本发明涉及自动匹配器技术领域，尤其涉及20kW自动匹配器真空电容安装结构，包括钣金底壳、上盖板、前盖板、后面板与立面侧板，所述钣金底壳、上盖板、前盖板、后面板与立面侧板的外壁均开设有压铆孔，所述压铆孔中穿插设置有压铆螺母。当真空电容安装...

本实用新型涉及射频电源技术领域，尤其涉及一种4M与13.56M双频电源隔离器，包括4M射频电源、4M匹配器、负载线圈、13.56M匹配器、高通滤波器、13.56M射频电源，所述4M射频电源的输出端连接在所述4M匹配器的输入端上，所述4M...

本实用新型涉及自动匹配器技术领域，尤其涉及一种应用于自动匹配器的机械结构，包括钣金底壳，所述钣金底壳的左侧设有左侧板，所述钣金底壳的右侧设有右侧板，所述左侧板和右侧板的外壁均设有机箱支架，且所述左侧板与右侧板的顶部分别设有前盖板与上盖板...

本实用新型涉及检测技术领域，尤其涉及13.56MHz产生电感耦合等离子体，包括负载线圈、匹配器，所述负载线圈位于所述匹配器的内部，其中，所述匹配器的射频信号输入接口RF IN连接有电容C1，所述电容C1的一端与接地端GND连接，所述电容...

本实用新型涉及电源控制技术领域，尤其是涉及一种射频功率合成电路，包括三组相同的第一信号，所述第一信号后电连接有魔T电路，所述魔T电路将三组第一信号合成为一组第二信号，所述魔T电路上还电连接有阻抗变换电路，所述阻抗变换电路将所述第二信号输...

本实用新型涉及射频电源匹配器技术领域，尤其涉及一种射频电源匹配器一体机结构,包括外壳体，外壳体包括底壳、后面板、前面板、右侧板、左侧板、盖板；底壳上可拆卸地固定连接有与前面板平行的第一隔板，第一隔板前部的区域为风机区；底壳上可拆卸地固定...

本实用新型涉及射频匹配器技术领域，尤其涉及一种射频匹配器的输出连接结构,包括真空腔、匹配器、固定连接在真空腔上的输入铜排、固定连接在匹配器上的输出铜排；输入铜排和输出铜排的规格相同；输入铜排和输出铜排之间通过连接片连接，连接片的一端与输...

本发明涉及电源控制技术领域，尤其是涉及一种多组同相100W60MHz射频电源系统，包括：高频信号输出电路；电连接于高频信号输出电路后端的信号源电路；电连接于信号源电路后端的功放电源电路；信号源电路包括放大电路、第一功率分配电路以及第二功...

本发明属于集成电路设计技术领域，具体涉及一种射频电源脉冲功率检测电路。该检测电路包括信号波信号预处理电路、脉冲保持电路、电压功率转换电路，信号波为入射波或反射波，信号波信号预处理电路、脉冲保持电路、电压功率转换电路依次电连接。本发明提供...

本实用新型涉及一种在线射频自动匹配器，用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载，自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达，还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路；射频电源输出端与检测...

本发明涉及一种在线射频自动匹配器，用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载，自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达，还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路；射频电源输出端检测电路输...

本实用新型公开了一种2M射频匹配电路，包括第一电容、第一电感、第二电容以及第三电容，所述第一电容的一端接地，第一电容的另一端连接第一电感的一端，第一电感的另一端分别连接第二电容和第三电容的一端，第二电容的另一端接地。本实用新型既可以在负...

本实用新型涉及一种四合一HF高功率合成器，包括第一阻抗变换器、第二阻抗变换器、第三阻抗变换器、第四阻抗变换器，第一二合一巴伦、第二二合一巴伦、第三二合一巴伦，第一阻抗变换器和第二阻抗变换器的输出端均与第一二合一巴伦的输入端连接，第三阻抗...

本实用新型涉及一种射频电源，特别是一种基于MOS-FET放大器的大功率的双输出移相全固态射频电源。所述信号源输出端连接有第一级信号放大器，该初级放大器的输出端与低通滤波器相连接；所述低通滤波器的输出端连接有将信号分为两路信号输出的功分器...

本发明公开了一种射频电源闭环控制电路，包括入射电压处理电路，该入射电压处理电路将输入的入射波电压处理成与该入射波电压对应的入射功率信号；以及反射电压处理电路，该反射电压处理电路将输入的反射波电压处理成与该反射波电压对应的反射功率信号；以...

本发明公开了一种射频自动匹配器复位电路，包括检测模块，该检测模块将驱动自动匹配器的可调电容转动的齿轮位置信号转换成电压信号；以及复位设置模块，该复位设置模块用于设置自动匹配器的复位值；以及运算放大器，该运算放大器的反相输入端分别与检测模...

本实用新型涉及一种自动匹配器，特别是一种主机采用分离式设计的自动匹配器，包括有检测模块、传动执行模块和控制模块，所述主机侧面设置有数据接口，控制模块的控制线路连接到数据接口内侧连接端，面板控制器通过数据线与数据接口外侧连接端相连。采用这...

本实用新型公开了一种射频匹配器的控制电路，其特征在于：包括放大电路，该放大电路将接收到的直流驱动信号进行放大后输出；所述的控制模块还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作...

本实用新型公开了一种射频匹配器的检测电路，其特征在于：包括信号检测模块，该信号检测模块用于实时检测负载反馈的反射信号，并将该反射信号输出；以及与该信号检测模块连接的信号处理电路，信号处理电路将来自于信号检测模块的反射信号进行相位检测后，...

本实用新型公开了一种射频匹配器，包括信号检测模块，控制模块和传动执行模块，信号检测模块用于检测负载反馈的反射信号，并将该反射信号转化为直流驱动信号输出；该控制模块包括放大电路，放大电路用于将接收到的直流驱动信号进行放大后输出，该传动执行...