纳米真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种纳米真空镀膜设备，包括：箱体，所述箱体具有真空腔以及与所述真空腔相连通的开口；旋转筒，绕自身轴线可转动地设置在所述箱体内，所述旋转筒内设置有滑动槽；旋转驱动件，设置在所述箱体内，且与所述旋转筒传动连接，能够驱动所述旋转筒旋转；升降筒，沿竖直方向可移动地设置在所述滑动槽内；升降驱动件，设置在所述滑动槽内，且与所述升降筒连接，能够驱动所述升降筒移动；密封盖，设置在所述开口的正上方，且与所述升降筒连接。本实用新型专利技术能够实现密封盖自动打开和关闭，密封盖的打开和关闭较为方便。封盖的打开和关闭较为方便。封盖的打开和关闭较为方便。

【技术实现步骤摘要】
纳米真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种纳米真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]目前，市场上常见的纳米真空镀膜设备的密封盖一般是通过一些锁扣紧固在箱体顶部，当需要打开密封盖的时候首先需要把所有锁扣都打开，然后几个人合作一起将密封盖抬起来搬下来，耗时耗力，密封盖的打开不方便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种纳米真空镀膜设备，以解决现有的纳米真空镀膜设备的密封盖打开不方便的问题。
[0004]为此，本技术采用的一个技术方案是提供一种纳米真空镀膜设备，包括：
[0005]箱体，所述箱体具有真空腔以及与所述真空腔相连通的开口；
[0006]旋转筒，绕自身轴线可转动地设置在所述箱体内，所述旋转筒内设置有滑动槽；
[0007]旋转驱动件，设置在所述箱体内，且与所述旋转筒传动连接，能够驱动所述旋转筒旋转；
[0008]升降筒，沿竖直方向可移动地设置在所述滑动槽内；
[0009]升降驱动件，设置在所述滑动槽内，且与所述升降筒连接，能够驱动所述升降筒移动；
[0010]密封盖，设置在所述开口的正上方，且与所述升降筒连接。
[0011]在本技术的一个实施例中，还包括压紧组件，所述压紧组件包括：
[0012]连接板，与所述升降筒连接；
[0013]导杆，沿竖直方向滑动设置在所述连接板上，所述导杆的一端和所述密封盖连接，所述导杆的另一端设置有限位板；
[0014]弹性件，套设在所述导杆上，所述弹性件的一端抵接于所述连接板，所述弹性件的另一端抵接于所述密封盖。
[0015]在本技术的一个实施例中，所述弹性件为弹簧。
[0016]在本技术的一个实施例中，所述箱体顶部还设置有安装腔，所述安装腔不与所述真空腔连通，所述旋转驱动件和所述旋转筒均设置在所述安装腔内。
[0017]在本技术的一个实施例中，还包括传动组件，所述传动组件包括相互啮合的主动齿轮和从动齿轮，所述主动齿轮设置在所述旋转驱动件的驱动端，所述从动齿轮套设在所述旋转筒上。
[0018]在本技术的一个实施例中，所述旋转驱动件为电机。
[0019]在本技术的一个实施例中，所述升降驱动件为气缸。
[0020]在本技术的一个实施例中，所述旋转筒的上下两端分别通过轴承转动设置在所述箱体内。
[0021]在本技术的一个实施例中，所述密封盖的下表面设置有密封圈。
[0022]本技术的有益之处在于：
[0023]区别于现有技术，应用本技术的技术方案，需要打开密封盖时，升降驱动件驱动升降筒上升带动密封盖上升而与开口脱离，然后旋转驱动件驱动旋转筒旋转带动旋转筒内的升降筒以及密封盖一同旋转而使得密封盖离开开口的正上方，此时开口被打开；需要关闭密封盖时，旋转驱动件驱动旋转筒旋转带动旋转筒内的升降筒以及密封盖一同旋转而使得密封盖转动至开口的正上方，然后升降驱动件驱动升降筒下降带动密封盖下降而将开口封闭。如此，能够实现密封盖自动打开和关闭，密封盖的打开和关闭较为方便。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是本技术一实施例中纳米真空镀膜设备的剖视示意图。
具体实施方式
[0026]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特
征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0032]参见图1所示，本技术的一实施例中提供的一种纳米真空镀膜设备，包括箱体1、旋转驱动件2、旋转筒4、升降驱动件5、升降筒6和密封盖7。箱体1具有真空腔11以及与真空腔11相连通的开口13。旋转筒4绕自身轴线可转动地设置在箱体1内，旋转筒4内设置有滑动槽41。旋转驱动件2设置在箱体1内，且与旋转筒4传动连接，能够驱动旋转筒4旋转。升降筒6沿竖直方向可移动地设置在滑动槽41内。升降驱动件5设置在滑动槽41内，且与升降筒6连接，能够驱动升降筒6移动。密封盖7设置在开口13的正上方，且与升降筒6连接。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米真空镀膜设备，其特征在于，包括：箱体，所述箱体具有真空腔以及与所述真空腔相连通的开口；旋转筒，绕自身轴线可转动地设置在所述箱体内，所述旋转筒内设置有滑动槽；旋转驱动件，设置在所述箱体内，且与所述旋转筒传动连接，能够驱动所述旋转筒旋转；升降筒，沿竖直方向可移动地设置在所述滑动槽内；升降驱动件，设置在所述滑动槽内，且与所述升降筒连接，能够驱动所述升降筒移动；密封盖，设置在所述开口的正上方，且与所述升降筒连接。2.根据权利要求1所述的纳米真空镀膜设备，其特征在于，还包括压紧组件，所述压紧组件包括：连接板，与所述升降筒连接；导杆，沿竖直方向滑动设置在所述连接板上，所述导杆的一端和所述密封盖连接，所述导杆的另一端设置有限位板；弹性件，套设在所述导杆上，所述弹性件的一端抵接于所述连接板，所述弹性件的另一端抵接于所述密封盖。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙瑞雪，江成龙，
申请(专利权)人：聚能纳米科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：