基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器制造技术

基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器是一种利用掺杂压阻的正交支撑梁进行检测的压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱（１）、正交支撑梁（２）、ＳＯＩ硅衬底（３）组成，ＳＯＩ硅衬底（３）为一个中空的矩形，在ＳＯＩ硅衬底（３）中空部分的上部设有正交支撑梁（２），在正交支撑梁（２）的中间交叉处设有立柱（１）。立柱采用ＳＵ－８胶制造。该传感器具有可测量二维风向、功耗小、响应快、温漂小和可靠性好等优点。

【技术实现步骤摘要】
基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器
本专利技术涉及一种微机械非热式流速流向传感器，尤其是一种利用掺杂压阻的正交支撑梁进行检测的压阻式流速流向传感器。
技术介绍
流体测量在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航空等部门都有重要的应用，其中流速流向测量作为流体测量中重要的组成部分，已经发展了很多年。先后出现了风杯和风向标测量、皮托管测量、浮子测量、力学测量、声学测量、光学测量、传热学测量、电磁测量等测量方法。基于MEMS加工技术的微型流速流向传感器具有体积小，价格低，产品一致性好的特点，是近几年来流体传感器研究的热点。Van Putten(人名)在1974年提出了第一个基于硅微加工技术的流量传感器，这个传感器的工作原理是基于传热学的，即通过测量流体流动引起的热场变化来测量流速流向信息。经过30余年的发展，现在现在热式微流体传感器已经成为主流，特别是在风速计领域。但是，热式微流体传感器也有其固有的缺点。例如功耗大、衬底的热传导导致测量误差、零点随环境温度漂移、响应时间长等。另外，因为要对流体加热，所以就限制了热式微流体传感器在生物方面的应用。非热式微流体传感器则可以克服上述缺点。K本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器，其特征在于该传感器由立柱（１）、正交支撑梁（２）、ＳＯＩ硅衬底（３）组成，ＳＯＩ硅衬底（３）为一个中空的矩形，在ＳＯＩ硅衬底（３）中空部分的上部设有正交支撑梁（２），在正交支撑梁（２）的中间交叉处设有立柱（１）。

【技术特征摘要】
1.一种基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器，其特征在于该传感器由立柱(1)、正交支撑梁(2)、SOI硅衬底(3)组成，SOI硅衬底(3)为一个中空的矩形，在SOI硅衬底(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏泽文，秦明，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]