一种旋转式电阻蒸发源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种旋转式电阻蒸发源，包括蒸发负载组件、旋转驱动件、蒸发组件和主轴；蒸发负载组件固定安装在主轴的顶部，主轴的底端与旋转驱动件的输出端连接，蒸发组件安装在蒸发负载组件的下方，蒸发组件可与蒸发负载组件配合形成电导通路。本实用新型专利技术通过旋转驱动件使得主轴转动快速切换不同的负载蒸发舟进行不同或者相同膜料的蒸发，这样可以大大提升膜效率。提升膜效率。提升膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转式电阻蒸发源


[0001]本技术属于电阻蒸发源
，具体涉及一种旋转式电阻蒸发源。

技术介绍

[0002]电阻蒸发源是一种应用于真空环境下通过两级铜电极在负载—蒸发舟上加载大电流（0~800A）、低电压（12V）使蒸发舟产生高温，从而蒸发添加在舟里的被镀膜料的装置；目前常规电阻蒸发源为单组固定电极；
[0003]例如中国专利申请号为CN201721195496.8中公开了“一种用于防污膜材料的电阻蒸发源，其特征在于，其包括蒸发舟、电极、电极棒、加热器、第一冷却水路、金属接线端子、第二冷却水路、上螺帽、下螺帽、上螺母、下螺母、上螺柱、下螺柱、连接孔，蒸发舟位于电极的一端，电极的另一端与电极棒的一端连接，电极棒的另一端连接金属接线端子，加热器位于电极棒的上方”；
[0004]该类专利采用单组固定电极对加热器进行通电加热，不能切换的结构，而每次蒸发舟只能蒸发一种膜料，而实现实用过程中，需要进行不同膜料进行蒸发，而这类专利只能等上一种膜料蒸发完成后才能添加新的膜料再次蒸发，这就大大降低了工作效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供隐藏式弧形门，用以解决现有技术中存在的上述问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种旋转式电阻蒸发源，包括蒸发负载组件、旋转驱动件、蒸发组件和主轴；所述蒸发负载组件固定安装在主轴的顶部，所述主轴的底端与旋转驱动件的输出端连接，所述蒸发组件安装在蒸发负载组件的下方，所述蒸发组件可与蒸发负载组件配合形成电导通路。
>[0007]优选的，所述蒸发负载组件包括转盘 、多组负载蒸发舟和多组电极座；所述转盘 固定安装在主轴的顶部，多组所述负载蒸发舟均固定安装在转盘 顶部、且环绕着转盘 等距分布，多组所述电极座与负载蒸发舟一一对应、且固定安装在相应的负载蒸发舟的输入端。
[0008]优选的，多组所述负载蒸发舟添加不同的膜料或者相同的膜料。
[0009]优选的，多组所述负载蒸发舟的外沿均安装有防污盒，多组所述防污盒均固定安装在转盘 的顶部。
[0010]优选的，所述蒸发组件包括安装架、电流输出件和电极杆；所述电流输出件滑动安装在安装架的内侧，所述电极杆贯穿安装架的顶壁、且与安装架滑动连接，所述电极杆的底部与电流输出件的输出端电性连接。
[0011]优选的，所述电极杆的顶端可与电极座配合、且与电极座电性连接。
[0012]优选的，所述电流输出件的输出电流大小为0
‑
800A。
[0013]优选的，所述安装架的底部固定安装有气缸，所述气缸的输出端与电流输出件底端的绝缘部固定连接。
有益效果
[0014]1、通过旋转驱动件使得主轴转动快速切换不同的负载蒸发舟进行不同或者相同膜料的蒸发，这样可以大大提升膜效率；
[0015]2、防污盒可以对相邻的两组负载蒸发舟进行隔离，这样可以避免相邻的两组负载蒸发舟的添加膜料时溢出相互污染的问题，也就可以避免在镀膜过程中出现混杂膜料的问题，进而提升了镀膜质量；
[0016]3、通过气缸实现电极杆与电极座的配合和脱离来控制负载蒸发舟的通电和断电，操作简单方便，有利于提高工作效率。
附图说明
[0017]图1为本申请实施例的结构示意图。
[0018]图2为本申请实施例的蒸发负载组件的结构示意图。
[0019]图3为本申请实施例中蒸发组件的结构示意图。
[0020]图中: 蒸发负载组件1、 转盘 11、防污盒12、负载蒸发舟13、电极座14、旋转驱动件2、蒸发组件3、安装架31、电流输出件32、气缸33、电极杆34、主轴4。
实施方式
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图和实施例或现有技术的描述对本技术作简单地介绍，显而易见地，下面关于附图结构的描述仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。
[0022]实施例一：本实施例提供了一种旋转式电阻蒸发源，包括蒸发负载组件1、旋转驱动件2、蒸发组件3和主轴4；蒸发负载组件1固定安装在主轴4的顶部，主轴4的底端与旋转驱动件2的输出端连接，蒸发组件3安装在蒸发负载组件1的下方，蒸发组件3可与蒸发负载组件1配合形成电导通路。
[0023]其中，通过旋转驱动2可以使得主轴4转动，从而使得转盘11发生转动，这就使得相应的负载蒸发舟13移动到蒸发组件3的位置，再通过蒸发组件3与该组负载蒸发舟13配合通电，进而使得负载蒸发舟13内部的电阻加热装置对膜料进行蒸发，当该组负载蒸发器13内部的膜料蒸发完全后，将该组负载蒸发舟13与蒸发组件3脱离断电，然后再次启动旋转驱动件2使得主轴4带动转盘11转动，这就使得下一组负载蒸发舟13转动到与蒸发组件3相对应的位置，再次将蒸发组件3与当前负载蒸发舟13配合通电，也就是使得当前负载蒸发舟13内的膜料被蒸发，同样的，通过旋转驱动件2使得主轴4转动快速切换不同的负载蒸发舟13进行不同或者相同膜料的蒸发，这样可以大大提升膜效率。
[0024]在其中一个实施例中，蒸发负载组件1包括转盘 11、多组负载蒸发舟13和多组电极座14；转盘 11固定安装在主轴4的顶部，多组负载蒸发舟13均固定安装在转盘 11顶部、且环绕着转盘 11等距分布，多组电极座14与负载蒸发舟13一一对应、且固定安装在相应的负载蒸发舟13的输入端。
[0025]具体的，多组负载蒸发舟13添加不同的膜料或者相同的膜料。
[0026]本实施例中，多组负载蒸发舟13的外沿均安装有防污盒12，多组防污盒12均固定安装在转盘 11的顶部。防污盒12可以对相邻的两组负载蒸发舟13进行隔离，这样可以避免相邻的两组负载蒸发舟13的添加膜料时溢出相互污染的问题，也就可以避免在镀膜过程中出现混杂膜料的问题，进而提升了镀膜质量。
[0027]在其中一个实施例中，蒸发组件3包括安装架31、电流输出件32和电极杆34；电流输出件32滑动安装在安装架31的内侧，电极杆34贯穿安装架31的顶壁、且与安装架31滑动连接，电极杆34的底部与电流输出件32的输出端电性连接。电流输出件32可以将电流导向电极杆34，由于电极杆34直径较大，所以电极杆34可以承载高电流，从而保证蒸发组件32保持高电流输出，进而使得负载蒸发舟13与蒸发组件32的输出端配合后内导入高电流，也就使得负载蒸发舟13内部的电阻加热装置可以快速产生高温对膜料进行蒸发，这就可以大大提升对膜料的蒸发速率。
[0028]具体的，电流输出件32的输出电流大小为0
‑
800A，安装架31的底部固定安装有气缸33，气缸33的输出端与电流输出件32底端的绝缘部固定连接。
[0029]本实施例中，当需要蒸发组件3与负载蒸发舟1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转式电阻蒸发源，其特征在于，包括蒸发负载组件（1）、旋转驱动件（2）、蒸发组件（3）和主轴（4）；所述蒸发负载组件（1）固定安装在主轴（4）的顶部，所述主轴（4）的底端与旋转驱动件（2）的输出端连接，所述蒸发组件（3）安装在蒸发负载组件（1）的下方，所述蒸发组件（3）可与蒸发负载组件（1）配合形成电导通路。2. 根据权利要求1所述的旋转式电阻蒸发源，其特征在于，所述蒸发负载组件（1）包括转盘 （11）、多组负载蒸发舟（13）和多组电极座（14）；所述转盘 （11）固定安装在主轴（4）的顶部，多组所述负载蒸发舟（13）均固定安装在转盘 （11）顶部、且环绕着转盘 （11）等距分布，多组所述电极座（14）与负载蒸发舟（13）一一对应、且固定安装在相应的负载蒸发舟（13）的输入端。3.根据权利要求2所述的旋转式电阻蒸发源，其特征在于，多组所述负载蒸发舟（13）添加不同的膜料或者相同的膜料。4.根据权利要求2或3所述的旋转式电阻蒸发源，其特征在于，多组所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张博，肖飞，
申请(专利权)人：成都中科德联真空科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：