一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，包括：筒体和筒盖；所述筒体包括：第一导热环、发热筒和卷筒固态石墨毡；所述第一石墨环设置于所述发热筒的顶部，所述卷筒固态石墨毡包裹所述小导热环和所述发热筒；所述筒盖扣合于所述第一石墨环和所述卷筒固态石墨毡的顶部。本方案对原保温筒结构进行改进，以降低固态石墨毡及发热筒的损耗，延长使用次数，降低材料成本。将原来放在发热筒上的环毡用同样厚度的第一导热环代替，原上层φ360/0实心毡分成实心毡、第二导热环、环毡三部分，利用石墨环导热效率高的特点，抑制碳化硅在固态石墨毡上结晶，保护发热筒上部固态石墨毡。毡。毡。

【技术实现步骤摘要】
一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒


[0001]本技术涉及碳化硅保温工装
，特别涉及一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒。

技术介绍

[0002]碳化硅晶体的生长条件十分严苛，其中高温保持是一个重要因素。
[0003]目前，碳化硅晶体生长仅用固态石墨毡作为保温筒的保温层，使用到20次以后，固态石墨毡上部被腐蚀严重，保温效果变差，尤其在后期生长过程中，较大的温差易引起晶体缺陷产生。
[0004]因此，如何降低固态石墨毡及发热筒的损耗，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供了一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，以降低固态石墨毡及发热筒的损耗，延长使用次数，降低材料成本。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，包括：筒体和筒盖；
[0008]所述筒体包括：第一导热环、发热筒和卷筒固态石墨毡；
[0009]所述第一石墨环设置于所述发热筒的顶部，所述卷筒固态石墨毡包裹所述小导热环和所述发热筒；
[0010]所述筒盖扣合于所述第一石墨环和所述卷筒固态石墨毡的顶部。
[0011]优选的，所述小导热环为石墨环。
[0012]优选的，所述小导热环的底面抵接于所述发热筒的顶面，所述小导热环的顶面平齐于所述卷筒固态石墨毡的顶面。
[0013]优选的，所述筒盖包括：环毡、实心毡和第二导热环；
[0014]所述第二导热环连接于所述环毡和所述实心毡之间。
[0015]优选的，所述第二导热环的径向尺寸大于所述第一导热环的径向尺寸。
[0016]优选的，所述第二导热环的内径等于所述第一导热环的外径。
[0017]优选的，所述实心毡直径等于所述第一导热环的外径。
[0018]优选的，所述实心毡的直径为230mm，和/或所述环毡的外径为360mm。
[0019]优选的，所述第二导热环为石墨环。
[0020]优选的，所述环毡和/或所述实心毡为固态石墨毡。
[0021]从上述的技术方案可以看出，本技术提供的保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，对原保温筒结构进行改进，以降低固态石墨毡及发热筒的损耗，延长使用次数，降低材料成本。将原来放在发热筒上的环毡用同样厚度的第一导热环代替，原上层φ360/0实心毡分成实心毡、第二导热环、环毡三部分，利用石墨环导热效率高的特点，抑制碳化硅在固
态石墨毡上结晶，保护发热筒上部固态石墨毡。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术实施例提供的保温筒的剖面结构示意图；
[0024]图2为本技术实施例提供的保温筒上层保温毡(即筒盖)的结构示意图。
[0025]其中，1
‑
小导热环；2
‑
发热筒；3
‑
卷筒固态石墨毡；4
‑
环毡；5
‑
实心毡；6
‑
第二导热环。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]本技术实施例提供的保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，包括：筒体和筒盖，其结构可以参照图1所示；
[0028]其中，筒体包括：第一导热环1、发热筒2和卷筒固态石墨毡3；
[0029]第一石墨环1设置于发热筒2的顶部，卷筒固态石墨毡3包裹小导热环1和发热筒2；
[0030]筒盖扣合于第一石墨环1和卷筒固态石墨毡3的顶部。
[0031]从上述的技术方案可以看出，本技术提供的保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，对原保温筒结构进行改进，将原来放在发热筒2上的环毡用第一导热环1代替，利用该第一导热环1导热效率高的特点，抑制碳化硅在固态石墨毡上结晶，保护发热筒上部固态石墨毡，以降低固态石墨毡及发热筒2的损耗，延长使用次数，降低材料成本。
[0032]作为优选，小导热环1为石墨环，利用其导热效率高的特点。
[0033]进一步的，小导热环1的底面抵接于发热筒2的顶面，小导热环1的顶面平齐于卷筒固态石墨毡3的顶面，以充分接触从而导热，其结构可以参照图1所示。
[0034]在本实施例中，筒盖包括：环毡4、实心毡5和第二导热环6，其结构可以参照图1和图2所示；
[0035]其中，第二导热环6连接于环毡4和实心毡5之间。本方案将原上层实心毡分成环毡4、实心毡5和第二导热环6三部分，利用第二导热环6导热效率高的特点，抑制碳化硅在固态石墨毡上结晶，保护发热筒上部固态石墨毡。
[0036]作为优选，第二导热环6的径向尺寸大于第一导热环1的径向尺寸，其结构可以参照图1所示，以满足不同位置的导热需求。
[0037]具体的，第二导热环6的内径等于第一导热环1的外径，以提供更好的导热路径。
[0038]进一步的，实心毡5直径等于第一导热环1的内径，则实心毡5正好能够封盖住第一导热环1，提高保温效果。
[0039]在本实施例中，实心毡5的直径为230mm，和/或环毡4的外径为360mm。
[0040]作为优选，第二导热环6为石墨环，利用其导热效率高的特点。
[0041]具体的，环毡4和/或实心毡5为固态石墨毡，以起到良好的保温效果。
[0042]下面结合具体实施例对本方案作进一步介绍：
[0043]本技术实公开了一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，对原保温筒结构进行改进，以降低固态石墨毡及发热筒的损耗，延长使用次数，降低材料成本。将原来放在发热筒2上的环毡用第一导热环1代替，原上层φ360/0实心毡分成环毡4、实心毡5和第二导热环6三部分，利用石墨环导热效率高的特点，抑制碳化硅在固态石墨毡上结晶，保护发热筒上部固态石墨毡。
[0044]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0045]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，其特征在于，包括：筒体和筒盖；所述筒体包括：第一导热环(1)、发热筒(2)和卷筒固态石墨毡(3)；所述第一导热环(1)设置于所述发热筒(2)的顶部，所述卷筒固态石墨毡(3)包裹所述第一导热环(1)和所述发热筒(2)；所述筒盖扣合于所述第一导热环(1)和所述卷筒固态石墨毡(3)的顶部。2.根据权利要求1所述的保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，其特征在于，所述第一导热环(1)为石墨环。3.根据权利要求1所述的保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，其特征在于，所述第一导热环(1)的底面抵接于所述发热筒(2)的顶面，所述第一导热环(1)的顶面平齐于所述卷筒固态石墨毡(3)的顶面。4.根据权利要求1所述的保证碳化硅生长温场稳定性的保温筒，其特征在于，所述筒盖包括：环毡(4)、实心毡(5)和第二导热环(6)；所述第二导热环(6)连接于所述环毡(4)和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹宇，魏莹，孙珮然，刘春俊，张平，彭同华，杨建，
申请(专利权)人：江苏天科合达半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：