电子科学工业公司专利技术

电子科学工业公司共有56项专利

  • 一种Q开关、二极管抽运的固体激光器(DPSS)(54)穿过非线性晶体(72),使用谐波振荡来产生用于连接线处理和目标对准的紫外光(74)。非线性晶体(72)的类型和几何结构是经过选择的,而且晶体的温度是被精确控制的,从而产生具有极好光线...
  • 通过将长切割路径(112)分成多个较短的段(122),从约10μm到1mm,提高了穿过硅和类似材料的UV激光切割的产量。在将激光输出(32)移到第二短段并在第二段(122)内扫描预定的掠射束数目之前,在第一短段(122)内扫描激光输出(...
  • 通过将长切割路径(112)分成多个较短的段(122),从约10μm到1mm,提高了穿过硅和类似材料的UV激光切割的产量。在将激光输出(32)移到第二短段并在第二段(122)内扫描预定的掠射束数目之前,在第一短段(122)内扫描激光输出(...
  • 一种形成具有尖锐断裂线(44)的划线(36)的方法,包括沿着陶瓷或类似陶瓷的衬底(10)引导UV激光束(14),从而除去衬底(10)的厚度(24)的一部分。所述UV激光束在所述衬底中形成划线而不会使衬底发生明显的熔融,因而清晰确定的断裂...
  • 使用多个激光束处理处于半导体基片(740)之上或之内的导电性链路的方法和系统。例如,使用N个连续激光脉冲以获得吞吐量益处的方法,其中N≥2。所述链路被布置在多个大致平行的沿大体纵向延伸的行中。所述N个连续激光脉冲沿着各自的N个射束轴线传...
  • 一种电气组件处理机(2),能检测电气电路组件并包括自洁式下触点(100),该处理机能降低产量损失和提供援助平均间隔时间。电气组件处理机(2)的优选实施例包括多组上触点和下触点(102,100),其中每组触点在空间上对准以电接触单个的被测...
  • 激光束切换系统(50)应用耦合到光束切换装置(58)的激光器(52),这种激光切换装置使得激光束在第一和第二光束定位头之间切换,这样当第一光束定位头(60)正在引导激光束加工工件目标位置时,第二光束定位头(62)同时移动到另外一个目标位...
  • 由分布图的不同时间的不同激光波长表征的特定形状的激光脉冲能量分布图(98,104,156),提供了减小的、受控制的抖动,从而使得可以进行能够获得高质量加工和较小可能光斑尺寸的半导体器件微加工。
  • 本发明公开了一种用于存储器连接处理的飞击射束路径误差校正的系统和/或方法。激光射束定位器(图12,340,236,260,262,302,304,310,312,316,318,320,322,324,326,328,330,336,3...
  • 一种方法(1000,1100,1200,1300,1400)自动测试电子组件(12,120)的参数以确定该组件(12,120)是否具有可接受的值。方法(1000,1100,1200,1300,1400)采用自动电子组件测试机(2),其具...
  • 通过进行电压测量来解决在电阻器(20)的激光微调期间所发生的热电效应。使用归因于在低功率模拟微调(10)期间的电阻器(20)上激光加热所导致的电压来判断电阻器(20)上的一相对热中性的位置(18)。之后则能够在所有类似的电阻器(20)上...
  • 终结无源电子元件的末端涉及将激光烧蚀涂层(70)施加至衬底(10和34)的各相对的主要表面(14和16、36和38)。引导所具有的光斑尺寸和能量分布足以从主要表面的多个选定区域去除激光烧蚀涂层的UV激光束入射到衬底上。UV激光束和衬底之...
  • 激光射束定位器(图12,340,236,260,262,302,304,310,312,316,318,320,322,324,326,328,330,336,342)使用一种操作镜,其执行激光射束的小角度反射,以补偿定位器平台的交叉轴...
  • 一种准连续波二极管或灯泵浦A-QQ开关固体紫外激光系统(10),当定位系统(36)正从一标靶区域(31)移动到下一标靶区域(31)时,使该准连续波泵浦的时序与该定位系统(36)的移动同步以便减少泵浦,从而以高产出量于一基板地形成多个通孔...
  • 一种方法和系统(10),其提高了在靶材的激光加工中加工的试样产量,其中所述靶材包括共衬底上形成的多个试样。优选实施例实现了一个能在激光加工系统中存储一列有缺陷试样的特征,所述有缺陷的试样在某种程度上在激光加工期间已经受到了错误的影响。一...
  • 一种在三个维度上校正激光微加工系统(20)的方法,其包含:扫描(70)样本工件(22)以决定3D表面;按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描数据的最佳拟合表面;以及储存(84)此结果,因而可对后续工件进行校正...
  • 本发明的优选实施例实现用于修改命令轨迹、伺服机构控制系统(10)的架构或这两者的技术,从而减少命令轨迹期间和/或命令轨迹之后的伺服误差。迭代精化过程产生伺服机构控制系统使用的校正输入du,其显著减少期望的(y↓[d])和实际(y)的伺服...
  • 本发明较佳为运用非接触式、小位移、电容性的传感器(124、128、130、131、132)以决定归由于一接近线性机械级(56、58)的俯仰(20)、偏航(22)、或滚转(18)所引起的阿贝(Abbe)误差,其未被诸如线性比例编码器或激光...
  • 腔内及腔外声光调制器(AOM)(60)的频率数字控制及/或振幅调制技术能促进基本完全消除激光束(90),以阻止不需要的激光能量冲击工件(80);通过脉冲至脉冲激光能量的闭环控制来促进激光脉冲振幅的稳定性;促进光束定位控制,该控制包括对诸...
  • 一种用于响应位置命令以将激光束导向工件上的目标位置的装置,包括:    一低频宽定位器台座,其响应所述位置命令的低频部分,相对于彼此地引导所述工件与所述激光束至少其中之一;     一中频宽定位器台座,其响应所述位置命令的中频部分,相对...