一种节能型真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种节能型真空镀膜设备，包括：后壳和前壳的顶部设有电机，电机的输出轴贯穿后壳和前壳的顶部且延伸至其内部并同轴连接有连接杆；本装置通过设置电机、连接杆、电动推杆、刮板等装置，通过电机带动刮板在本装置内转动，使得刮板能及时清理本装置内壁上附着的靶材残余，避免在长期使用后，因靶材未及时清理，而发生作业效率降低、镀膜质量变差、机械内的抽速变慢等不良影响；本装置通过在真空抽气泵正下方设置方框和过滤网板等，使得本装置在运行过程中，靶材会被过滤网板等过滤组件过滤，避免本装置工作时，其内部的靶材进入真空抽气泵内，产生靶材损坏真空抽气泵的现象。现象。现象。

【技术实现步骤摘要】
一种节能型真空镀膜设备


[0001]本申请属于镀膜
，具体涉及节能型真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜机，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。
[0003]例如公开号为CN210529030U的中国专利，公开了一种节能安全真空镀膜机，包括真空镀膜机本体、合页、放置座、观察窗、冷风机、传输管、U型管、制冷片、散热格栅、蝶形阀以及单向阀，放置座上端面安装有真空镀膜机本体，真空镀膜机本体右端面连接有合页，真空镀膜机本体前端面设置有观察窗，放置座内部左侧装配有冷风机，冷风机右端面连接有传输管，传输管右端面连接有U型管，U型管内侧安装有制冷片，U型管内部下侧设置有单向阀，U型管环形侧面右侧设置有蝶形阀，放置座右端面安装有散热格栅，该设计解决了原有的真空镀膜机在蒸镀材料时产生大量热量无法散发的问题，本技术结构合理，热量散发效果好，安全性佳，使用便利。
[0004]上述专利存在以下问题：
[0005]该专利在使用时存在着一些缺点，如：真空镀膜机内壁上附着的靶材不易清理，如未能及时清理，在长期使用后，会使真空镀膜机发生作业效率降低，镀膜质量变差，机械内的抽速变慢等不良影响，镀膜时，真空镀膜机本体内的靶材会进入真空抽气泵内，使得真空抽气泵发生损毁以及真空系统被污染等不良影响。鉴于此，我们提出一种节能型真空镀膜设备。

技术实现思路

[0006]本申请的目的是，确保真空镀膜机内壁上附着的靶材被及时清理，进而不会发生沉着现象，保证真空镀膜机作业效率的高效，此外，确保真空镀膜机工作时，其内部的靶材不会进入真空抽气泵内，避免靶材损坏真空抽气泵的现象产生。
[0007]为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：一种节能型真空镀膜设备，包括：
[0008]后壳和前壳的顶部设有电机，所述电机的输出轴贯穿后壳和前壳的顶部且延伸至其内部并同轴连接有连接杆，所述连接杆上固定有多个均匀分布的悬挂杆，所述后壳的顶端固定安装有真空抽气泵，所述真空抽气泵的输出端贯穿后壳的顶部并延伸至后壳的内部，所述后壳和前壳的底部设有漏斗，所述漏斗的底端安装有阀门；
[0009]刮料组件，所述刮料组件设置在连接杆上，并用于刮除后壳和前壳内壁上的靶材；
[0010]回收组件，所述回收组件位于漏斗的底端，并用于收取刮料组件从后壳和前壳内壁上刮下的靶材；
[0011]过滤组件，所述过滤组件位于后壳的内部，并用于对靶材进行过滤。
[0012]优选的，所述刮料组件包括：
[0013]四个电动推杆，四个所述电动推杆的一端均固定连接在连接杆的上端，四个所述电动推杆的另一端均固定安装有刮板，且四个电动推杆均位于若干悬挂杆的上方。
[0014]优选的，所述回收组件包括：
[0015]收集盒，所述收集盒的周侧设有四个挂钩，且收集盒设置在四个挂钩之间，四个所述挂钩的顶端均与漏斗的下表壁固定。
[0016]优选的，四个所述挂钩采用塑料材质。
[0017]优选的，所述过滤组件包括：
[0018]方框，所述方框位于真空抽气泵输出轴正下方且与后壳的内壁固定，所述方框内固定安装有过滤网板。
[0019]优选的，所述后壳的外表壁固定安装有靶材箱，所述靶材箱内安装有液泵机，所述靶材箱外固定安装有喷洒管，所述喷洒管的一端贯穿后壳并延伸至后壳的内部，所述喷洒管的另一端贯穿靶材箱的一侧并延伸至靶材箱的内部与液泵机固定连接。
[0020]优选的，所述后壳和前壳之间设有密封垫，所述密封垫与前壳的一侧紧密粘接。
[0021]优选的，所述漏斗的下表壁固定安装有多个支撑腿，每个所述支撑腿的底端均固定安装有自锁万向轮。
[0022]有益效果：本装置通过设置电机、连接杆、电动推杆、刮板等装置，让电机带动刮板在本装置内转动，使得刮板能及时清理本装置内壁上附着的靶材残余，避免在长期使用后，因靶材未及时清理，而发生作业效率降低、镀膜质量变差、机械内的抽速变慢等不良影响；本装置通过在真空抽气泵正下方设置方框和过滤网板等，使得本装置在运行过程中，靶材会被过滤网板等过滤组件过滤，避免本装置工作时，其内部的靶材进入真空抽气泵内，产生靶材损坏真空抽气泵的现象。
附图说明
[0023]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0024]图1为本技术的整体结构示意图（前视状态下）；
[0025]图2为本技术的整体结构示意图（后视状态下）；
[0026]图3为本技术的整体结构示意图（前壳打开状态下）；
[0027]图4为本技术中方框和过滤网板的结构示意图；
[0028]图5为本技术中连接杆、刮板和悬挂杆的结构示意图；
[0029]图6为本技术中靶材箱和喷洒管的结构示意图；
[0030]图7为本技术中回收组件的结构示意图。
[0031]图中：1、后壳；2、前壳；3、支撑腿；4、自锁万向轮；5、密封垫；6、电机；7、连接杆；8、悬挂杆；9、电动推杆；10、刮板；11、靶材箱；12、喷洒管；13、真空抽气泵；14、方框；15、过滤网板；16、漏斗；17、挂钩；18、收集盒；19、阀门。
实施方式
[0032]以下结合附图1
‑
图7对本申请作进一步详细说明。
[0033]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0034]本申请实施例公开一种节能型真空镀膜设备，包括：
[0035]后壳1和前壳2的顶部设有电机6，电机6的输出轴贯穿后壳1和前壳2的顶部且延伸至其内部并同轴连接有连接杆7，连接杆7上固定有多个均匀分布的悬挂杆8，后壳1的顶端固定安装有真空抽气泵13，真空抽气泵13的输出端贯穿后壳1的顶部并延伸至后壳1的内部，后壳1和前壳2的底部设有漏斗16，漏斗16的底端安装有阀门19；
[0036]刮料组件，刮料组件设置在连接杆7上，并用于刮除后壳1和前壳2内壁上的靶材；
[0037]回收组件，回收组件位于漏斗16的底端，并用于收取刮料组件从后壳1和前壳2内壁上刮下的靶材；
[0038]过滤组件，过滤组件位于后壳1的内部，并用于对靶材进行过滤。
[0039]在其中一个实施例中，刮料组件包括：
[0040]四个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能型真空镀膜设备，其特征在于，包括：后壳（1）和前壳（2）的顶部设有电机（6），所述电机（6）的输出轴贯穿后壳（1）和前壳（2）的顶部且延伸至其内部并同轴连接有连接杆（7），所述连接杆（7）上固定有多个均匀分布的悬挂杆（8），所述后壳（1）的顶端固定安装有真空抽气泵（13），所述真空抽气泵（13）的输出端贯穿后壳（1）的顶部并延伸至后壳（1）的内部，所述后壳（1）和前壳（2）的底部设有漏斗（16），所述漏斗（16）的底端安装有阀门（19）；刮料组件，所述刮料组件设置在连接杆（7）上，并用于刮除后壳（1）和前壳（2）内壁上的靶材；回收组件，所述回收组件位于漏斗（16）的底端，并用于收取刮料组件从后壳（1）和前壳（2）内壁上刮下的靶材；过滤组件，所述过滤组件位于后壳（1）的内部，并用于对靶材进行过滤。2.根据权利要求1所述的节能型真空镀膜设备，其特征在于：所述刮料组件包括：四个电动推杆（9），四个所述电动推杆（9）的一端均固定连接在连接杆（7）的上端，四个所述电动推杆（9）的另一端均固定安装有刮板（10），且四个电动推杆（9）均位于若干悬挂杆（8）的上方。3.根据权利要求1所述的节能型真空镀膜设备，其特征在于：所述回收组件包括：收集盒（18），所述收集盒（18）的周侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖飞，崔勇，
申请(专利权)人：成都中科德联真空科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：