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本实用新型涉及磁透率检测技术领域，具体为一种磁性靶材磁透率检测装置，包括旋转检测台和屏蔽箱，所述旋转检测台活动安装在屏蔽箱的内部，同时屏蔽箱由外屏蔽体和内屏蔽体组合而成，在外屏蔽体、内屏蔽体之间设置有气隙，同时气隙的内部固定安装有若干组等距...
该专利属于河南东微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南东微电子材料有限公司授权不得商用。

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