The invention relates to an on-line radio frequency automatic matcher for automatically matching the radio frequency signal output from a radio frequency power supply to a discharge load. The automatic matcher comprises a first adjustable capacitor, a second adjustable capacitor, a first adjustable capacitor driving motor, a second adjustable capacitor driving motor, and a detection circuit and an automatic gain control electricity. The output of the detection circuit is connected with the input of the gain automatic control circuit, the output of the gain automatic control circuit is connected with the input of the control circuit, and the output of the control circuit is connected with the input of the control circuit. The control input terminal of the motor is connected. A multiplier is added between the linear amplifier and the phase/amplitude signal, and the gain of the phase and amplitude signal is automatically adjusted by the forward power signal, so as to realize the automatic control of the motor driving gain and improve the matching speed of the radio frequency automatic matcher.
【技术实现步骤摘要】
在线射频自动匹配器
本专利技术涉及一种在线射频自动匹配器。
技术介绍
由射频电源输出特性阻抗为50Ω的射频能量,射频自动匹配器将放电负载的阻抗调谐成50Ω,来实现阻抗匹配,确保射频能量最大限度地传输给放电负载,实现一个稳定的放电状态,如图1自动匹配器的应用原理框图。其中,自动匹配器的功能是与放电负载的阻抗进行共轭匹配自动变换到50欧姆,以此确保射频能量的高效传输,“倒L”型射频自动匹配器基本功能框图如图2:当负载连接到RFOUT端口时调节CL\CT2个真空电容,使在RFIN端口呈现50欧姆阻抗,当实际使用中负载阻抗发生偏移时,自动匹配就会检测到幅度、相位信号的偏移电压,用这两个信号放大后驱动2个执行马达,调节CL\CT2个真空电容,当RFIN端口呈现50欧姆阻抗时,相位、幅度信号也达到0v马达停止调节,即就是完成匹配。但随着工业技术的发展,射频等离子技术应用越来越广阔。目前有企业开发在线式射频等离子处理设备(该放电设备为容性负载):即产线式流水作业,射频开关一次共用时20秒以内,等离子辉光处理用时5秒。在这样的情况下,就要求射频自动匹配器匹配时间要在3秒以内、精度也要高。本公司上一代的射频自动匹配器技术难以满足速度要求。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术提供一种匹配时间更短的在线射频自动匹配器。实现本专利技术的技术方案如下:在线射频自动匹配器,用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载,自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达,还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路;射频电源输出端检测电路输入端连接,检 ...
【技术保护点】
1.在线射频自动匹配器,用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载,自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达,其特征在于,还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路;射频电源输出端检测电路输入端连接,检测电路的输出端与增益自动控制电路的输入端连接,增益自动控制电路的输出端与控制电路的输入端连接,控制电路的输出端与第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达的控制输入端连接。
【技术特征摘要】
1.在线射频自动匹配器,用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载,自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达,其特征在于,还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路;射频电源输出端检测电路输入端连接,检测电路的输出端与增益自动控制电路的输入端连接,增益自动控制电路的输出端与控制电路的输入端连接,控制电路的输出端与第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达的控制输入端连接。2.如权利要求1所述的在线射频自动匹配器,其特征在于,所述增益自动控制电路包括第一增益电路、第二增益电路,第一增益电路包括乘法器U2、形成并联的电位器R1、电阻R2、电阻R3,以及并联的电阻R4、电阻R5、电阻R6,检测电路的幅度信号输出端与乘法器U2的Z1端连接,检测电路的正向功率输出端与电位器R1连接,电位器R1、电阻R2、电阻R3的并联处与乘法器U2的X1端连接,所述乘法器U2的Z2端接地;乘法器U2的WOUT端与电阻R4连接,电阻R6与控制电路连接。3.如权利要求2所述的在线射频自动匹配器...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨帆,陈敏,
申请(专利权)人:常州瑞思杰尔电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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