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基于微机械技术的电容非热式流速传感器是一种利用ＭＥＭＳ技术加工的叶轮进行检测流速的传感器，该传感器由玻璃底盘（１），硅顶盖（２），转轴（３），转盘（４），叶轮（５）、电容极板（６）所组成；在玻璃底盘（１）上固定有转轴（３），在转轴（３）的上...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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