一种靶材的喷砂遮蔽治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具，涉及靶材喷砂治具，它包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部，所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构，所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板，所述遮板上端固定连接有壳体，所述壳体下端对称连通设有多个吸气管，多个所述吸气管下端均设有吸盘，多个所述吸盘下端与靶材上端接触，所述靶材上设有用于抽出吸盘内空气的抽气机构。本实用新型专利技术能够对非喷砂部进行有效地遮挡，从而保证了喷砂后的靶材达到使用标准，另外装置能够紧紧吸附在靶材表面，喷砂过程装置不会脱落，进一步保证了靶材喷砂的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材的喷砂遮蔽治具
本技术涉及靶材喷砂治具机
，尤其涉及一种靶材的喷砂遮蔽治具。
技术介绍
靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料，通常都需要进行磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。在靶材进行溅射之前，需要进行喷砂处理，以使得靶材获得较好的机械性能，而在进行喷砂时，只需针对溅射面的部分进行喷砂，而其中一部分不需要喷砂，即非喷砂部需要保护起来，使其免受喷砂的影响，以使得该靶材在喷砂过程中不会报废。现有技术中对于非喷砂部采用的保护措施是通过胶带的粘贴实现的，由于采用的胶带自身强度有限，胶带会在喷砂过程中会破损，导致继续喷砂过程中非喷砂部受到损伤，导致靶材报废，并且胶带的宽度较小，使得在遮蔽时无法将非喷砂部完全遮蔽，最终导致喷砂后的靶材不达标而无法使用，所以，需要设计一种靶材的喷砂遮蔽治具来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种靶材的喷砂遮蔽治具。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种靶材的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材的喷砂遮蔽治具，包括靶材（1）与设置靶材（1）上端的非喷砂部（2），其特征在于，所述靶材（1）上设有用于遮挡非喷砂部（2）的遮挡机构，所述遮挡机构包括设置在非喷砂部（2）上的遮板（16），所述遮板（16）上端固定连接有壳体（5），所述壳体（5）下端对称连通设有多个吸气管（4），多个所述吸气管（4）下端均设有吸盘（3），多个所述吸盘（3）下端与靶材（1）上端接触，所述靶材（1）上设有用于抽出吸盘（3）内空气的抽气机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材的喷砂遮蔽治具，包括靶材（1）与设置靶材（1）上端的非喷砂部（2），其特征在于，所述靶材（1）上设有用于遮挡非喷砂部（2）的遮挡机构，所述遮挡机构包括设置在非喷砂部（2）上的遮板（16），所述遮板（16）上端固定连接有壳体（5），所述壳体（5）下端对称连通设有多个吸气管（4），多个所述吸气管（4）下端均设有吸盘（3），多个所述吸盘（3）下端与靶材（1）上端接触，所述靶材（1）上设有用于抽出吸盘（3）内空气的抽气机构。


2.根据权利要求1所述的一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述抽气机构包括固定连接在壳体（5）上端的抽气管（6），所述抽气管（6）内设有活塞（7），所述活塞（7）侧壁固定连接有拉杆（8），所述拉杆（8）一端贯穿抽气管（6）侧壁，所述拉杆（8）远离抽气管（6）的一端固定连接有拉环（9），所述壳体（5）上设有用于固定拉环（9）的固定机构。


3.根据权利要求2所述的一种靶材的喷砂遮蔽治具，其特征在于，所述固定机...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，赵泽良，居炎鹏，陈耘田，郭利乐，仝红岩，王留土，郑海强，史豪杰，刘占军，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41