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本发明的声表面波滤波器的叉指电极的制备方法包括如下步骤：在基板上形成由至少包括铝(Al)和铜(Cu)的合金构成的合金电极层，其中，在利用第一蒸发系统以规定的第一蒸镀速率将所述铝蒸镀到所述基板上的同时，利用第二蒸发系统以规定的第二蒸镀速率将所...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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