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河南东微电子材料有限公司专利技术
河南东微电子材料有限公司共有108项专利
一种磁旋存储用钴铁硼靶材的制备方法技术
本发明公开了一种磁旋存储用钴铁硼靶材的制备方法,包括称取中间合金粉高能球磨活化、镀钴处理、真空预热压、热等静压热压烧结、背板焊接等步骤。该方法能够很好地制备出高致密的符合磁旋存储用的钴铁硼靶材,在较低温度下成型且提高了钴铁硼靶材的透磁率...
一种小尺寸靶材与背板的绑定方法技术
本发明公开了一种小尺寸靶材与背板的绑定方法,先将靶材与背板进行预处理;将双面导电布的A单面粘贴在背板焊接面上,加热背板和靶材焊接面到恒定温度;开启超声波振动仪施加到背板焊接面的导电布B单面上;撕开B单面上的离型纸,将靶材对接到背板焊接面...
一种钴钌靶材及其制备方法技术
本发明涉及半导体技术领域,且公开了一种钴钌靶材及其制备方法,本发明以纯度为2N8(99.8%)的钴锭和纯度为3N(99.9%)的钌锭经过真空蒸馏和电弧熔炼进行纯化,得到高纯度的高纯度的4N(99.99%)钴锭和4N(99.99%)钌锭;...
一种圆形靶材校平装置制造方法及图纸
本实用新型涉及靶材校平技术领域,尤其为一种圆形靶材校平装置,包括底座,所述底座的顶部设置有校平机构,所述底座的内部且在校平机构的正下方固定连接有电磁铁,所述电磁铁的顶部固定连接有吸附板,所述底座的左侧固定连接有控制面板,所述底座的右侧固...
一种靶材绑定加热平台制造技术
本实用新型涉及靶材加热装置技术领域,具体为一种靶材绑定加热平台,包括支撑底座,所述支撑底座的内部开设有安装仓,所述安装仓的内部左右两端分别通过轴承活动设置有转轴,所述转轴的外侧分别固定安装有主锥形齿轮,所述安装仓的内部顶端分别通过轴承活...
一种磁性靶材磁透率检测装置制造方法及图纸
本实用新型涉及磁透率检测技术领域,具体为一种磁性靶材磁透率检测装置,包括旋转检测台和屏蔽箱,所述旋转检测台活动安装在屏蔽箱的内部,同时屏蔽箱由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成,在外屏蔽体、内屏蔽体之间设置有气隙,同时气隙的内部固定安装有若干组...
一种高效筛粉分离装置制造方法及图纸
本实用新型涉及粉末颗粒筛分技术领域,尤其为一种高效筛粉分离装置,包括支撑架,所述支撑架的顶部四个支撑面上均安装有弹簧,所述弹簧的顶部安装有筛分筒,所述筛分筒的外围两侧面上对称安装有震动器,所述筛分筒的外围一侧面底部安装有下料斗,本实用新...
一种圆形磁性靶材磨削电磁夹具制造技术
本实用新型涉及靶材加工技术领域,具体为一种圆形磁性靶材磨削电磁夹具,包括L型底座,L型底座的顶端设有支撑架,支撑架的顶部设有限位架,限位架的内部设有限位槽,限位架的内部设有圆形靶材,限位架的顶部两端设有避让口,两个避让口的内部设有限位垫...
一种用于粉末振实平台的吊具制造技术
本实用新型涉及吊具技术领域,具体为一种用于粉末振实平台的吊具,包括控制箱和吊架,所述控制箱的顶部安装有固定座,所述控制箱的内壁顶端安装有无线控制处理器,所述控制箱的内部左侧安装有电机,所述电机的右侧输出端安装有电动绞盘,所述电动绞盘上缠...
靶材靶坯轧制送料装置制造方法及图纸
本实用新型涉及轧制设备技术领域,尤其为靶材靶坯轧制送料装置,包括底板主体,所述底板主体的顶端安装有输送辊道,所述底板主体的左端固定安装有第一支撑架,所述底板主体的右端固定安装有第二支撑架,所述第二支撑架的右端固定安装有承载板,所述承载板...
一种平面靶材表面磨削装置制造方法及图纸
本实用新型涉及磨削设备技术领域,尤其为一种平面靶材表面磨削装置,包括数控磨床,所述数控磨床的工作台上设置有磁吸板,所述磁吸板的端面上对角设置有快速定位结构,所述快速定位结构包括固定连接板,所述固定连接板连接在磁吸板端面的对角线上,所述固...
一种用于靶材表面加工的磨床固定装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种用于靶材表面加工的磨床固定装置,包括台体,所述台体上固定连接有安装架,所述安装架上滑动设置有电动打磨头,所述台体上设置有打磨机构,所述打磨机构包括台体上转动连接的环形块,所述环形块上固定连接有多个凸块,所述台体上滑动...
一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置,包括机架、移动横板、安装板与两个电动滑轨,所述移动横板下端通过安装筒与安装板上端固定连接,所述移动横板上通过安装杆转动连接有转动板,所述转动板下设有用于固定材料的固定机构,所述固...
一种熔炼坩埚翻转搅拌装置制造方法及图纸
本实用新型涉及熔炼坩埚技术领域,特别是一种熔炼坩埚翻转搅拌装置,包括支撑架。本实用新型的优点在于:通过设置液压缸,液压缸的输出端与防护外壳转动连接,进而液压缸伸长或者缩短动作,从而便于推动坩埚本体围绕两个限位柱的轴线进行转动,便于将坩埚...
一种热处理用消除板材应力的固定装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种热处理用消除板材应力的固定装置,包括底座,所述底座的上侧壁均匀固定连接有多个导轨,每个所述导轨的外壁均滑动套设有滑块,位于同一侧的所述滑块的上侧壁固定连接有承重杆,每个所述承重杆的顶端均固定连接有夹板一,所述底座的上...
一种钎焊用超声振动装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种钎焊用超声振动装置,包括加工台,加工台上放置有工件本体,所述加工台上开设有料槽,所述料槽的内侧壁上对称安装有两个加热板,所述加工台内固定有超声波发生器,所述超声波发生器的输出端连接有导振头,所述导振头位于料槽内,且导...
一种电化学镀铜浸泡装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种电化学镀铜浸泡装置,包括浸泡槽和插设于浸泡槽表面的转动柱,所述转动柱的一端通过轴承连接于浸泡槽的表面,且转动柱的内部转动设有第一转动杆,所述第一转动杆的一端贯穿于第一转动杆的表面,且第一转动杆的一端固定设有转动盘,所...
一种靶材包套漏气检测装置制造方法及图纸
本实用新型涉及漏气检测装置技术领域,尤其为一种靶材包套漏气检测装置,包括操作台,所述操作台的顶面中间处开设有滑槽,所述滑槽的内部设置有螺杆,所述螺杆的外壁套接有螺纹滑套,所述螺纹滑套的上侧设置有漏气检测组件,设置的立板、密封垫、密封槽能...
一种陶瓷环喷涂用定位装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种陶瓷环喷涂用定位装置,包括壳体、陶瓷环本体和缓冲结构,所述壳体的内壁上固定连接有固定台,所述固定台的上端面通过缓冲结构连接有承载板,所述陶瓷环本体放置在承载板的上端面上。本实用新型,通过一号伺服电机、转板、一号喷涂管...
一种靶材生产校平装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种靶材生产校平装置,包括设置在地面上且呈矩形状的底座,所述底座的顶部通过呈“U”型的支撑板连接有液压缸,所述液压缸的底部设置有对靶材进行校平的校平机构,位于液压缸下方的所述底座顶部开设有矩形槽,所述矩形槽的内部套设有截...
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