摄像单元及测定装置制造方法及图纸

测定装置具备：倾斜分色镜，其将来自样品的光对应于波长透过或反射而予以分离，且透过率及反射率对应于波长的变化而变化的波长频带的宽度、即边缘跃迁宽度具有规定的宽度；全反射镜，其将在倾斜分色镜被透过或反射的光的一方予以反射；摄像元件，其由第1摄像区域对在倾斜分色镜被透过或反射的光的另一方进行摄像，且由与第1摄像区域不同的第2摄像区域对在全反射镜被反射的光进行摄像；及控制装置，其基于倾斜分色镜中的透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性，对由第1摄像区域及第2摄像区域摄像的图像进行修正。及第2摄像区域摄像的图像进行修正。及第2摄像区域摄像的图像进行修正。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】摄像单元及测定装置


[0001]本专利技术涉及一种摄像单元及测定装置。

技术介绍

[0002]已知将来自对象物的光对应于波长予以分离，且通过不同的摄像区域对分离了的波长进行摄像的摄像单元(例如参照专利文献1)。在专利文献1所记载的摄像单元中，通过光学元件即分色镜将波长予以分离。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014
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235332号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的技术问题
[0007]专利文献1所记载的分色镜以某波长为基准将较该波长短的波长的光及较该波长长的波长的光予以分离，且透过率大致与波长无关而为100％或0％。在使用这样的分色镜的情况下，考虑例如当试图将波长宽度较窄的光予以分离时，无法对应于波长进行所期望的分离。作为对应于这样的波长宽度较窄的光的分离的结构，有透过率(及反射率)对应于波长的变化而变化的波长频带的宽度较宽(具有边缘跃迁宽度)的分色镜。具有边缘跃迁宽度的分色镜对于波长宽度较窄的光也可恰当地予以分离。
[0008]此处，具有边缘跃迁宽度的分色镜例如光学特性对应于光的入射角度而变化。因此，在使用具有边缘跃迁宽度的分色镜的摄像单元中，存在无法准确地导出光的波长，而无法获得准确的摄像图像的担忧。
[0009]本专利技术鉴于上述实际情况而完成，其目的在于，提供一种可准确地导出光的波长并取得恰当的图像的摄像单元及测定装置。
[0010]解决问题的技术手段
[0011]本专利技术的一方式的摄像单元，具备：分离光学元件，其将来自对象物的光对应于波长透过或反射而予以分离，且透过率及反射率对应于波长的变化而变化的波长频带的宽度、即边缘跃迁宽度具有规定的宽度；反射光学元件，其将在分离光学元件被透过或反射的光的一方予以反射；摄像部，其由第1摄像区域对在分离光学元件被透过或反射的光的另一方进行摄像，且由与第1摄像区域不同的第2摄像区域对在反射光学元件被反射的光进行摄像；及处理部，其基于分离光学元件中的透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性，对由第1摄像区域及第2摄像区域摄像的图像进行修正。
[0012]在本专利技术的一方式的摄像单元中，使用边缘跃迁宽度具有规定的宽度的分离光学元件，基于该分离光学元件中的透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性对摄像图像进行修正。在使用边缘跃迁宽度具有规定的宽度的分离光学元件的情况下，尽管可恰当地分离波长宽度较窄的光，但存在例如由于光学特性根据光相对于分离光学元件的入
射角度而变化，而无法准确地导出光的波长并取得恰当的图像的担忧。关于该点，在本专利技术的一方式的摄像单元中，基于透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性、即分离光学元件的边缘跃迁宽度所涉及的特性，将由第1及第2摄像区域摄像的图像予以修正，因此可取得考虑具有边缘跃迁宽度的分离光学元件固有的光学特性而被修正的摄像图像。由此，可恰当地导出经分离光学元件分离的光(由第1及第2摄像区域摄像的光)的波长并取得恰当的(准确的)图像。
[0013]也可以是处理部预先存储考虑了分离光学元件中的透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性的修正数据，并使用该修正数据，对由第1摄像区域及第2摄像区域摄像的图像进行修正。根据这样的结构，可基于预先存储的修正数据，容易且恰当地进行摄像图像的修正。
[0014]也可以是处理部受理考虑了分离光学元件中的透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性的修正数据，并使用该修正数据，对由第1摄像区域及第2摄像区域摄像的图像进行修正。根据这样的结构，例如可基于通过执行软件或自因特网等的外部输入而获得的修正数据，不预先准备修正数据，而恰当地进行摄像图像的修正。
[0015]处理部也可以对由相对于分离光学元件的光入射角度引起的色斑进行修正。在使用具有边缘跃迁宽度的分离光学元件时，分离光学元件的光学特性对应于相对于分离光学元件的入射角度而变化而在摄像图像中产生色斑会成为问题。关于该点，通过对该色斑进行修正而可取得减小了该色斑的恰当的图像。
[0016]处理部也可以对由透过率及反射率对应于波长的变化而变化的波长频带、与透过率及反射率对应于波长的变化而不变化的波长频带的边界引起的检测波长的偏移进行修正。这样的边界成为与透过率等对应于波长的变化而变化的波长频带不同的光学特性。因此，当以与透过率等对应于波长的变化而变化的波长频带相同的计算式将波长导出时，有成为与原本的波长不同的导出结果的担忧。关于该点，通过对由这样的边界引起的检测波长的偏移进行修正，而可准确地导出光的波长并取得恰当的图像。
[0017]摄像部也可以为具有第1摄像区域及第2摄像区域的单一的摄像元件。由此，可通过使用单一的摄像元件的简单的结构而获得多个摄像图像。
[0018]本专利技术的一方式的测定装置，具备：上述的摄像单元；及解析部，其解析包含由处理部予以修正的图像的摄像单元中的处理结果。
[0019]专利技术的效果
[0020]根据本专利技术，可准确地导出光的波长并取得恰当的图像。
附图说明
[0021]图1是示意性地显示本专利技术的实施方式的测定装置的俯视图。
[0022]图2是示意性地显示图1的测定装置所包含的相机系统的侧视图。
[0023]图3是对光的光谱及倾斜分色镜的特性进行说明的图。
[0024]图4是示意性地显示修正单元的图。
[0025]图5是用于说明计算波长的修正的图。
[0026]图6是修正方法的流程图。
[0027]图7是对变形例的倾斜分色镜的特性进行说明的图。
[0028]图8是示意性地显示变形例的相机系统的图。
[0029]图9是示意性地显示变形例的相机系统的图。
具体实施方式
[0030]以下，参照附图，对本专利技术的实施方式进行详细的说明。另外，在各图中对相同或相当部分赋予相同符号，并省略重复的说明。
[0031]图1是示意性地显示本实施方式的测定装置1的俯视图。测定装置1是构成为可对样品进行摄像的相机单元(摄像单元)。测定装置1将来自样品的光(例如观察光)对应于波长成分予以分离，通过与各波长成分对应的摄像元件14、24、34而对各波长成分的光进行摄像。测定装置1通过将由摄像元件14、24、34摄像的图像(摄像结果)进行解析，而进行样品的好坏判定。样品例如可为LED、小型LED、μLED、SLD元件、激光元件、垂直型激光元件(VCSEL)、OLED等发光元件，也可为通过包含纳米点等的荧光物质对发光波长进行调整的发光元件。在样品为发光元件的情况下，所谓进行样品的好坏判定，例如是基于多个发光元件间的色斑信息进行样品的好坏判定。
[0032]如图1所示，测定装置1具备相机系统2、及控制装置80(处理部、解析部)。一边参照图2一边对于相机系统2的详细情况进行说明。图1是包含相机系统2的测定装置1的俯视图，图2是相机系统2的侧视图。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种摄像单元，其中，具备：分离光学元件，其将来自对象物的光对应于波长透过或反射而予以分离，且作为透过率及反射率对应于波长的变化而变化的波长频带的宽度的边缘跃迁宽度具有规定的宽度；反射光学元件，其将在所述分离光学元件被透过或反射的光的一方予以反射；摄像部，其由第1摄像区域对在所述分离光学元件被透过或反射的光的另一方进行摄像，且由与所述第1摄像区域不同的第2摄像区域对在所述反射光学元件被反射的光进行摄像；及处理部，其基于所述分离光学元件中的透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性，对由所述第1摄像区域及所述第2摄像区域摄像的图像进行修正。2.如权利要求1所述的摄像单元，其中，所述处理部预先存储考虑了所述分离光学元件中的透过率及反射率相对于波长的变化所涉及的光学特性的修正数据，并使用该修正数据，对由所述第1摄像区域及所述第2摄像区域摄像的图像进行修正。3.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村共则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：