一种靶材生产校平装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材生产校平装置，包括设置在地面上且呈矩形状的底座，所述底座的顶部通过呈“U”型的支撑板连接有液压缸，所述液压缸的底部设置有对靶材进行校平的校平机构，位于液压缸下方的所述底座顶部开设有矩形槽，所述矩形槽的内部套设有截面呈矩形状的校正台，所述校正台的顶部开设有呈圆形的校平槽，所述校平槽的下方设置有取出机构。本实用新型专利技术在使用时，利用校平机构，将变形的靶材放在校正台上的校平槽内，液压缸通过伸缩杆控制校平板的下移，下移的校平板会对变形的靶材进行挤压和校平，当校平板的底部与校正台的顶部相抵时，就可以完成对变形靶材的校平处理。就可以完成对变形靶材的校平处理。就可以完成对变形靶材的校平处理。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材生产校平装置


[0001]本技术涉及靶材
，尤其涉及一种靶材生产校平装置。

技术介绍

[0002]靶材主要由靶坯、背板等部分组成，其中靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，即高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分，在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上，制成电子薄膜。目前靶材生产完后，会对多个呈圆形的靶材进行打包并多次吊运，吊运过程中难免会因为搬运或应力等原因造成靶材的弯曲变形，所以现需要一种能够对弯曲变形后的靶材进行校平的装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中的缺点，而提出的一种靶材生产校平装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种靶材生产校平装置，包括设置在地面上且呈矩形状的底座，所述底座的顶部通过呈“U”型的支撑板连接有液压缸，所述液压缸的底部设置有对靶材进行校平的校平机构，位于液压缸下方的所述底座顶部开设有矩形槽，所述矩形槽的内部套设有截面呈矩形状的校正台，所述校正台的顶部开设有呈圆形的校平槽，所述校平槽的下方设置有取出机构。
[0006]优选地，所述支撑板的底部与底座的顶部固定连接，所述液压缸的顶部与支撑板固定连接，所述校正台的外壁对称固定连接有呈“U”型的取出把手。
[0007]优选地，所述校平机构包括呈圆形的校平板，所述液压缸的伸缩端设置有伸缩杆，所述伸缩杆的底部与校平板固定连接，所述伸缩杆的外壁固定连接有呈均匀分布的固定杆，所述固定杆的底部与校平板的底部固定连接。
[0008]优选地，所述取出机构包括截面呈矩形状的升降杆，所述校平槽的底部开始设有呈矩形状的升降槽，所述升降杆的外壁与升降槽的内壁滑动连接，所述校正台的外壁开设有呈矩形状的移动槽，所述移动槽的内壁滑动连接有移动板，位于校正台外部的所述移动板一端固定连接有呈“T”型的移动把手。
[0009]优选地，所述升降槽的内部与移动槽的内部相贯通，所述升降杆的顶部与校平槽的底部位于同一水平面，所述升降杆的底部与移动槽的底部相抵。
[0010]优选地，位于移动槽内部的所述升降杆底部开设有朝向移动板的第一倒角，位于移动槽内部的所述移动板一端开设有朝向升降杆的第二倒角。
[0011]相比现有技术，本技术的有益效果为：
[0012]1、本设备在使用时，利用校平机构，将变形的靶材放在校正台上的校平槽内，液压缸通过伸缩杆控制校平板的下移，下移的校平板会对变形的靶材进行挤压和校平，当校平
板的底部与校正台的顶部相抵时，就可以完成对变形靶材的校平处理。
[0013]2、本设备在使用时，利用取出机构，靶材校平后在校平槽的内部取出较为麻烦时，移动把手通过移动板一端的第二倒角挤压升降杆底部的第一倒角，随着第一倒角的挤压，升降杆会沿着升降槽的内壁上移，上移的升降杆会将校平槽内部的靶材推出来，从而方便将靶材从校平槽的内部进行快速取出。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种靶材生产校平装置的外部立体结构示意图；
[0015]图2为支撑板、液压缸、伸缩杆、固定杆和校平板位置的立体结构示意图；
[0016]图3为校平槽、升降杆、移动板和移动把手位置的立体结构示意图；
[0017]图4为校平槽、升降槽和移动槽位置的立体结构示意图；
[0018]图5为升降杆、第一倒角、移动板、移动把手和第二倒角位置的立体结构示意图。
[0019]图中：1底座、2支撑板、3液压缸、4校正台、5校平槽、6取出把手、7校平板、8伸缩杆、9固定杆、10升降杆、11升降槽、12移动槽、13移动板、14移动把手、15第一倒角、16第二倒角。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]参照图1
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图5，一种靶材生产校平装置，包括设置在地面上且呈矩形状的底座1，底座1的顶部通过呈“U”型的支撑板2连接有液压缸3，液压缸3的底部设置有对靶材进行校平的校平机构，位于液压缸3下方的底座1顶部开设有矩形槽，矩形槽的内部套设有截面呈矩形状的校正台4，其中校正台4外壁与矩形槽的内壁相抵，这样方便更换符合靶材直径的校平槽5，校正台4的顶部开设有呈圆形的校平槽5，其中校平槽5的内壁与平整完好的靶材外壁相抵，校平槽5的下方设置有取出机构。
[0022]进一步地，支撑板2的底部与底座1的顶部固定连接，液压缸3的顶部与支撑板2固定连接，校正台的外壁对称固定连接有呈“U”型的取出把手6，其中靶材的厚度与校平槽5的槽深相同，这样是为了防止校平板7对靶材的过度挤压校平会造成靶材损坏的问题，变形的靶材会伸出校平槽5，当校平板7与校正台4的顶部相抵时，可以完成对变形靶材的校平，且不会对靶材造成过度挤压。
[0023]进一步地，校平机构包括呈圆形的校平板7，液压缸3的伸缩端设置有伸缩杆8，其中液压缸3为现有技术，在此不作赘，可以控制伸缩杆8的上下移动，伸缩杆8的底部与校平板7固定连接，伸缩杆8的外壁固定连接有呈均匀分布的固定杆9，固定杆9的底部与校平板7的底部固定连接，其中通过多个固定杆9将伸缩杆8和校平板7连接起来，可以对校平板7起到固定作用，可以保证校平板7能够水平且稳定的对靶材进行校平。
[0024]进一步地，取出机构包括截面呈矩形状的升降杆10，校平槽5的底部开始设有呈矩形状的升降槽11，升降杆10的外壁与升降槽11的内壁滑动连接，校正台4的外壁开设有呈矩形状的移动槽12，移动槽12的内壁滑动连接有移动板13，位于校正台4外部的移动板13一端
固定连接有呈“T”型的移动把手14；升降槽11的内部与移动槽12的内部相贯通，升降杆10的顶部与校平槽5的底部位于同一水平面，升降杆10的底部与移动槽12的底部相抵，其中升降杆10这样不会影响靶材的校平；位于移动槽12内部的升降杆10底部开设有朝向移动板13的第一倒角15，位于移动槽12内部的移动板13一端开设有朝向升降杆10的第二倒角16，其中移动板13的厚度可以保证，当第二倒角16挤压第一倒角15后升降杆10的底部与移动板13的相抵时，升降杆10上移的高度足够将靶材从校平槽5的的内部取出。
[0025]本技术工作原理：将变形的靶材放在校正台4上的校平槽5内，液压缸3通过伸缩杆8控制校平板7的下移，下移的校平板7会对变形的靶材进行挤压和校平，当校平板7的底部与校正台4的顶部相抵时，就可以完成对变形靶材的校平处理；靶材校平后在校平槽5的内部取出较为麻烦时，移动把手14通过移动板13一端的第二倒角16挤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材生产校平装置，包括设置在地面上且呈矩形状的底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶部通过呈“U”型的支撑板（2）连接有液压缸（3），所述液压缸（3）的底部设置有对靶材进行校平的校平机构，位于液压缸（3）下方的所述底座（1）顶部开设有矩形槽，所述矩形槽的内部套设有截面呈矩形状的校正台（4），所述校正台（4）的顶部开设有呈圆形的校平槽（5），所述校平槽（5）的下方设置有取出机构。2.根据权利要求1所述的一种靶材生产校平装置，其特征在于，所述支撑板（2）的底部与底座（1）的顶部固定连接，所述液压缸（3）的顶部与支撑板（2）固定连接，所述校正台的外壁对称固定连接有呈“U”型的取出把手（6）。3.根据权利要求1所述的一种靶材生产校平装置，其特征在于，所述校平机构包括呈圆形的校平板（7），所述液压缸（3）的伸缩端设置有伸缩杆（8），所述伸缩杆（8）的底部与校平板（7）固定连接，所述伸缩杆（8）的外壁固定连接有呈均匀分布的固定杆（9），所述固定杆（9）的底部与校平板（7）的底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，居炎鹏，李心然，赵泽良，王留土，范振清，史豪杰，郑海强，杨志刚，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：