射频匹配器的输出连接结构制造技术

本实用新型专利技术涉及射频匹配器技术领域，尤其涉及一种射频匹配器的输出连接结构,包括真空腔、匹配器、固定连接在真空腔上的输入铜排、固定连接在匹配器上的输出铜排；输入铜排和输出铜排的规格相同；输入铜排和输出铜排之间通过连接片连接，连接片的一端与输入铜排固定连接，另一端与输出铜排固定连接，输入铜排和输出铜排的长度范围在80～120mm，宽度范围在15～25mm，厚度范围在3～5mm，连接片的材质为紫铜，连接片分别与输入铜排、输出铜排通过螺栓连接。输入铜排和输出铜排采用紫铜材质的连接片连接，降低了射频功率损耗，连接片与铜排采用螺栓连接，固定不使用焊锡，耐高温，射频功率传输效率高，可靠性高，稳定性高。稳定性高。稳定性高。

【技术实现步骤摘要】
射频匹配器的输出连接结构


[0001]本技术涉及射频匹配器
，尤其涉及一种射频匹配器的输出连接结构。

技术介绍

[0002]目前，射频自动匹配器的输出大多采用射频连接头输出，射频匹配器与负载之间使用大约1.5米的射频线缆连接，由于实验室中一般不会连续工作超过8小时，此种接法在实验室中应用尚且不会出现明显的问题。
[0003]但是这种射频线缆连接负载的方式存在一些潜在的问题：一是射频线缆不能承受超过200℃的高温，二是射频线缆存在一定射频功率损耗。当射频电源和射频自动匹配器应用于24小时的生产线时，射频匹配器与负载连接的射频线缆以及射频连接头经常因过热而烧坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种射频匹配器的输出连接结构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]射频匹配器的输出连接结构，包括真空腔、匹配器、固定连接在真空腔上的输入铜排、固定连接在匹配器上的输出铜排；所述输入铜排和所述输出铜排的规格相同；所述输入铜排和所述输出铜排之间通过连接片连接，所述连接片的一端与所述输入铜排固定连接，另一端与所述输出铜排固定连接。
[0007]优选的，所述输入铜排和所述输出铜排的长度范围在80～120mm，宽度范围在15～25mm，厚度范围在3～5mm。
[0008]优选的，所述输入铜排和所述输出铜排的长度为100mm，宽度为20mm，厚度为4mm。
[0009]优选的，所述连接片的材质为紫铜，所述输入铜排与所述连接片通过输入铜排螺栓连接，所述输出铜排与所述连接片通过输出铜排螺栓连接。
[0010]优选的，所述输入铜排和所述输出铜排的外侧设置有屏蔽盒，所述屏蔽盒分别与所述真空腔、所述匹配器固定连接。
[0011]优选的，所述屏蔽盒的材质为铝合金。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]1、输入铜排和输出铜排采用紫铜材质的连接片连接，降低了射频功率损耗，连接片与铜排采用螺栓连接，固定不使用焊锡，耐高温，射频功率传输效率高，可靠性高，稳定性高。
[0014]2、输入铜排和输出铜排的外侧设有，材质为铝合金，可对输出点进行射频屏蔽，防止对外界造成干扰。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的射频匹配器的输出连接结构的结构示意图。
[0016]图中：1
‑
真空腔、2
‑
匹配器、3
‑
输入铜排、4
‑
输出铜排、5
‑
输入铜排螺栓、6
‑
输出铜排螺栓、7
‑
连接片、8
‑
屏蔽盒。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]参照图1，射频匹配器的输出连接结构，包括真空腔1、匹配器2、固定连接在真空腔1上的输入铜排3、固定连接在匹配器2上的输出铜排4；
[0019]所述输入铜排3和所述输出铜排4的规格相同，由于铜排长度在100mm左右射频功率损耗小，其长度范围在80～120mm，宽度范围在15～25mm，厚度范围在3～5mm。最佳尺寸为长度100mm，宽度20mm，厚度4mm。
[0020]所述输入铜排3和所述输出铜排4之间通过连接片7连接，所述连接片7的一端与所述输入铜排3固定连接，另一端与所述输出铜排4固定连接。
[0021]具体的，所述连接片7的材质为紫铜，所述输入铜排3与所述连接片7通过输入铜排螺栓5连接，所述输出铜排4与所述连接片7通过输出铜排螺栓6连接，固定不使用焊锡，可承受500℃的高温，射频功率传输效率高，可靠性高，稳定性高。连接片7呈Z型，贴合输入铜排3和输出铜排4，避免接触不良。
[0022]所述输入铜排3和所述输出铜排4的外侧设置有屏蔽盒8，所述屏蔽盒8分别与所述真空腔1、所述匹配器2固定连接，屏蔽盒8的材质为铝合金，可对输出点进行射频屏蔽，防止对外界造成干扰。
[0023]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.射频匹配器的输出连接结构，其特征在于，包括真空腔(1)、匹配器(2)、固定连接在真空腔(1)上的输入铜排(3)、固定连接在匹配器(2)上的输出铜排(4)；所述输入铜排(3)和所述输出铜排(4)的规格相同；所述输入铜排(3)和所述输出铜排(4)之间通过连接片(7)连接，所述连接片(7)的一端与所述输入铜排(3)固定连接，另一端与所述输出铜排(4)固定连接。2.根据权利要求1所述的射频匹配器的输出连接结构，其特征在于，所述输入铜排(3)和所述输出铜排(4)的长度范围在80～120mm，宽度范围在15～25mm，厚度范围在3～5mm。3.根据权利要求2所述的射频匹配器的输出连接结构，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨帆，张龙华，
申请(专利权)人：常州瑞思杰尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：