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东南大学专利技术
东南大学共有45645项专利
电站锅炉一、二次风管内风速在线监测装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种用于测量电站锅炉风管内的一、二次风速在线监测装置。它由测速装置、扩散硅微压传感器和数显智能主机组成,测速装置由全压管及静压管组成,全压管为上端封闭、下端呈楔形的管子,在全压管的上端设有测压小孔,静压管为上端封闭、下端...
用于电站锅炉的风管内流速测量装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种用于电站锅炉的风管内流速测量装置。本实用新型由全压管和静压管组成,全压管为上端封闭、下端呈楔形的管子,在全压管的上端设有测压小孔,静压管为上端封闭、下端呈楔形的管子,在静压管的上端设有测压小孔,全压管和静压管相背设置...
微重力加速度级电容式加速度传感器制造技术
一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器,由支撑边缘(1),由电容动极板及电容定极板(2)构成的电容器和质量块(3)组成,在支撑边缘(1)和电容器上均设有锚区(4和5),设在支撑边缘(1)上的锚区(4)通过悬臂梁(6)与设在...
基于微机械加工的风速传感器制造技术
基于微机械加工的风速传感器及其制造方法是一种采用体硅电阻作为测温单元,采用硅衬底传热的风速传感器及其制造方法,传感器的整个结构集成在硅衬底(5)上,制造方法为:a)在N型硅衬底(5)上长一层氧化层(51),光刻并腐蚀内ICP槽(31)以...
调谐式微机电陀螺制造技术
本发明公开了一种涉及测量技术的调谐式微机电陀螺,包括电机,在电机驱动轴上设有陀螺转子/平衡环,在陀螺转子/平衡环的上方与下方分别设有电容上、下极板且由固定圆环固定,在固定圆环上设有用于引导电容上、下极板的输出信号的导线环。本发明针对谐振...
微弱脉冲信号同步检测装置制造方法及图纸
微弱脉冲信号同步检测装置涉及传感技术,尤其涉及一种微喷微流体惯性角速度传感器中,在微小尺寸范围内的流体分布检测式微陀螺敏感信号的提取装置。该检测装置由盖板(5)和底座(10)键合在一起所组成一个具有气体腔(6)、微喷小孔(1)、气流管道...
基于微机械系统的非热式流速流向传感器技术方案
基于微机械系统的非热式流速流向传感器是一种利用微机械系统加工的,含有支撑梁和阻流体的电容式流速流向传感器,该传感器在衬底(7)上设有阻流体(2),在阻流体(2)的圆心设有一个固定在衬底(7)上的支柱(1),支柱(1)与阻流体(2)的内圆...
基于微机械技术的电容非热式流速传感器制造技术
基于微机械技术的电容非热式流速传感器是一种利用MEMS技术加工的叶轮进行检测流速的传感器,该传感器由玻璃底盘(1),硅顶盖(2),转轴(3),转盘(4),叶轮(5)、电容极板(6)所组成;在玻璃底盘(1)上固定有转轴(3),在转轴(3)...
基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器制造技术
基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器是一种利用掺杂压阻的正交支撑梁进行检测的压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱(1)、正交支撑梁(2)、SOI硅衬底(3)组成,SOI硅衬底(3)为一个中空的矩形,在SOI硅衬底(3)中空部分的上部...
十字架结构的二维风速风向传感器及其制备方法技术
十字架结构的二维风速风向传感器涉及一种基于微机械(MEMS)剥离工艺的二维热膜风速风向传感器,尤其是采用玻璃,陶瓷等非硅材料作为衬底制备的热膜风速传感器。该传感器采用玻璃衬底,中央的加热电阻(1)为十字架结构。第一测温电阻(2),第二测...
一种风速仪支架制造技术
一种风速仪支架,它是由六根可拉伸钢管通过可安装/拆卸连接方式组成,一根水平主杆、一根竖直主杆、水平左撑杆、水平右撑杆、竖直下撑杆、竖直上拉杆;其中,在水平面内,水平主杆固定于结构外侧,水平左撑杆与水平右撑杆连于水平主杆伸出端处,来提高主...
微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路制造技术
二维风速风向传感器及其信号处理电路涉及一种基于微机械(MEMS)剥离工艺的二维热膜风速风向传感器,以及恒温差控制和热温差测量电路。该传感器中央的芯片温度测量电阻Rs,和参考电阻Rr连接成惠斯通电桥形式,然后进行差分放大,最后利用电压/电...
高通量生物分析分离用磁分离装置制造方法及图纸
一种高通量生物分析分离用磁分离装置,包括微孔板,微孔板上设有孔阵列,且微孔板上相邻平行线上的两组孔为一个结构单元,每个结构单元两组孔之间设有磁条,当应用该装置对微孔板中的磁性颗粒进行分离时,每根磁条两侧反应孔中的磁性颗粒均能团聚在微孔的...
烟箱缺条检测装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种在卷烟包装生产过程中烟箱缺条的检测装置属于检测装置技术领域,包括数据采集装置和数据处理装置,数据采集装置包括检测传感器板,检测传感器板的一面上设有电容极板,每两块检测传感器板成对地分别设置在烟箱传送带两侧,且设有电容...
用于烟箱缺条检测装置的电容传感器检测板制造方法及图纸
本实用新型公开一种用于烟箱缺条检测装置的电容传感器检测板,其特征在于所述电容传感器检测板包括基板,基板的一面上设有铜板,铜板连接有导线。本实用新型的电容传感器检测板仅由基板及其上设置的铜板构成,不仅结构简单成本低廉,而且安装灵活;利用电...
一种在线监测热解过程中生物质焦炭导电特性的装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种在线监测热解过程中生物质焦炭导电特性的装置,它包括具有温度控制装置的加热炉、位移传感器、电阻测量装置、数据采集、转换和存储装置以及设置在加热炉内部的热解反应器,所述的温度控制装置与数据采集、转换和存储装置相连,所述的...
微纳生物粒子介电表征装置制造方法及图纸
微纳生物粒子介电表征装置包括介电表征芯片(100)、机器视觉装置(200)、主控系统(300)、激励信号产生装置(400)、虚拟电极投射器(500)以及微动工作台(600);介电表征芯片(100)放置于微动工作台(600)上且在竖直方向...
拉应力下混凝土碳化性能的单轴拉伸加载装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种拉应力下混凝土碳化性能的单轴拉伸加载装置。它是通过在试件两端轴心预埋的六角螺母将圆柱形或长方体形试件连接在两段平行的钢板之间,四根相同的压缩弹簧套在四根直径略比弹簧内径小的钢柱上,而且两块钢板可以在四根钢柱之间平行移...
拉应力下混凝土水渗透性测试装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种拉应力下混凝土水渗透性测试装置,所述的装置由上下两块钢板组成,在上下钢板的四角处各设有一个孔,在中心处呈十字交叉的设有四个小孔,各个小孔距离中心的距离相等,在上钢板的中心处还设有一个中心孔,中心孔设有台阶,下部孔的直...
谐振式超声空气检漏传感器制造技术
谐振式超声空气检漏传感器由压电芯片、聚能腔、屏蔽罩和阻抗转换器组成,其特点是压电芯片采用机械谐振式结构,它由压电陶瓷、粘合附加物和固定架构成;聚能腔采用聚丙烯轻质塑料制成;阻抗转换器由高磁性材料制成的变压器、放大器和射极跟随器组成。它具...
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