声表面波滤波器的叉指电极及其制备方法、以及声表面波滤波器技术

本发明专利技术的声表面波滤波器的叉指电极的制备方法包括如下步骤：在基板上形成由至少包括铝(Al)和铜(Cu)的合金构成的合金电极层，其中，在利用第一蒸发系统以规定的第一蒸镀速率将所述铝蒸镀到所述基板上的同时，利用第二蒸发系统以规定的第二蒸镀速率将所述铜蒸镀到所述基板上；以及将规定厚度的所述合金电极层形成为所述叉指电极的图案形状。形成为所述叉指电极的图案形状。形成为所述叉指电极的图案形状。

【技术实现步骤摘要】
声表面波滤波器的叉指电极及其制备方法、以及声表面波滤波器


[0001]本专利技术涉及一种声表面波滤波器的叉指电极的制备方法、利用该制备方法制备的叉指电极、以及具备该叉指电极的声表面波滤波器，尤其涉及提高声表面波滤波器的功率耐受性的技术。

技术介绍

[0002]随着信息技术的高速发展，尤其是在无线通信领域，广泛应用于各类通讯设备、数据传输设备、视听设备和定位导航设备等的射频前端显得愈发重要。射频前端是指射频收发器和天线之间的功能区域，由功率放大器、天线开关、滤波器、双工器和低噪声放大器等器件组成。而为了适应通信领域的飞速发展，对于射频前端的各种性能提出了更高要求。
[0003]声表面波(SAW：surface acoustic wave)滤波器作为射频前端的关键器件，基于压电材料的压电效应并通过声表面波来进行工作，其利用形成于压电材料表面的叉指换能器(IDT：interdigital transducer)将输入的电信号转换为声波信号或将声波信号转换为电信号，以此来提取和处理信号，具有尺寸小、成本低、轻量化、一致性好以及兼容半导体工艺而适本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波滤波器的叉指电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在基板上形成由至少包括铝(Al)和铜(Cu)的合金构成的合金电极层，其中，在利用第一蒸发系统以规定的第一蒸镀速率将铝蒸镀到所述基板上的同时，利用第二蒸发系统以规定的第二蒸镀速率将铜蒸镀到所述基板上；以及将规定厚度的所述合金电极层形成为所述叉指电极的图案形状。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一蒸发系统为电子束蒸发系统，所述第二蒸发系统为高温蒸发系统。3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述高温蒸发系统利用感应加热来蒸发所述铜。4.如权利要求1至3的任一项所述的制备方法，其特征在于，所述第一蒸发系统的蒸发源和所述第二蒸发系统的蒸发源到所述基板上的蒸镀位置的距离即蒸距相等。5.如权利要求1至3的任一项所述的制备方法，其特征在于，所述第一蒸镀速率为所述第二蒸镀速率为6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述第一蒸镀速率和所述第二蒸镀速率在所述第一蒸发系统和所述第二蒸发系统进行同时蒸镀之前在各自的蒸发系统中进行确定。7.如权利要求1至3的任一项所述的制备方法，其特征在于，所述合金电极层中的铜的质量分数为2％～8％。8.如权利要求1至3的任一项所述的制备方法，其特征在于，所述基板为LiNiO3或LiTaO3基板。9.如权利要求1至3的任一项所述的制备方法，其特征在于，还包括对所形成的所述合金电极层进行热处理的步骤。10.如权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述热...

【专利技术属性】
技术研发人员：翁志坤，
申请(专利权)人：广东广纳芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：