空镀膜器，应用
到具体镀膜加工过程中，为工件构造出了独立的镀膜空间，且相邻的卧式真空镀膜器可以通过进口插板阀与出口插板阀密封连接形成连续的镀膜生产线，工件可以依次经过一个个真空镀膜器进行连续镀膜而不会破坏真空环境，实现连续镀膜，提升镀膜效率。
附图说明
[0017]图1是具体实施方式中提供的具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器应用到具体的镀膜加工过程中时，携带了待加工工件的行车架停留在镀膜器内部时的整体结构示意图。图中，A为行车架，B为待加工工件。
[0018]图2是具体实施方式中提供的具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器的第一视角的整体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，该镀膜器包括有：具有内部镀膜空间，容工件进出并在该内部镀膜空间中停留镀膜的卧式真空管；用于对工件做出离子镀膜的点状电弧；以及，用于连接所述点状电弧以及所述卧式真空管的密封法兰；所述卧式真空管包括有管体、进口插板阀、出口插板阀、抽气口以及镀膜源口；所述进口插板阀设置在所述管体的其中一端，与所述管体连接，所述进口插板阀打开时，工件经所述进口插板阀进入所述管体中；所述出口插板阀设置在所述管体的另一端，与所述管体连接，所述出口插板阀打开时，工件经所述出口插板阀离开所述管体；所述抽气口开设在所述管体上；所述镀膜源口与所述点状电弧相适配、开设在所述管体上。2.如权利要求1所述的具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征在于，所述镀膜源口设置至少一个，所述镀膜源口沿所述管体的轴线排列，相邻所述镀膜源口之间均匀间隔。3.如权利要求2所述的具有点状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪达文，汪友林，陆作军，
申请(专利权)人：森科五金深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：