【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空蒸镀，具体地涉及一种蒸发舟和真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空蒸发镀膜技术是在真空条件下将蒸发材料加热熔化并蒸发，使蒸发材料的原子或分子沉积在基材表面形成镀膜。盛装蒸发材料的蒸发舟是真空镀膜设备中最重要的消耗性零部件，其好坏对镀膜均匀性、成膜质量等参数有着重要影响，并直接影响真空镀膜的效率和成本。
2、在蒸发过程中，由于蒸发舟靠近电极的端部位置一般为低温区，熔池中的金属熔液在此低温区无法蒸发，导致熔池中的金属熔液逐渐凝结堆积在蒸发舟两端的夹持位置处，形成本领域人员俗称的“冲夹头”现象。“冲夹头”现象会造成蒸镀材料的损失，并且在后续清理时不仅费时费力，还容易破坏一些蒸发舟表面刻意布置的纹理结构，导致蒸发舟的再次使用受到影响。
3、为了避免“冲夹头”现象，技术人员从诸多角度考虑措施。例如从夹持装置的角度考虑，通过减弱其冷却能力来提升蒸发舟两端的温度，使蒸发舟两端的金属熔液尽量被蒸发，以降低“冲夹头”现象的发生几率，但是蒸发金属熔液所需的温度较高，如此夹持装置的材料既要保持高温不变形，还要有良好的导电性，导致材料成本和能耗升高。又如从蒸发舟的角度考虑，现有的一类方案是采用物理遮挡的方式来阻止“冲夹头”现象的发生，例如将蒸发舟与夹持装置之间的石墨垫片增高，但这种方式极有可能导致熔池中的蒸镀材料溢出，也会造成蒸镀材料的损失。还有一类方案是在蒸发舟的两端开设沟槽，然而专利技术人发现，由于沟槽所形成的高温区太窄，熔池中的金属熔液未经蒸发便会轻易通过，因此开设沟槽并不能有效减少“冲夹头”现象，而且沟槽会导致
技术实现思路
1、本技术的目的是为了克服现有蒸发舟在使用时因“冲夹头”现象而导致蒸镀材料损失的问题，提供一种蒸发舟和真空镀膜设备，该蒸发舟能够有效避免“冲夹头”现象，即避免蒸镀材料在蒸发舟的两端凝结堆积而造成损失的问题。
2、为了实现上述目的，本技术一方面提供一种蒸发舟，包括蒸发舟本体，所述蒸发舟本体上设置有用于容纳金属熔液的熔池，位于所述熔池底部的所述蒸发舟本体包括第一本体段，所述第一本体段的两端分别设置有第二本体段，沿从所述第一本体段向所述蒸发舟本体端部的方向，两个所述第二本体段的垂直于所述蒸发舟本体长度方向的横截面逐渐变小。
3、可选地，所述第二本体段的两侧轮廓为倾斜的直线或向外突出的弧形。
4、可选地，所述第二本体段的长度为所述蒸发舟长度的5％-15％。
5、可选地，在所述蒸发舟本体的长度方向上，所述第一本体段的垂直于所述蒸发舟本体长度方向的横截面的面积始终相等。
6、可选地，所述熔池包括对应所述第一本体段的中间区和对应所述第二本体段的缓冲区，所述缓冲区的宽度方向尺寸沿朝向所述蒸发舟本体端部的方向逐渐变小。
7、可选地，所述蒸发舟本体的两端分别设置有连接部，所述连接部远离所述蒸发舟本体的一端用于连接电极。
8、可选地，所述连接部与所述蒸发舟本体之间设置有缓冲部，沿从所述连接部向所述蒸发舟本体的方向，所述缓冲部的垂直于所述蒸发舟长度方向的横截面逐渐变小。
9、可选地，在所述蒸发舟的长度方向上，所述缓冲部的垂直于所述蒸发舟长度方向的横截面的面积变化率大于所述第二本体段的垂直于所述蒸发舟本体长度方向的横截面的面积变化率。
10、可选地，所述连接部沿所述蒸发舟长度方向的尺寸小于等于所述蒸发舟长度的20％。
11、本技术第二方面提供一种真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括前述的蒸发舟。
12、与现有技术相比，在本技术提供的蒸发舟中，位于熔池底部的蒸发舟本体包括第一本体段及设置在第一本体段两端的第二本体段，沿从第一本体段向蒸发舟本体端部的方向，两个第二本体段的垂直于蒸发舟本体长度方向的横截面逐渐变小，使得第二本体段对应的熔池内的温度变化梯度相对较小，避免了温度的急剧变化，提供了足够的缓冲距离，使得第一本体段对应的熔池内的金属熔液向蒸发舟本体端部方向浸润时有足够的时间蒸发，进一步避免金属熔液在靠近蒸发舟本体端部的位置处凝结堆积而形成“冲夹头”现象。
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1.一种蒸发舟(100)，其特征在于，包括蒸发舟本体(110)，所述蒸发舟本体(110)上设置有用于容纳金属熔液的熔池(111)，位于所述熔池(111)底部的所述蒸发舟本体(110)包括第一本体段(112)，所述第一本体段(112)的两端分别设置有第二本体段(113)，沿从所述第一本体段(112)向所述蒸发舟本体(110)端部的方向，两个所述第二本体段(113)的垂直于所述蒸发舟本体(110)长度方向的横截面逐渐变小。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述第二本体段(113)的两侧轮廓为倾斜的直线或向外突出的弧形。
3.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述第二本体段(113)的长度为所述蒸发舟(100)长度的5％-15％。
4.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，在所述蒸发舟本体(110)的长度方向上，所述第一本体段(112)的垂直于所述蒸发舟本体(110)长度方向的横截面的面积始终相等。
5.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述熔池(111)包括对应所述第一本
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述蒸发舟本体(110)的两端分别设置有连接部(120)，所述连接部(120)远离所述蒸发舟本体(110)的一端用于连接电极。
7.根据权利要求6所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述连接部(120)与所述蒸发舟本体(110)之间设置有缓冲部(130)，沿从所述连接部(120)向所述蒸发舟本体(110)的方向，所述缓冲部(130)的垂直于所述蒸发舟(100)长度方向的横截面逐渐变小。
8.根据权利要求7所述的蒸发舟(100)，其特征在于，在所述蒸发舟(100)的长度方向上，所述缓冲部(130)的垂直于所述蒸发舟(100)长度方向的横截面的面积变化率大于所述第二本体段(113)的垂直于所述蒸发舟本体(110)长度方向的横截面的面积变化率。
9.根据权利要求6所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述连接部(120)沿所述蒸发舟(100)长度方向的尺寸小于等于所述蒸发舟(100)长度的20％。
10.一种真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备包括根据权利要求1-9中任意一项所述的蒸发舟(100)。
...【技术特征摘要】
1.一种蒸发舟(100)，其特征在于，包括蒸发舟本体(110)，所述蒸发舟本体(110)上设置有用于容纳金属熔液的熔池(111)，位于所述熔池(111)底部的所述蒸发舟本体(110)包括第一本体段(112)，所述第一本体段(112)的两端分别设置有第二本体段(113)，沿从所述第一本体段(112)向所述蒸发舟本体(110)端部的方向，两个所述第二本体段(113)的垂直于所述蒸发舟本体(110)长度方向的横截面逐渐变小。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述第二本体段(113)的两侧轮廓为倾斜的直线或向外突出的弧形。
3.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述第二本体段(113)的长度为所述蒸发舟(100)长度的5％-15％。
4.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，在所述蒸发舟本体(110)的长度方向上，所述第一本体段(112)的垂直于所述蒸发舟本体(110)长度方向的横截面的面积始终相等。
5.根据权利要求1所述的蒸发舟(100)，其特征在于，所述熔池(111)包括对应所述第一本体段(112)的中间区(1111)和对应所述第二本体段(113)的缓冲区(1112)，所述缓冲区(1112)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王洪波，康远浩，侯建洋，孙欣森，李永伟，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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