本实用新型专利技术公开了一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置，包括机架、移动横板、安装板与两个电动滑轨，所述移动横板下端通过安装筒与安装板上端固定连接，所述移动横板上通过安装杆转动连接有转动板，所述转动板下设有用于固定材料的固定机构，所述固定机构包括固定连接在转动板下端的两个安装块，两个所述安装块上设有双头螺杆，所述双头螺杆上设有两个移动夹板，所述安装板上端固定连接有第二液压缸。本实用新型专利技术设置了固定机构，可以自动将轧制工位的材料进行夹持取出，还可以进行角度的调整，过程中不需要人为协助，从而使得材料可以快速投入下个加工工序中，进而提高了装置的实用性与自动化程度。实用性与自动化程度。实用性与自动化程度。
【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置
[0001]本技术涉及靶材制造
，尤其涉及一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置。
技术介绍
[0002]靶材以高纯度金属为原料，经锻造、轧制、热处理以及机加工等工艺，使所述高纯度金属内部晶粒尺寸减小、致密度增加，从而形成溅射性能符合要求的靶材。靶材的溅射性能制约着镀膜的力学性能，影响镀膜质量。
[0003]现有技术中，在靶材轧制过程中需要使用金属钳对材料进行夹持，但是这种金属钳需要人工使用，对于大尺寸靶材轧制过程中人工使用金属钳，是十分费力的，所以，需要设计一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置，其通过设置固定机构，可以自动将轧制工位的材料进行夹持取出，还可以进行角度的调整，过程中不需要人为协助，从而使得材料可以快速投入下个加工工序中，进而提高了装置的实用性与自动化程度。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置，包括机架、移动横板、安装板与两个电动滑轨，所述移动横板下端通过安装筒与安装板上端固定连接，所述移动横板上通过安装杆转动连接有转动板，所述转动板下设有用于固定材料的固定机构，所述固定机构包括固定连接在转动板下端的两个安装块，两个所述安装块上设有双头螺杆，所述双头螺杆上设有两个移动夹板，所述安装板上端固定连接有第二液压缸，所述第二液压缸输出端固定连接有移动框，所述移动框内设有第三电机，所述第三电机输出端通过第一传动机构与双头螺杆连接，所述安装板上端固定连接有第二电机，所述第二电机输出端通过第二传动机构与安装杆传动连接，所述机架内顶部通过两个第一液压缸固定连接有活动板，所述活动板下端与安装杆上端转动连接。
[0007]优选地，所述第一传动机构包括固定连接在第三电机输出端的第一转动轴，所述第一转动轴输出端固定连接有第一齿轮，所述双头螺杆侧壁固定连接有第一齿轮啮合的第二齿轮。
[0008]优选地，所述第二传动机构包括固定连接在第二电机输出端的第二转动轴，所述第二转动轴侧壁固定连接有第三齿轮，所述安装杆侧壁固定连接有与第三齿轮啮合的第四齿轮。
[0009]优选地，所述移动横板上设有两个用于防护灰尘粘附的防护机构，所述防护机构包括固定连接在移动横板上的第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆上设有移动竖板，所述移动竖板下端固定连接有防护网罩，所述防护网罩内壁安装
有多个风扇。
[0010]优选地，所述移动横板上端开设有移动槽，所述移动竖板与移动槽内壁滑动连接，所述移动横板上端固定连接有固定块，所述螺纹杆远离第一电机的一端与固定块侧壁转动连接。
[0011]优选地，所述移动夹板下端开设有安装槽，所述安装槽内设有抵紧板，所述移动夹板侧壁贯穿设有螺栓，所述螺栓设有螺母，所述抵紧板侧壁开设有多个与螺栓配合的螺纹孔。
[0012]本技术中，具有以下有益效果：
[0013]1、本装置设置了固定机构，可以自动将轧制工位的材料进行夹持取出，还可以进行角度的调整，过程中不需要人为协助，从而使得材料可以快速投入下个加工工序中，进而提高了装置的实用性与自动化程度；
[0014]2、本装置设置了第一电机与防护网罩，可以不在材料转动前通过两个防护网罩合拢，对材料进行防护，当材料转动时，两个防护网罩可以避免碎屑飞溅，同时还实现了对快速降温散热，进而提高了装置的实用性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置的结构示意图；
[0016]图2为图1的A处结构放大图；
[0017]图3为本技术提出的一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置的正视图。
[0018]图中：1机架、2移动横板、3第一电机、4安装杆、5第一液压缸、6移动竖板、7螺纹杆、8防护网罩、9安装筒、10第二电机、11安装板、12转动板、13双头螺杆、14移动夹板、15抵紧板、16第二液压缸、17第三电机、18第一齿轮、19第二齿轮、20电动滑轨。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1
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3，一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置，包括机架1、移动横板2、安装板11与两个电动滑轨20，移动横板2下端通过安装筒9与安装板11上端固定连接，移动横板2上通过安装杆4转动连接有转动板12，值得注意的是，安装杆4与移动横板2转动连接，安装杆4与转动板12固定连接。
[0021]转动板12下设有用于固定材料的固定机构，固定机构包括固定连接在转动板12下端的两个安装块，两个安装块上设有双头螺杆13，双头螺杆13上设有两个移动夹板14，安装板11上端固定连接有第二液压缸16，第二液压缸16输出端固定连接有移动框，移动框内设有第三电机17，第三电机17输出端通过第一传动机构与双头螺杆13连接，安装板11上端固定连接有第二电机10，第二电机10输出端通过第二传动机构与安装杆4传动连接，机架1内顶部通过两个第一液压缸5固定连接有活动板，活动板下端与安装杆4上端转动连接。
[0022]第一传动机构包括固定连接在第三电机17输出端的第一转动轴，第一转动轴输出端固定连接有第一齿轮18，双头螺杆13侧壁固定连接有第一齿轮18啮合的第二齿轮19。
[0023]第二传动机构包括固定连接在第二电机10输出端的第二转动轴，第二转动轴侧壁固定连接有第三齿轮，安装杆4侧壁固定连接有与第三齿轮啮合的第四齿轮。
[0024]本技术中，移动横板2上设有两个用于防护灰尘粘附的防护机构，防护机构包括固定连接在移动横板2上的第一电机3，第一电机3的输出轴固定连接有螺纹杆7，螺纹杆7上设有移动竖板6，移动竖板6下端固定连接有防护网罩8，防护网罩8内壁安装有多个风扇，其上方设有放置安装筒9的槽孔，防护网罩8下端连通设有通风管，通风管为普通管道的一半，两个通风管合拢后形成一个完整的管道。
[0025]本技术中，移动横板2上端开设有移动槽，移动竖板6与移动槽内壁滑动连接，移动槽内壁对移动竖板6进行限位，使得移动竖板6在螺纹杆7转动时无法发生转动，移动横板2上端固定连接有固定块，螺纹杆7远离第一电机3的一端与固定块侧壁转动连接。
[0026]本技术中，移动夹板14下端开设有安装槽，安装槽内设有抵紧板15，移动夹板14侧壁贯穿设有螺栓，螺栓设有螺母，抵紧板15侧壁开设有多个与螺栓配合的螺纹孔，抵紧板15的设置使得装置可以对电镀槽内不同深度的材料进行夹取。
[0027]初始状态，两个防护网罩8为图3所示状态，机架1位于轧本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置，包括机架（1）、移动横板（2）、安装板（11）与两个电动滑轨（20），其特征在于，所述移动横板（2）下端通过安装筒（9）与安装板（11）上端固定连接，所述移动横板（2）上通过安装杆（4）转动连接有转动板（12），所述转动板（12）下设有用于固定材料的固定机构，所述固定机构包括固定连接在转动板（12）下端的两个安装块，两个所述安装块上设有双头螺杆（13），所述双头螺杆（13）上设有两个移动夹板（14），所述安装板（11）上端固定连接有第二液压缸（16），所述第二液压缸（16）输出端固定连接有移动框，所述移动框内设有第三电机（17），所述第三电机（17）输出端通过第一传动机构与双头螺杆（13）连接，所述安装板（11）上端固定连接有第二电机（10），所述第二电机（10）输出端通过第二传动机构与安装杆（4）传动连接，所述机架（1）内顶部通过两个第一液压缸（5）固定连接有活动板，所述活动板下端与安装杆（4）上端转动连接。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸靶材轧制过程中使用的金属钳装置，其特征在于，所述第一传动机构包括固定连接在第三电机（17）输出端的第一转动轴，所述第一转动轴输出端固定连接有第一齿轮（18），所述双头螺杆（13）侧壁固定连接有第一齿轮（18）啮合的第二齿轮（19）...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，李心然，居炎鹏，赵泽良，王留土，范振清，史豪杰，郑海强，杨志刚，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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