【技术实现步骤摘要】
在线射频自动匹配器
本技术涉及一种在线射频自动匹配器。
技术介绍
由射频电源输出特性阻抗为50Ω的射频能量，射频自动匹配器将放电负载的阻抗调谐成50Ω，来实现阻抗匹配，确保射频能量最大限度地传输给放电负载，实现一个稳定的放电状态,如图1自动匹配器的应用原理框图。其中，自动匹配器的功能是与放电负载的阻抗进行共轭匹配自动变换到50欧姆，以此确保射频能量的高效传输，“倒L”型射频自动匹配器基本功能框图如图2：当负载连接到RFOUT端口时调节CL\CT2个真空电容，使在RFIN端口呈现50欧姆阻抗，当实际使用中负载阻抗发生偏移时，自动匹配就会检测到幅度、相位信号的偏移电压，用这两个信号放大后驱动2个执行马达，调节CL\CT2个真空电容，当RFIN端口呈现50欧姆阻抗时，相位、幅度信号也达到0v马达停止调节，即就是完成匹配。但随着工业技术的发展，射频等离子技术应用越来越广阔。目前有企业开发在线式射频等离子处理设备(该放电设备为容性负载)：即产线式流水作业，射频开关一次共用时20秒以内，等离子辉光处理用时5秒。在这样的情况下，就要求射频自动匹配器匹配时间要在3秒以内、精度也要...
【技术保护点】
1.在线射频自动匹配器，用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载，自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达，其特征在于，还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路；射频电源输出端与检测电路输入端连接，检测电路的输出端与增益自动控制电路的输入端连接，增益自动控制电路的输出端与控制电路的输入端连接，控制电路的输出端与第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达的控制输入端连接。
【技术特征摘要】
1.在线射频自动匹配器，用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载，自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达，其特征在于，还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路；射频电源输出端与检测电路输入端连接，检测电路的输出端与增益自动控制电路的输入端连接，增益自动控制电路的输出端与控制电路的输入端连接，控制电路的输出端与第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达的控制输入端连接。2.如权利要求1所述的在线射频自动匹配器，其特征在于，所述增益自动控制电路包括第一增益电路、第二增益电路，第一增益电路包括乘法器U2、形成并联的电位器R1、电阻R2、电阻R3，以及并联的电阻R4、电阻R5、电阻R6，检测电路的幅度信号输出端与乘法器U2的Z1端连接，检测电路的正向功率输出端与电位器R1连接，电位器R1、电阻R2、电阻R3的并联处与乘法器U2的X1端连接，所述乘法器U2的Z2端接地；乘法器U2的WOUT端与电阻R4连接，电阻R6与控制电路连接。3.如权利要求2所述的在线射频自动匹配...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨帆，陈敏，
申请(专利权)人：常州瑞思杰尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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