激光束会聚光学系统设有：激光束源，用于设射激光束；束会聚光学系统，布置在所述激光束源与介质之间，用于将所述激光束会聚在所述介质处；以及激光发射点移动装置，其可以与要将所述激光束会聚到其中的所述介质的折射率和在所述介质的表面与要将所述激光...

本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台（１、１６）和浮起块（１１）上形成的多个空气孔（４、１８、１２）上吹空气而使玻璃衬底（３）浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底（３）在输送方向Ｃ上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。

本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台（１、１６）和浮起块（１１）上形成的多个空气孔（４、１８、１２）上吹空气而使玻璃衬底（３）浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底（３）在输送方向Ｃ上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。

本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台（１、１６）和浮起块（１１）上形成的多个空气孔（４、１８、１２）上吹空气而使玻璃衬底（３）浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底（３）在输送方向Ｃ上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。

一种晶片检验设备，具有使存放多个晶片（１０）的片盒（４）升降的升降装置（５）、使从上述片盒内供给的上述晶片在ＸＹ方向上移动的ＸＹ载物台（７）、以及对放置在上述ＸＹ载物台上的上述晶片进行检验的检验头，其特征在于，还包括：　　　　晶片旋转载...

本发明提供一种缺陷检查装置，包括：移动机构，使试料在检查位置上以一定的速度至少向一个方向直线移动；照明机构，对由该移动机构移动的所述试料的表面和背面进行照明；拍摄机构，在以所述一定的速度移动被该照明机构照明的所述试料的同时，对所述试料的...

本发明的统括管理装置，其特征在于具有：多台检测、制造装置，它们布置在半导体器件的制造生产线上；用于检测、制造装置的计算机，它单独或者分组连接在上述各检测、制造装置上；用于管理的计算机，它通过通信线路而连接在上述各用于检测、制造装置的计算...

本发明涉及一种盒基座（２），包括：晶片盒（６），在叠层方向保持具有定位面的多个晶片（５），并具有使上述晶片出入的第１开口部和与上述第１开口部对置设置的第２开口部；第１推入机构（８０３、８０４），设置成经上述第２开口部可出入上述晶片盒内，...

本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台（１、１６）和浮起块（１１）上形成的多个空气孔（４、１８、１２）上吹空气而使玻璃衬底（３）浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底（３）在输送方向Ｃ上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。

一种半导体制造方法，在半导体制造线的各制造工序中对半导体晶片进行加工处理，其中，对被搬入在各制造工序布置的制造装置中的半导体晶片，分别在加工处理前和加工处理后取得图像数据，根据加工处理前的图像数据或者合格品的掩模图像数据以及加工处理后的...

本发明提供一种观察装置和观察方法，观察装置具有：转换器（５），安装有倍率不同的多个物镜（２５）；物镜切换单元（２７），使转换器（５）动作来切换要插入到观察光路内的物镜（２５）；载物台（９），与插入到观察光路内的物镜（２５）对置设置，用于...

本发明提供一种标记方法及标记装置和检查装置，目的在于，对基板上的特定位置迅速附加大小均匀的标记。检查装置具有显微镜（１）和标记装置（２），标记装置（２）具有：保持形成有多个电路（Ｗ２）的基板（Ｗ１）的载物台（２１）；对判定为不良的电路（...

本发明在使基板（２）上浮的状态下，利用升降机构（６），使设置在支承构件（１０）的前端上的接触构件（１３）上升，使该接触构件（１３）接触基板（２）的背面，从而限制上浮的基板（２）的移动。

在壳体（１）的开口部（１ｂ）内的管部件（１５）上载置吸附基座（１６），该吸附基座（１６）设有吸附部（１６ａ）以及与壳体（１）的开口部内壁至少在三点上进行点接触的、弯曲形成为半球面状的接触面部（１６ｃ），该吸附基座（１６）和滑动部件（９）...

相对于通过环形支承部件（５、５）使起模顶杆旋转移动的圆弧状的导向用开口部（８－１），设置通过往复动作缸（６４）等可进退的锁定部件（６１）。并且，在起模顶杆移动的时间之外，使锁定部件（６１）进入以使其末端的卡合部（６１ａ）与设置在对置位置...

一种用于基片处理装置的基片容纳方法，包括：第一步骤，将从容纳盒中取出的基片通过输送装置输送至基片处理装置；第三步骤，在基片处理装置处理基片；第四步骤，在第三步骤后通过输送装置将基片送回容纳盒；第二步骤，从第一步骤开始到第四步骤之前，在输...

本发明提供缺陷检查装置及使用该缺陷检查装置的基板制造系统，其中，缺陷检查装置的特征在于，包括：照明部，其可改变入射角而对被检体照射照明光；以及受光部，其可改变检测角度而接收来自被照射所述照明部的照明光的被检体的光，所述受光部接收向与来自...

本发明提供了分类装置和分类方法。该分类装置具有：区域提取装置（１０７），用于从图像提取多个区域；分类装置（１０８），用于将所提取的各区域分类成预定类别；和代表性类别判定装置（１０９），用于基于图像的各区域的分类结果来判定整个图像的代表性...

本发明提供一种外观检查装置，其能够在基板的、预先设定的位置获得图像、特别是对焦状态的图像，而不使用专用的校准机构或自动对焦装置。工作台（２）吸附保持晶片（１）。工作台旋转机构（３）旋转工作台（２）。第一摄像部（５）通过第一观察光学系统（...

本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部（６），该浮起平台部（６）使基板（１）浮起并对其进行水平支撑；第１基板搬运装置（９），其保持基板（１）的端部，在使基板（１）在浮起平台部（６）上方浮起的状态下对基板（１）进行搬运...