本发明提供一种外观检查装置，该外观检查装置具备：至少两个被检体移交部，其用于在与收纳盒之间移交被检体；至少两个检查部，其为了检查被检体而配置于互不相同的检查位置；被检体移动部，其在所述被检体移交部与所述检查部之间、或者在所述检查部彼此之...

本发明提供一种缺陷检查装置。缺陷检查装置（１）构成为具有沿一轴方向进行扫描而取得被检查体的表面图像的照相机（２５），照相机（２５）的输出被交接给控制部（３）的图像取入电路（３１）。图像取入电路（３１）在接收到摄像开始触发的位置、获取开始...

本发明涉及一种可以减轻操作者的负荷、并可高效地修复缺陷的缺陷修复装置。在进行缺陷修复之前，载物台（２）根据主控制部（６５）的指示，使基板（１）进行二维移动而移动到使缺陷进入物镜（１４）的视野区域的位置。照相机（５）生成基于射入光的图像信...

本发明提供一种基板检查装置及基板检查装置使用的灯单元，本发明的目的在于在提高了装置内部的清洁度的基板检查装置中容易地进行灯光源的更换，基板检查装置（１）构成为可以利用宏观照明装置（４０）进行基板（Ｗ）的外观检查。宏观照明装置（４０）在高...

本发明涉及外观检查装置的基板保持装置，该外观检查装置将基板（２）载置在框状的载物台（３）上，进行基板的检查。在该基板保持装置中，独立于设置在载物台（３）的开口部上的棂条（１７）和固定销（１７ａ），设置支撑基板的支撑销（２５）和固定支撑销...

本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：用于搬运作为被检体的薄板状的基板（４）的浮起台（１Ａ、２Ａ、３Ａ）；以及吸附搬运部（５、６、７），它们配置在这些浮起台的与搬运方向正交的方向中的任意侧，保持基板（４）的端部并对基板（４）施...

本发明涉及一种外观检查装置，其能够有效检查晶片周缘部。该外观检查装置通过使检查区域指定画面（８１）显示在监视器上，由此可以对晶片周缘部的任意区域进行检查。检查区域指定画面（８１）具有显示观察范围的显示部（８１）和设定观察区域的输入部（８...

本发明提供一种外观检查装置及外观检查方法，该外观检查装置可简单且快速地进行调节。外观检查装置（１）具有将晶片（Ｗ）保持为可绕ＸＹＺ方向及Ｚ轴自由旋转的晶片保持部（４），用于观察晶片（Ｗ）周缘部的周缘摄像部（５）接近地配置。在控制外观检查...

本发明提供一种外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元。该外观检查装置具有宏观检查部（１０）和微观检查部（１１），在微观检查部（１１）中，将检查台（３１）与显微镜（３２）安装在安装板（３０）上。检查台（３１）...

本发明涉及一种能够在晶片等被检查试样的制造装置和检查装置中，在短时间内容易地实现形成于被检查试样上的各种图形的对位的图形检查装置。本发明的图形检查装置（１）包括试样定位单元（９）和偏差量计测单元，试样定位单元（９）在形成为板状的被检查试...

本发明提供一种缺陷检查装置及缺陷检查方法。摄像部（３）拍摄被检查对象物，生成摄像信息。图像生成部（４）根据摄像信息生成被检查对象物的图像。缺陷提取部（５）使用所生成的图像，来提取被检查对象物上的缺陷。缺陷检查部（６）对提取出的缺陷进行检...

本发明提供一种缺陷检测装置和缺陷检测方法。一次缺陷检测部执行检测检查对象物上有无规定尺寸以上的大缺陷的一次缺陷检测处理。二次缺陷检测部执行使用检查对象物的图像数据来检测检查对象物上的缺陷的二次缺陷检测处理。处理控制部在二次缺陷检测处理开...

本发明提供外观检查装置，外观检查装置具有对晶片的周缘部进行照明的上部照明、下部照明、侧部照明、一对斜照明、一对棒照明，明亮地对晶片的周缘部进行照明。在上部照明中形成有间隙，通过该间隙来投射反射照明部的照明光。反射照明部的照明光由第１反射...

本发明提供外观检查装置，该外观检查装置具有：第１基板保持部，其以能够观察基板表面的方式对基板进行保持；第２基板保持部，其以能够观察基板背面的方式对基板进行保持；第１基板保持部移动机构，其使第１基板保持部移动；第２基板保持部移动机构，其使...

本发明涉及基板交换装置和基板处理装置以及基板检查装置，该基板交换装置将从第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并将从上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其中，该基板交换装置具备：上述第二搬送部，其能够在与上述第一基板和...

本发明的发热元件至少包括基板、形成在该基板上的绝缘膜、在该绝缘膜上的至少一部分上形成的薄膜电阻构成的发热部、以及形成在所述绝缘膜和所述发热部上的保护膜，其特征在于，所述基板和所述发热部由同一构件构成。

当操作输入部（１）通过缩略图像等指定要比较的图像时，摄影信息抽取部（５）从图像存储器（４）内存储的该图像的图像文件中抽取摄像信息，其包括拍摄该图像的摄像装置的ＣＣＤ的尺寸和像素数、到被摄体的距离、摄像镜头的焦点距离等。另外，尺寸调整处理...

一种渐变图像生成装置和渐变图像生成方法。不仅可有效抑制存储器的占用量，而且可以生成多样的渐变图像。根据通过渐变数据登录部（１）登录的表示渐变图像的灰度变化情况的信息，由差分表生成部（２）生成差分表。另一方面，基准色表生成部（２）输入图像...

本发明提供一种即使在处理基于多个不同的色空间来表现的图像数据的情况下，也能够以简单的结构，实现各图像的正确的色彩表现的显示控制装置和显示控制方法。用于显示基于多个不同的色空间来表现的图像数据的显示控制装置具有：判别与成为显示对象的图像数...

本发明提供一种信息呈现装置（１０），其将对象物的像和与该对象物相关的信息一起呈现给操作者，该信息呈现装置（１０）由如下部分构成：用户界面部（１４），其包括由上述操作者进行操作的操作部（１３）或者对该操作者呈现信息的显示部（信息显示部（１...