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一种靶材的喷砂遮蔽治具制造技术
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文档序号:29339917
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本实用新型公开了一种靶材的喷砂遮蔽治具,涉及靶材喷砂治具,它包括靶材与设置靶材上端的非喷砂部,所述靶材上设有用于遮挡非喷砂部的遮挡机构,所述遮挡机构包括设置在非喷砂部上的遮板,所述遮板上端固定连接有壳体,所述壳体下端对称连通设有多个吸气管,...
该专利属于河南东微电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南东微电子材料有限公司授权不得商用。
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