基于微机械技术的电容非热式流速传感器制造技术

基于微机械技术的电容非热式流速传感器是一种利用ＭＥＭＳ技术加工的叶轮进行检测流速的传感器，该传感器由玻璃底盘（１），硅顶盖（２），转轴（３），转盘（４），叶轮（５）、电容极板（６）所组成；在玻璃底盘（１）上固定有转轴（３），在转轴（３）的上部设有硅顶盖（２），在转轴（３）的外侧套有转盘（４），在转盘（４）的外侧固定有叶轮（５），在玻璃底盘（１）的上表面设有电容极板（６）。叶轮（５）和转轴（３）材料是Ｎ型半导体硅。即作为可动旋转部件，也作为测量电容的一个电极。该流速传感器采用电容检测方式，具有功耗小、线性范围大、响应快、温漂小和可靠性好等优点。

【技术实现步骤摘要】
基于微机械技术的电容非热式流速传感器
本专利技术涉及一种微机械(MEMS)非热式流速传感器，尤其是一种利用MEMS技术加工的叶轮进行检测流速的传感器。
技术介绍
流体测量在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航空等部门都有重要的应用，其中流速流量测量作为流体测量中重要的组成部分，已经发展了很多年。先后出现了风杯测量、皮托管测量、浮子测量、力学测量、声学测量、光学测量、传热学测量、电磁测量等测量方法。基于MEMS加工技术的微型流速传感器具有体积小，价格低，产品一致性好的特点，是近几年来流体传感器研究的热点。VanPutten(人名)在1974年提出了第一个基于硅微加工技术的流量传感器，这个传感器的工作原理是基于传热学的，即通过测量流体流动引起的热场变化来测量流速信息。经过30余年的发展，现在热式微流体传感器已经成为主流，特别是在风速计领域。但是，热式微流速传感器也有其固有的缺点。例如功耗大、衬底的热传导导致测量误差、零点随环境温度漂移、响应时间长等。另外，因为要对流体加热，所以就限制了热式微流体传感器在生物方面的应用。非热式微流体传感器则可以克服上述缺点。Kersjes(人名)提出了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微机械技术的电容非热式流速传感器，其特征在于该传感器由玻璃底盘（１），硅顶盖（２），转轴（３），转盘（４），叶轮（５）、电容极板（６）所组成；在玻璃底盘（１）上固定有转轴（３），在转轴（３）的上部设有硅顶盖（２），在转轴（３）的外侧套有转盘（４），在转盘（４）的外侧固定有叶轮（５），在玻璃底盘（１）的上表面设有电容极板（６）。

【技术特征摘要】
1.一种基于微机械技术的电容非热式流速传感器，其特征在于该传感器由玻璃底盘(1)，硅顶盖(2)，转轴(3)，转盘(4)，叶轮(5)、电容极板(6)所组成；在玻璃底盘(1)上固定有转轴(3)，在转轴(3)的上部设有硅顶盖(2)，在转轴(3)的外侧套有转盘(4)，在转盘(4)的外侧固定有叶轮(5)，在玻璃底盘(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦明，魏泽文，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]