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本实用新型涉及一种在线射频自动匹配器，用于将射频电源输出的射频信号自动匹配给放电负载，自动匹配器包括第一可调电容、第二可调电容、第一可调电容驱动马达、第二可调电容驱动马达，还包括检测电路、增益自动控制电路、控制电路；射频电源输出端与检测电路...
该专利属于常州瑞思杰尔电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州瑞思杰尔电子科技有限公司授权不得商用。

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