本发明公开了一种声表面波谐振器，包括：基底、第一指条部、第二指条部和静电扩散部，静电扩散部与第一指条部电连接，静电扩散部与第二指条部相互绝缘，静电扩散部可以降低第一指条部在靠近声表面波谐振器输出端附近的静电聚集，从而提升声表面波谐振器的...

本实用新型涉及一种用于制造声表面波滤波器的通用掩模版，所述通用掩模版包括至少一个曝光区，所述至少一个曝光区的每个曝光区包括至少一个掩模版单元，所述至少一个掩模版单元的每个掩模版单元中的开窗的面积被设置为，以使得利用所述通用掩模版进行光刻...

本发明的滤波器，包括：晶圆；IDT电极，该IDT电极形成在所述晶圆的工作表面上；第二墙膜，该第二墙膜是通过在所述晶圆的工作表面上形成第一层膜，并对所述第一层膜进行光刻来形成长方体形状的第一墙膜，然后在所述第一墙膜的顶部上涂覆光刻胶并对所...

本发明的滤波器，具有层叠体，该层叠体包括：顶层金属层，该顶层金属层上形成有输入口植球位、输出口植球位、第一线圈、第二线圈，所述第一线圈和所述第二线圈分别具有螺旋形状，并且所述第一线圈与所述输入口植球位相连接，所述第二线圈与所述输出口植球...

本公开提供了一种用于对器件的刚度进行分析的方法和系统，该方法包括：对器件进行建模，以将器件划分为多个网格单元；将多个网格单元中的各个单元节点在原始坐标系下的第一坐标转换为相对坐标系下的第二坐标，其中，在相对坐标系下，各个单元节点的坐标在...

本发明的薄膜体声波谐振器(10)具有：衬底(1)，该衬底(1)由压电晶体构成；压电层(2)，该压电层(2)垂直于衬底(1)的表面、且由衬底(1)的一部分来构成；第一电极(3)，该第一电极(3)在衬底(1)上与压电层(2)平行地形成于压电...

本发明提供一种蒸镀方法，所述蒸镀方法用于形成衬底上的金属膜，所述方法包括：将块体金属材料源置于容器内，所述块体金属材料源的底部表面上形成有凹槽；以及使所述容器内的所述块体金属材料源的表面的金属材料蒸发，以将蒸发的金属材料形成在所述衬底上...

本发明提供一种用于制造声表面波器件的叉指电极的方法，包括：在压电衬底上形成层叠体，包括：在所述压电衬底上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成合金层；以及在所述合金层上形成金属层；以及对所述层叠体进行热处理。以及对所述层叠体进行热处理。以及对所...

本发明提供一种用于制造薄膜体声波谐振器的制造方法，其特征在于，包括：形成第一键合体，包括：在第一衬底上形成膜层；对所述膜层进行改性；和在所述膜层上形成第一电极；形成第二键合体，包括：在第二衬底的表面上形成凹槽；以所述第一电极的表面和所述...

本发明的温度补偿型谐振器(10)具有压电基底层(1)；在压电基底层上以相互平行地形成的第一汇流条(2a)和第二汇流条(2b)；形成于第一汇流条的多个第一叉指电极(3a)；形成于第二汇流条上的多个第二叉指电极(3b)；在多个第一叉指电极上...

本发明的声表面波谐振器，包括：压电基板；以及IDT电极，该IDT电极具有：第一介质层，该第一介质层由Ti或Cr构成，并被形成在所述压电基板上、第二介质层，该第二介质层由Al或AlCu合金构成，并被形成在所述第一介质层上、第三介质层，该第...

本实用新型提供一种测量装置，所述测量装置用于进行器件的压电特性测量，并且所述测量装置包括：底座，所述底座具有多个定位孔和定位部，所述定位部设置于多个定位孔的外围区域，并从底座的上表面向上延伸；测试板，所述测试板通过使自身的多个测试板孔分...

本发明提供一种压力施加装置以及包括所述压力施加装置的用于器件射频信号测量的测试设备，所述压力施加装置包括：压锤；以及压杆，所述压杆垂直贯穿所述压锤，所述压杆包括：主体部，在所述主体部的下部内具有空腔；压头，所述压头可滑动地耦合到所述空腔...

本发明涉及声表面波滤波器及其制造方法，其可提高声表面波滤波器CSP封装的气密性和产品可靠性，并保护芯片避免解剖。声表面波滤波器包括：基板，该基板的上表面四周形成有台阶；芯片，该芯片倒装焊接在基板上；及封装层，该封装层覆盖于基板和芯片的上...

本发明涉及一种声表面波滤波器(1)，具有：第一衬底层(100)，所述第一衬底层(100)利用由钽酸锂构成的压电晶体来形成，且在所述第一衬底层(100)中利用离子注入技术对所述压电晶体掺杂锂离子或氧化锂来形成掺杂结构(102)；电极层(1...

本发明提供一种用于声学滤波器的测试平台，对声学滤波器的非线性特性进行测试，其包括：信号源；配置在信号源的后级的功率放大器；配置在功率放大器的后级的第一衰减器；配置在第一衰减器的后级的第一低通滤波器；配置在第一低通滤波器的后级的第二衰减器...

本发明涉及一种耦合模式参数提取模块及其方法，能够根据声表面波器件的实际制造产线的情况，对用于所述声表面波器件仿真的耦合模式模型中所使用的参数、即耦合模式参数进行提取。从而能够获取与声表面波器件的实际制造产线的情况相对应的耦合模式参数，能...

本发明涉及一种声表面波滤波器及其制造方法，得到具有高品质因数、良好的TCF特性、低插入损耗以及寄生效应得以抑制的高性能的声表面波滤波器，并且能够实现工艺的简化以及成本的降低。本发明的声表面波滤波器具有一个以上的谐振器，该谐振器包括复合压...

本发明的声表面波滤波器的叉指电极的制备方法包括如下步骤：在基板上形成由至少包括铝(Al)和铜(Cu)的合金构成的合金电极层，其中，在利用第一蒸发系统以规定的第一蒸镀速率将所述铝蒸镀到所述基板上的同时，利用第二蒸发系统以规定的第二蒸镀速率...

本发明公开了一种滤波器设计方法，包括：输入滤波器电路的设计参数的步骤；收集所述滤波器电路的设计参数的步骤；根据收集到的所述滤波器电路的设计参数判断在所述滤波器电路的器件中流过的电流的方向的步骤；根据所述滤波器电路的设计参数选择器件并确定...