一种多组同相100W60MHz射频电源系统技术方案

本发明专利技术涉及电源控制技术领域，尤其是涉及一种多组同相100W60MHz射频电源系统，包括：高频信号输出电路；电连接于高频信号输出电路后端的信号源电路；电连接于信号源电路后端的功放电源电路；信号源电路包括放大电路、第一功率分配电路以及第二功率分配电路，放大电路后端与第一功率分配电路电连接，第一功率分配电路平均分配出N组第一功率信号，每组后电连接有第二功率分配电路，第二功率分配电路平均分配出2的M次方组第二功率信号，每组后电连接有功放电源电路。本发明专利技术采用技术方案可以组合的射频组数相较于传统技术方案而言具有更多的组合方式，在更多样的组合条件下，使用者可以根据实际需求进行合理选择，避免不必要的浪费。费。费。

【技术实现步骤摘要】
一种多组同相100W60MHz射频电源系统


[0001]本专利技术涉及电源控制
，尤其是涉及一种多组同相100W60MHz射频电源系统。

技术介绍

[0002]随着国内半导体行业的法障，射频电源适用的范围越来越广，特殊专用设备需求量越来越大，目前射频电源设备频率普遍在13.56MHz，一些特殊应用领域需要用到VHF固定台射频电源，但又不能影响FM广播频率(88
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108MHz)，同时同一负载腔体有需要多路射频电源激发等离子。因此，市场提出了采用多组100W60MHz射频电源的要求，其中使用最为广泛的是采用12组100W60MHz的射频电源。
[0003]就传统技术手段而言，一般的射频电源系统只能发出2的n次方组方路信号，局限性较大，若采用传统方式发射信号，n至少要取4，即16组信号输出，在面对常见的12组100W60MHz的射频电源时，势必造成不必要的浪费。
[0004]另外，由于多组信号源置于同一负载腔体内，传统射频电源系统的各路信号之间相互影响较大，导致最后使用效果不佳。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题是：针对上述缺陷，提供一种线路组数选择更多，各路信号之间影响更小的多组同相100W60MHz射频电源系统。
[0006]其具体方案如下：
[0007]一种多组同相100W60MHz射频电源系统，包括：
[0008]高频信号输出电路；
[0009]电连接于所述高频信号输出电路后端的信号源电路；
[0010]电连接于所述信号源电路后端的功放电源电路；
[0011]所述信号源电路包括放大电路、第一功率分配电路以及第二功率分配电路，所述放大电路后端与所述第一功率分配电路电连接，所述第一功率分配电路平均分配出N组第一功率信号，每组后电连接有第二功率分配电路，所述第二功率分配电路平均分配出2的M次方组第二功率信号，每组后电连接有所述功放电源电路，其中N与M均为正整数。
[0012]进一步的，所述高频输出电路包括串联的有源晶振以及衰减器一，所述衰减器一后端与所述放大电路电连接。
[0013]进一步的，所述放大电路包括串联的一级放大器以及二级放大器，所述二级放大器与所述第一功率分配电路电连接。
[0014]进一步的，所述第一功率分配电路包括并联的N个第一功率分配器，所述每个第一功率分配器后端都电连接有所述第二功率分配电路。
[0015]进一步的，所述第二功率分配电路包括串联的阻抗变换电路以及第二功率分配器，所述第二功率分配器分配出2的M次方组第二功率信号，每组后电连接有所述功放电源
电路。
[0016]进一步的，所述功放电源电路包括信号处理电路以及检波电路，所述信号处理电路包括电连接的输入匹配电路和输出匹配电路，所述输出匹配电路后端与所述检波电路电连接。
[0017]进一步的，所述输入匹配电路包括依次电连接的输入晶体管、变压器、以及选频网络电路，所述选频网络电路后端与所述输出匹配电路电连接。
[0018]进一步的，所述输出匹配电路包括依次电连接的阻抗匹配电路和输出微调电路，所述输出微调电路后端与所述检波电路电连接。
[0019]采用本专利技术的技术方案相较于传统技术方案所具有的优点在于：
[0020]1.本专利技术采用技术方案可以组合的射频组数相较于传统技术方案而言具有更多的组合方式，在更多样的组合条件下，使用者可以根据实际需求进行合理选择，避免不必要的浪费。
[0021]2.本专利技术的各个线路之间电气隔离性能更好，相互之间干扰更少，能更为稳定的输出有效信号。
附图说明
[0022]通过下面结合附图的详细描述，本专利技术前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。
[0023]图1为本专利技术的工作原理示意图；
[0024]图2为本专利技术的功放电源电路结构示意图；
[0025]图3为本专利技术实施例的高频信号输出电路以及信号源电路中的放大电路的连接电路图；
[0026]图4为本专利技术实施例的第一功率分配电路以及第二功率分配电路的电路图；
[0027]图5为图4中的一路第二功率分配电路的放大图；
[0028]图6为本专利技术实施例的功放电源电路的前半段电路图；
[0029]图7为本专利技术实施例的功放电源电路的后半段电路图。
[0030]其中：
[0031]10.高频信号输出电路、11.有源晶振、12.衰减器一；
[0032]20.信号源电路、21.放大电路、22.第一功率分配电路、221.第一功率分配器、23.第二功率分配电路、231.第二功率分配器；
[0033]30.功放电源电路、31.信号处理电路、311.输入匹配电路、3111.晶体管二、3112.变压器二、3113.选频网络电路、312.输出匹配电路、3121.阻抗匹配电路、3122.输出微调电路、32.检波电路。
具体实施方式
[0034]以下依据本专利技术的理想实施例为启示，通过以下的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项专利技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项专利技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
[0035]参考下列附图，以下将以申请人设计的一种12组的100W60MHz射频电源电路为实
例(其中N取3，M取2)，对本专利技术进行进一步地说明：
[0036]参考图1
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2，一种多组同相100W60MHz射频电源系统，包括：高频信号输出电路10；电连接于所述高频信号输出电路10后端的信号源电路20；电连接于所述信号源电路20后端的功放电源电路30；所述信号源电路20包括放大电路21、第一功率分配电路22以及第二功率分配电路23，所述放大电路21后端与所述第一功率分配电路22电连接，所述第一功率分配电路22平均分配出N组第一功率信号，每组后电连接有第二功率分配电路23，所述第二功率分配电路23平均分配出2的M次方组第二功率信号，每组后电连接有所述功放电源电路30，其中N与M均为正整数。
[0037]在上述多组同相100W60MHz射频电源系统的中，射频电源系统主要是将高频信号输出电路10输出的高频信号经过信号源电路20的转化，平均分配为N乘以2的M次方组相同的高频信号后，再送入后续功放电源电路30中完成电信号输出。
[0038]高频输出电路包括串联的有源晶振11OSC以及衰减器一12，所述衰减器一12后端与所述放大电路21电连接。
[0039]参考图3，在本实施例中，N取3，M取2，即3*2的平方＝12组。如图3所示高频信号输出电路10包括了有源晶振11OSC、耦合电容C6、衰减器一12和一个耦合电容C7。其中有源晶振11OSC采用的电源为5V12W，并将高频电信号输出，经过耦合电容C6和衰减器一12之后，进入耦合电容C7。其中，衰减器一12的结构为：主路线上设置有电阻R1，在电阻R1两端分出的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多组同相100W60MHz射频电源系统，其特征在于，包括：高频信号输出电路；电连接于所述高频信号输出电路后端的信号源电路；电连接于所述信号源电路后端的功放电源电路；所述信号源电路包括放大电路、第一功率分配电路以及第二功率分配电路，所述放大电路后端与所述第一功率分配电路电连接，所述第一功率分配电路平均分配出N组第一功率信号，每组后电连接有第二功率分配电路，所述第二功率分配电路平均分配出2的M次方组第二功率信号，每组后电连接有所述功放电源电路，其中N与M均为正整数。2.根据权利要求1所述的一种多组同相100W60MHz射频电源系统，其特征在于，所述高频输出电路包括串联的有源晶振以及衰减器一，所述衰减器一后端与所述放大电路电连接。3.根据权利要求1所述的一种多组同相100W60MHz射频电源系统，其特征在于，所述放大电路包括串联的一级放大器以及二级放大器，所述二级放大器与所述第一功率分配电路电连接。4.根据权利要求1所述的一种多组同相100W60MHz射频电源系统，其特征在于，所述第一功率分配电路包括并...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭金，顾玉定，
申请(专利权)人：常州瑞思杰尔电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：