本发明的半导体故障解析装置(1)具备：解析部(10)，其解析半导体器件(D)的故障部位；标记部(20)，其朝半导体器件(D)照射激光；器件配置部(30)，其晶圆卡盘(32)相对于解析部(10)及标记部(20)相对移动，该晶圆卡盘(32)...

本发明的光传感器具备：根据入射光而产生电荷的受光部；用于传送由所述受光部产生的电荷的电荷传送栅极；和用于生成施加于所述电荷传送栅极的电荷传送信号的信号生成部，所述信号生成部以在属于第n(n为1以上的整数)帧的第1期间的第1时间范围，将所...

膜厚测定装置具备：光照射部，其相对于对象物面状地照射光；光学元件，其在规定的波长频带中透过率及反射率对应于波长而变化，将来自对象物的光进行透过及反射而予以分离；摄像部，其对由光学元件分离的光进行摄像；及解析部，其基于来自对光进行摄像的摄...

本发明的高度测量装置具备：光照射部，其将包含多个光束的照射光以相对于样品的高度方向倾斜的角度照射至样品，该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同；相机系统，其检测来自被照射有照射光的样品的光，并输出该光的波长信息；及控制装置...

本发明的光学干涉断层摄影装置具备：光源、包括进行往复动作的可动反射镜的反射镜器件、支承对象物的支承部、生成干涉光的分束器、检测干涉光的光传感器和控制部。光传感器所包括的多个像素中的各个包括：受光部、多个传送栅极和排出栅极。控制部，以对干...

加工对象物切割方法，其中，包括：第一工序，将可扩张薄片粘贴在加工对象物的表面或背面；第二工序，在上述第一工序之后，沿着切割预定线对上述加工对象物照射激光而形成改质区域，通过扩张上述可扩张薄片，将上述加工对象物的至少一部分分割成多个芯片，...

测定装置具备：倾斜分色镜，其将来自样品的光对应于波长透过或反射而予以分离，且透过率及反射率对应于波长的变化而变化的波长频带的宽度、即边缘跃迁宽度具有规定的宽度；全反射镜，其将在倾斜分色镜被透过或反射的光的一方予以反射；摄像元件，其由第1...

本发明的控制部执行：第1处理，在将第1聚光点与第2聚光点的距离设定为第1距离的状态下，一边沿着第1线使所述第1聚光点及所述第2聚光点相对移动，一边对对象物照射所述激光；和第2处理，在将所述第1聚光点与所述第2聚光点的距离设定为小于所述第...

致动器装置包括：支承部；第1可动部；第2可动部；将第1可动部与第2可动部相互连结的第1连结部；将第2可动部与支承部相互连结的第2连结部；设置于第2可动部的螺旋状的线圈；产生作用于线圈的磁场的磁场产生部；设置于支承部的第1外部端子；和与线...

本发明的试样支承体具备：具有形成有多个贯通孔的测量区域的绝缘性的基板；框架，在该框架以与测量区域对应的方式形成了在第1面和第2面开口的开口部，该框架以在从基板的厚度方向观察时开口部与测量区域重叠的方式形成在第1表面上；粘接基板和框架的、...

本发明的质量分析装置包括试样台、照射部、MCP、荧光体、摄像部和控制部。照射部通过对试样照射能量射线而在维持试样的多个成分的位置信息的状态下使多个成分离子化。MCP根据离子化试样释放电子。荧光体根据电子发出荧光。摄像部具有能够切换开状态...

本发明的激光加工装置是将聚光区域的一部分对准对象物而照射激光，由此在对象物的内部沿着假想面形成改质区域。激光加工装置，具备：支撑对象物的支撑部；将激光照射于对象物的照射部；以聚光区域的一部分在对象物的内部沿着假想面移动的方式，使支撑部及...

本发明所涉及的闪烁器(1A)的特征为具备：支撑基板(10)；发光层(14)，被形成于基板(10)上并以电子浓度成为2

本发明的摄像单元包括MCP、荧光体和摄像部。MCP设置在离子化了的试样的成分即离子化试样的飞行路径上，根据离子化试样而释放电子。荧光体配置在MCP的后段，根据从MCP释放的电子而发出荧光。摄像部配置在荧光体的后段，具有构成为能够对开状态...

本发明的故障解析单元是在半导体故障解析装置中一边保持一边搬送晶圆的晶圆搬送单元，并且具备：载置台，其将晶圆固定于规定的观察位置；及晶圆卡盘，其保持晶圆并搬送至观察位置，晶圆卡盘具有设置为与晶圆的侧面相对的多个保持构件(突出部)，通过多个...

本发明中的扫描装置具备：MEMS镜机构(3)，其以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动，且以第2轴线(A2)为中心线使镜(3A)摆动；及控制部(5)，其产生用于以第1轴线(A1)为中心线使镜(3A)摆动的第1驱动信号(S1)、及用于...

本发明的细胞分析方法具备：将作为受检体的细胞、金属离子的溶液及还原剂混合制作混合液的混合步骤S11；通过混合液中的还原剂的还原作用，将混合液中的金属离子还原而在支撑体上生成金属微结构，并且使细胞或源自细胞的物质附着于金属微结构的金属微结...

激光加工装置具备支承部、照射部、移动机构、驱动部、测定数据取得部及控制部。控制部执行第1处理及第2处理，该第1处理在较对象物的周缘更内侧，以聚光位置沿着周缘移动的方式使支承部及照射部中的至少一方移动，沿着周缘而在对象物的内部形成第1改质...

本发明的一个实施方式涉及能够动态地控制光的相位分布的光源模块。该光源模块包括半导体层叠部。半导体层叠部包括由活性层和产生Γ点振荡的光子晶体层构成的层叠体，具有沿作为光子晶体层的共振方向之一的Y方向排列的相位同步部和强度调制部。构成强度调...

本发明的图像处理装置(3)具备：特征提取部(12)、重构部(13)、评价部(14)、控制部(15)。特征提取部(12)将输入图像z输入特征提取用NN(18)，并从特征提取用NN(18)输出中间图像。重构部(13)将中间图像输入第m重构用...