本发明公开了一种SiC籽晶粘结加热固定装置，包括石墨盘、石墨底托、压坨和压块，石墨底托放置于所述石墨盘上，所述石墨底托远离所述石墨盘的面上设置有用于放置石墨纸的放置腔；压坨放置于所述放置腔内，所述压坨的侧面与所述放置腔的腔壁对应设置；压...

本发明提供了一种碳化硅晶片的清洗方法，包括以下步骤：将待清洗的碳化硅晶片在清洗液中浸泡，得到清洗后的碳化硅晶片；所述清洗液包括非质子极性溶剂与水。与现有技术相比，本发明在湿法清洗工艺前将碳化硅晶片在包括非质子极性溶剂与水的清洗液中进行浸...

本申请公开了一种外延生长系统，所述生长系统包括：供气控制子系统，用于输入多种不同气体，输出

本实用新型公开了一种掺V碳化硅降低包裹物的石墨件，包括：晶体边缘石墨件；所述晶体边缘石墨件的侧壁内设有第一槽，所述第一槽的槽口位于所述晶体边缘石墨件的侧壁的底部。本方案在晶体边缘石墨件的侧壁内设有第一槽；由于相同条件下，气体热导率小于固...

本实用新型公开了一种碳化硅晶片清洗卡塞装置，包括：清洗卡塞底座、卡塞支撑横梁、卡塞前连接件和卡塞后连接件；所述卡塞支撑横梁用于支撑晶片，所述清洗卡塞底座和若干根所述卡塞支撑横梁分别连接于所述卡塞前连接件和卡塞后连接件之间，所述清洗卡塞底...

本实用新型公开了一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，包括：筒体和筒盖；所述筒体包括：第一导热环、发热筒和卷筒固态石墨毡；所述第一石墨环设置于所述发热筒的顶部，所述卷筒固态石墨毡包裹所述小导热环和所述发热筒；所述筒盖扣合于所述第一石墨环...

本实用新型公开了一种掺V碳化硅增强气体流入均匀性的装置，包括：气盘、第一通气杆和第二通气杆；所述第一通气杆的一端用于连接反应腔室底部的进气孔，另一端连接于所述气盘的侧面，所述气盘的顶面与所述第二通气杆的底端连接，所述第二通气杆的顶端位于...

本实用新型公开了一种碳化硅籽晶的粘接模具，包括：模具本体和石墨底托；所述模具本体安装于所述石墨底托；所述模具本体的内径大于籽晶的直径，所述籽晶偏心粘接在所述石墨底托。本方案的模具本体内径略大于籽晶直径，一方面可以确保模具在安装过程中不会...

本实用新型公开了一种防夹痕的透窗卡塞装置，包括：盒盖；所述盒盖开设有卡槽，且所述卡槽位于所述盒盖的中央。本方案将传统卡塞盒盖两处夹槽位置更改为主定位边一处部分，并降低卡槽深度，可有效提升晶圆有效面积，且不会影响产品品质；在不需要重新打开...

本申请公开了一种晶棒的切割方法以及切割装置，所述切割方法包括：在切割晶棒的过程中，获取切割线相对于所述晶棒的当前切割位置；基于所述切割位置，控制所述切割线的运行速度与所述切割线和所述晶棒的圆心之间的距离为正相关。在所述方法中，基于所述切...

本申请公开了一种辊轮组件的加工方法以及晶棒切割装置，所述辊轮组件包括出线辊轮和入线辊轮，所述辊轮组件的加工方法，包括：提供两个圆柱状滚轮本体，分别用于制备所述出线辊轮和所述入线辊轮；在所述滚轮本体的侧面形成绕线槽，以形成所述出线辊轮和所...

本申请技术方案公开了一种用于晶片打磨设备的加工垫组件，所述加工垫组件包括第一加工垫、第二加工垫以及离型粘结层，第一加工垫和第二加工垫通过离型粘结层粘结固定，其中，对晶片进行打磨时，第一加工垫用于与上打磨盘粘结固定，第二加工垫用于与下打磨...

本发明公开了一种碳化硅单晶的生长装置，包括：加热单元、保温单元和晶体生长单元，所述晶体生长单元设置于所述加热单元内部，所述晶体生长单元包括：坩埚，用于盛放碳化硅粉料并提供碳化硅单晶的生长场所；提拉杆，固定于所述坩埚顶部，所述提拉杆用于将...

本实用新型公开了一种晶片加工供液系统，包括：原料仓，所述原料仓的数量为多个；混料及供液仓，所述混料及供液仓的进料口连接由多个连接管路，多个所述连接管路与多个所述原料仓的出料口一一对应连接，多个所述连接管路上均具有控制所述连接管路内流体流...

本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片的检测装置。该用于碳化硅晶片的检测装置包括支撑架；设置于支撑架上的晶片支撑组件，晶片支撑组件包括托板和支撑台，托板上设有第一透光孔、晶片支撑台阶和避让槽，晶片支撑台阶沿第一透光孔的圆周开设，并且晶片支撑...

本实用新型公开了一种晶片研磨支撑装置。该晶片研磨支撑装置包括支撑板，支撑板上切割有多个晶片放置孔，晶片放置孔与碳化硅晶片的外沿能够配合；弹性缓冲件，弹性缓冲件安装于晶片放置孔。使用本实用新型所提供的晶片研磨支撑装置时，通过支撑板上的晶片...

本实用新型公开了一种打磨设备，所述打磨设备包括：第一转动设备，所述第一转动设备用于安装砂轮，且能够带动所述砂轮转动，或所述第一转动设备用于支撑载体盘，且能够带动所述支撑载体盘转动；所述支撑载体盘用于安装碳化硅晶片；第二转动设备，所述第二...

本实用新型涉及碳化硅晶体生长籽晶粘结技术领域，公开了一种刮胶装置，包括底托、操作台、支撑架、刮胶杆、刮刀。其中：操作台的顶面还设置有预留孔，紧固螺丝穿过预留孔与底托固连；支撑架的底部与操作台固连，顶部与刮胶杆的顶部转动连接，刮胶杆的顶部...

本实用新型公开了一种药液槽冷却装置，用于化蜡清洗药液冷却，包括对流框架、冷却管和挂钩，其中，对流框架的底部设置有对流底板，对流框架上环绕设置有对流侧壁形成用于放置冷却管的容纳腔，对流底板上设置有第一对流孔，对流侧壁上设置有第二对流孔，冷...

本实用新型公开了一种晶片取放装置。该晶片取放装置用于吸附晶片的真空吸笔；安装板，安装板能够滑动连接于晶片放置盒，并且安装板上设有至少一个能够使晶片和真空吸笔通过的导向孔。使用时，推动安装板，使安装板滑动至安装板的导向孔与晶片放置盒中的待...