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河南东微电子材料有限公司专利技术
河南东微电子材料有限公司共有109项专利
一种氧化镁靶材制备用存放设备制造技术
本实用新型公开了一种氧化镁靶材制备用存放设备,包括壳体,所述壳体的前侧设有第一安装槽,所述壳体的前侧通过合页转动连接有转动门,所述转动门的前侧安装有第一把手,所述第一安装槽内水平设有多个滑动板,所述第一安装槽的左右内壁设有多个滑动槽,每...
高纯钌靶加工用精密机制造技术
本实用新型公开了高纯钌靶加工用精密机,包括台体与操作臂,所述操作臂的形状为L形,所述操作臂的一端与台体固定连接,所述台体表面开设有废料槽,所述操作臂侧壁安设有双轴正反转电机,所述双轴正反转电机一个输出端固定连接有第一齿轮,所述操作臂侧壁...
一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法技术
本发明提供了一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法,步骤包括:将氧化镁靶材溅射面、背板非喷涂面均用耐高温布包裹保护;清洗喷涂的部位;对喷涂部位进行喷砂处理;再次清洗喷涂部位;等离子喷涂工艺进行氧化铝喷涂;氧化铝涂层进行磨削抛光处理。本发...
一种靶材废料处理装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种靶材废料处理装置,包括底座,所述处理箱中开设有清洗槽,所述底座上固定安装有超声波发生器,所述处理箱底部安装有换能器,所述气动杆远离气缸一端安装有载物架,所述载物架和气动杆之间安装有卡紧装置,所述固定架上安装有水平推动...
一种旋转靶材绑定固定装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种旋转靶材绑定固定装置,包括底板,所述底板上壁固定连接有两个固定板,所述底板上壁固定连接有背管,所述底板上方设有旋转靶材,所述底板上壁固定连接有注液管,所述底板上方设有用于夹持旋转靶材的夹持机构。本实用新型结构设计合理...
一种靶材与背板的连接结构制造技术
本实用新型公开了一种靶材与背板的连接结构,包括背板本体与靶材本体,所述背板本体上设有放置槽,所述放置槽内设有连接板,所述连接板上设有安装槽,所述安装槽内设有用于夹紧靶材本体的夹紧机构,所述背板本体内设有一对安装腔,所述安装腔内设有用于固...
一种靶材贴合装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种靶材贴合装置,包括第一机架,两个第一机架的顶端固定连接有同一个固定座,所述固定座的顶端开设有滤料槽,所述滤料槽中固定连接有加热板,所述加热板的顶端设置有靶拖,所述靶拖的顶端设置有靶材,所述靶拖和靶材之间涂有易熔金属涂...
一种大尺寸平面靶材冷等静压辅助夹具制造技术
本实用新型公开了一种大尺寸平面靶材冷等静压辅助夹具,包括框架,所述框架上转动连接有双向丝杠,且双向丝杠上螺纹连接有两个套筒,两个所述套筒分别套接有上夹板和下夹板,且上夹板和下夹板均与框架滑动连接,所述上夹板的下端侧壁通过多个缓冲机构固定...
高纯铬钛合金靶表面研磨装置制造方法及图纸
本实用新型公开了高纯铬钛合金靶表面研磨装置,包括底座、合金靶,所述底座上通过两个支撑杆固定安装有顶板,所述底座上通过转辊转动安装有放置盒,且放置盒内固定安装有垫块,且合金靶放置在垫块上,所述放置盒内安装有两个夹持机构,所述放置盒上固定安...
一种应用于靶材钎焊的加热平台制造技术
本实用新型公开了一种应用于靶材钎焊的加热平台,包括底座,所述底座的上端面固定连接有两个支撑板,两个所述支撑板上均设有电动滑轨,两个所述电动滑轨上滑动连接有升降板,所述升降板上侧设有焊材,所述升降板上设有用于融化焊材的加热机构,所述底座上...
一种靶材背板快速成型装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种靶材背板快速成型装置,包括底板,所述底板左右两侧的上端固定连接有立柱,所述立柱的上端顶面上固定连接有顶板,所述顶板的上端以中线为对称轴开设有通孔,所述顶板的上端固定连接有伺服电机,所述底板的右侧上端固定连接有固定块,...
一种合金靶材的矫直装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种合金靶材的矫直装置,包括安装板,所述安装板上方固定连接有固定块,且一端垂直固定连接有安装杆,所述固定块上滑动卡设有一对移动块,两个所述移动块相互远离的一端均固定连接有固定条,且相互贴近的一端中部均开设有安装口,两个所...
一种靶材废料处理设备制造技术
本实用新型公开了一种靶材废料处理设备,包括箱体,所述箱体的外侧安装有电机,所述旋转轴密封贯穿箱体两侧,且旋转轴与电机轴固定连接,箱体内部所述旋转轴上固定连接有若干个旋转刀具,所述箱体远离电机的一侧转动连接有直齿轮,且直齿轮与旋转轴传动连...
一种MgO靶材制备装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种MgO靶材制备装置,包括箱体,所述箱体内通过隔板固定安装有制备块,所述制备块内开设有制备槽,所述箱体内固定安装有传输泵,且传输泵的输出端与制备槽之间连通泵送管,所述箱体内通过电动伸缩杆固定安装有压板,且压板与制备槽之...
一种靶材锁紧装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种靶材锁紧装置,包括底座、靶材本体,所述靶材本体放置在底座的上端,所述底座的上端对称设有两个与靶材本体的两端侧壁相抵的锁紧机构,两个所述锁紧机构的底部均开设有卡槽,所述底座上设有两个分别延伸至两个卡槽内的限位机构,所述...
一种用于热等静压机的电极引出装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种用于热等静压机的电极引出装置,包括引出箱,所述引出箱的侧壁设有电极本体,所述引出箱的侧壁固定连接有冷却箱,所述冷却箱的侧壁密封连接有循环水管和换液机构,所述循环水管上设有冷却循环机构,所述引出箱的侧壁固定连接有横杆,...
一种靶材的喷砂遮蔽治具制造技术
本实用新型公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具,涉及靶材喷砂治具,它包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部,所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构,所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板,所述遮板上端固定连接有壳体,所述壳体下端对称连通设有多个吸气...
一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具制造技术
本实用新型公开了一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具,包括数控机床和两块滑板,两块所述滑板均与数控机床的上下内壁滑动连接,两块所述滑板的两端分别固定连接有完全相同的滑块,所述数控机床的上下内壁上开设有与多个滑块分别匹配的滑槽,两...
一种带有清洗功能的混料机制造技术
本实用新型提供一种带有清洗功能的混料机,包括混料罐,混料罐的顶部设有加料口,混料罐的底部呈锥形,混料罐的底部最低处设有出料口,出料口处设有第一电磁阀;混料罐内设有转杆,转杆由设置在混料罐顶部的伺服电机驱动,转杆的下端延伸至出料口,转杆上...
一种钌钴铼合金粉末的制备方法技术
本发明公开了一种钌钴铼合金粉的制备方法,其步骤包括:一、按一定质量比称取钌粉(纯度99.99%)、钴片(纯度99.99%)、铼粉(纯度99.99%);二、将原料混合放入中频真空感应炉中,在氩气保护下进行多次熔炼,得到均匀化的钌钴铼合金液...
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