一种磁性靶材磁透率检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及磁透率检测技术领域，具体为一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台和屏蔽箱，所述旋转检测台活动安装在屏蔽箱的内部，同时屏蔽箱由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成，在外屏蔽体、内屏蔽体之间设置有气隙，同时气隙的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块，且通过设置的由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成的屏蔽箱可使得整个检测过程与外部大环境隔离屏蔽，从而使得整个检测过程不受大环境磁场干扰，可使得检测数据准确性高，进而有效的克服了现有的溅射靶盘透磁率检测装置在进行磁透率检测时无外部屏蔽隔离结构，受到大环境中的其他磁场干扰，导致磁透率检测结果准确性降低的缺陷。结果准确性降低的缺陷。结果准确性降低的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种磁性靶材磁透率检测装置


[0001]本技术涉及磁透率检测
，具体为一种磁性靶材磁透率检测装置。

技术介绍

[0002]目前测量溅射靶盘透磁率是采用在圆形靶盘下方固定一块标准的U型磁铁,将靶盘固定在距离磁铁NS极面上方一定距离位置上,通过霍尔传感器测试靶盘上方透过的磁场数据对靶盘进行检测,通常采用人工检测纪录的方法进行,通过手动控制圆形靶盘逐点通过标准磁铁上方进行检验和纪录，存在检测效率低、劳动强度大及标定缺陷位置不准确的实际问题。
[0003]且在公开号为CN205484749U的申请文件中提及到一种溅射靶盘透磁率检测装置，该溅射靶盘透磁率检测装置采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率,有效降低人工劳动强度,省时省力,且通过所述检测结果分析控制器的设置，能对检测结果具有检测结果分析、检测效率高，有效的解决了上述问题，但是仍然存在一定的缺陷和不足，需要得到优化，具体缺陷和不足如下：该溅射靶盘透磁率检测装置在进行磁透率检测时处于大环境之中，并无外部屏蔽隔离结构，那么此时大环境中的其他干扰磁场会直接影响到磁透率检测，导致磁透率检测结果准确性降低。
[0004]因此，需要设计一种磁性靶材磁透率检测装置来解决上述
技术介绍
中的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种磁性靶材磁透率检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台和屏蔽箱，所述旋转检测台活动安装在屏蔽箱的内部，同时屏蔽箱由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成，在外屏蔽体、内屏蔽体之间设置有气隙，同时气隙的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块。
[0008]作为本技术优选的方案，所述旋转检测台的顶面固定安装有若干组呈环形分布的磁性靶材座，在每组磁性靶材座的顶面固定安装有若干组的吸盘，同时若干组的吸盘的顶面放置有磁性靶材。
[0009]作为本技术优选的方案，所述旋转检测台的底部固定安装有屏蔽台，在屏蔽台上靠近中心处贯穿开设有轴承孔，同时屏蔽台的顶面一侧放置有源磁体。
[0010]作为本技术优选的方案，所述旋转检测台的底面中心处固定连接有转轴，在转轴的底端固定安装有轴承座，同时转轴的外表面套装有从动锥形齿轮，且转轴贯穿轴承孔的内部，同时从动锥形齿轮位于屏蔽台的底部，在旋转检测台的顶部靠近源磁体中心处固定安装有霍尔探头，同时霍尔探头的外部电性连接有高斯计。
[0011]作为本技术优选的方案，所述从动锥形齿轮的顶面啮合连接有主动锥形齿轮，同时主动锥形齿轮远离从动锥形齿轮的一侧固定安装有电机，在电机的底部固定安装
有电机座，且主动锥形齿轮和电机通过传动轴转动连接。
[0012]作为本技术优选的方案，所述屏蔽箱的前侧面通过合页活动安装有箱门。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.本技术中，通过设置的由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成的屏蔽箱可使得整个检测过程与外部大环境隔离屏蔽，从而使得整个检测过程不受大环境磁场干扰，可使得检测数据准确性高，进而有效的克服了现有的溅射靶盘透磁率检测装置在进行磁透率检测时无外部屏蔽隔离结构，受到大环境中的其他磁场干扰，导致磁透率检测结果准确性降低的缺陷。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体正视平面外部结构示意图；
[0016]图2为本技术的整体正视平面内部结构示意图；
[0017]图3为本技术中的旋转检测台正视平面放大结构示意图；
[0018]图4为本技术中的屏蔽台正视平面放大结构示意图；
[0019]图5为本技术中的A局部放大结构示意图；
[0020]图中：1、旋转检测台；11、磁性靶材座；111、吸盘；112、磁性靶材；12、屏蔽台；121、轴承孔；122、源磁体；13、转轴；131、轴承座；132、从动锥形齿轮；1321、主动锥形齿轮；1322、电机；1323、电机座；14、霍尔探头；141、高斯计；2、屏蔽箱；21、合页；22、箱门；3、外屏蔽体；4、内屏蔽体；5、气隙；6、非导磁率材料块。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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5本技术提供一种技术方案：
[0023]一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台1和屏蔽箱2，旋转检测台1活动安装在屏蔽箱2的内部，同时屏蔽箱2由外屏蔽体3和内屏蔽体4组合而成，在外屏蔽体3、内屏蔽体4之间设置有气隙5，同时气隙5的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块6。
[0024]其中，屏蔽箱2的前侧面通过合页21活动安装有箱门22，在进行磁透率检测时，可将所需进行检测的磁性靶材依次放置在若干组呈环形分布的磁性靶材座11上，并通过吸盘111利用负压进行固定，同时将源磁体122放置在屏蔽台12顶面一侧，使得霍尔探头14位于源磁体122的顶面中心处位置，随后可对箱门22进行关闭，同时启动整体运行，且位于源磁体122的顶面中心处位置的霍尔探头14可对若干组呈环形分布的磁性靶材座11中任意一组顶面的磁性靶材进行透磁率的检测，并传送至高斯计141，同时在若干组呈环形分布的磁性靶材座11进行切换时，电机1322工作，通过传动轴带动主动锥形齿轮1321转动，此时在主动锥形齿轮1321的啮合作用下从动锥形齿轮132带动转轴13进行转动，从而实现自动切换，且通过设置的由外屏蔽体3和内屏蔽体4组合而成的屏蔽箱2可使得整个检测过程与外部大环
境隔离屏蔽，从而使得整个检测过程不受大环境磁场干扰，可使得检测数据准确性高，进而有效的克服了现有的溅射靶盘透磁率检测装置在进行磁透率检测时无外部屏蔽隔离结构，受到大环境中的其他磁场干扰，导致磁透率检测结果准确性降低的缺陷，并在外屏蔽体3、内屏蔽体4之间设置有气隙5，同时气隙5的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块6可使得整个屏蔽箱2的屏蔽效果得到大幅度的增强。
[0025]在该实施例中，请参照图3，旋转检测台1的顶面固定安装有若干组呈环形分布的磁性靶材座11，在每组磁性靶材座11的顶面固定安装有若干组的吸盘111，同时若干组的吸盘111的顶面放置有磁性靶材112，且通过设置的吸盘111方便对磁性靶材进行定位，避免转动过程中发生位移。
[0026]在该实施例中，请参照图2、图3和图4，旋转检测台1的底部固定安装有屏蔽台12，在屏蔽台12上靠近中心处贯穿开设有轴承孔121，同时屏蔽台12的顶面一侧放置有源磁体122，且通过设置的屏蔽台12可有效本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台（1）和屏蔽箱（2），其特征在于：所述旋转检测台（1）活动安装在屏蔽箱（2）的内部，同时屏蔽箱（2）由外屏蔽体（3）和内屏蔽体（4）组合而成，在外屏蔽体（3）、内屏蔽体（4）之间设置有气隙（5），同时气隙（5）的内部固定安装有若干组等距分布的非导磁率材料块（6）。2.根据权利要求1所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所述旋转检测台（1）的顶面固定安装有若干组呈环形分布的磁性靶材座（11），在每组磁性靶材座（11）的顶面固定安装有若干组的吸盘（111），同时若干组的吸盘（111）的顶面放置有磁性靶材（112）。3.根据权利要求2所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所述旋转检测台（1）的底部固定安装有屏蔽台（12），在屏蔽台（12）上靠近中心处贯穿开设有轴承孔（121），同时屏蔽台（12）的顶面一侧放置有源磁体（122）。4.根据权利要求3所述的一种磁性靶材磁透率检测装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李心然，居炎鹏，王永超，赵泽良，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：