标记方法及标记装置和检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种标记方法及标记装置和检查装置，目的在于，对基板上的特定位置迅速附加大小均匀的标记。检查装置具有显微镜（１）和标记装置（２），标记装置（２）具有：保持形成有多个电路（Ｗ２）的基板（Ｗ１）的载物台（２１）；对判定为不良的电路（Ｗ２）附加标记的标记附加单元（２２）；控制载物台（２１）和标记附加单元（２２）的控制装置（２４）。控制装置（２４）存储通过显微镜检查判定为不良的电路（Ｗ２）的载物台（２１）的位置，根据该位置控制标记附加单元（２２）和载物台（２１）的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对特定的检查对象进行标记的标记方法及标记装置、以及包括这种标记装置的检查装置。本申请对2004年03月18日申请的日本国专利申请第2004-077896号主张优先权，并将其内容引用于此。
技术介绍
在半导体电路的制造工序等中，在其最后工序中，对形成于晶片上的电路进行电气检查和目视检查，对判断为不良的电路，使用墨水附加标记(符号)。这样，通过附加标记，可以通过晶片表面的图像处理筛选合格品和不合格品，所以在将晶片按电路进行切割后，能够用芯片安装器自动地仅取出合格品。此处，为了可靠地进行根据图像处理的筛选，优选标记的大小和形状要均匀。另外，如果墨水量大，在检查后烘干晶片时，产生墨水滴下，墨水有时会附着在其他电路上。另外，如果墨水量少，将不能通过图像处理进行识别，有可能把不合格品视为合格品。因此，在以往的标记装置中，在向电路上点墨水的墨印器上设置压力传感器，并控制成利用相同的接触压力对多个电路进行标记(例如，参照日本国特开2000-269274号公报的第0011～0013段)。另外，在具有电气检查用探针和墨印器的装置中，设置摄像单元，拍摄检查时的探针，存储其焦点对准的摄像条件，在进行标记时移动墨印器，以使在该摄像条件下墨印器的焦点对准(例如，参照日本国特开平7-297242号公报的第0016～0020段)。但是，为了检测墨印器和电路的接触压力，存在需要用于检测压力的新机构的问题。另外，需要预先调整接触压力和标记大小的相关。并且，晶片有时因形成电路而翘曲或因保持条件而挠曲，但在这种翘曲或挠曲较大的情况下，有可能不能准确测定接触压力。另一方面，在设置摄像单元的情况下，需要新的摄像单元。并且，必须根据摄像条件运算载物台、探针和墨印器的位置，处理需要较长的时间。另外，在晶片有翘曲和挠曲的情况下，按电路调整位置是很困难的事情。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于这些问题而提出的，其目的在于，对基板上的特定位置迅速附加大小均匀的标记。本专利技术的标记方法是，把形成有多个电路的基板保持在载物台上，根据检查电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息，在对所述特定电路附加标记时，根据关于所述特定电路的所述位置信息，调整所述基板的位置，然后附加标记。也可以根据对先检查的基板所测定的位置信息，调整后检查的基板的位置。并且，本专利技术的标记装置，根据形成于基板上的多个电路的检查结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，具有保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息的存储单元；对所述特定电路附加标记的标记附加单元；在附加标记时，根据所述位置信息调整所述载物台的位置的控制装置。另外，本专利技术的检查装置，检查形成于基板上的多个电路，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，具有保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；使用所述载物台检查电路的检查单元；在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息的存储单元；对所述特定电路附加标记的标记附加单元；在附加标记时，根据所述位置信息调整所述载物台的位置的控制装置。也可以把所述检查单元作为光学观察装置，所述存储单元存储相当于所述光学观察装置的焦点位置的所述载物台的位置。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的检查装置的结构的示意图。图2是表示检查流程的图。图3是表示利用显微镜进行目视检查时的载物台位置的一例的示意图。图4是表示附加标记时的载物台位置的一例的示意图。图5是表示检查流程的图。具体实施例方式以下，参照附图详细说明本专利技术的优选实施方式。首先，说明本专利技术的第1实施方式。如图1所示，检查装置包括显微镜1，用于目视检查形成于基板W1上的多个电路W2；对判定为不良的电路W2附加标记的标记装置2。其中，作为基板W1，可以列举硅等的半导体晶片或玻璃基板、玻璃环氧树脂和酚醛树脂等树脂基板、陶瓷基板。并且，电路W2构成为包括使用规定的半导体工艺和印刷技术在基板W1上制作的布线和元件等。并且，电路W2在一个基板W1上形成有多个。在图1中，作为一例图示了9个电路W21～W29。另外，在后面的工序中，基板W1被按电路W2进行切割，形成多个电路基板即芯片。作为检查单元的显微镜1具有主体11，在主体11上安装有自由旋转的转换器(revolver)13，转换器13上安装有多个物镜12。另外，在主体11上安装有观察电路W2的目镜14。另外，该显微镜1也可以使用CCD(Charged Coupled Device电荷耦合器件)等的摄像单元(未图示)代替目镜14，也可以同时使用目镜14和摄像单元。这些情况时的显微镜1还具有显示摄像单元的像的监视器。即，检查单元是光学观察装置即可，优选具有自动调焦机构。标记装置2包括从下侧保持基板W1的载物台21；对特定电路W2附加标记的标记附加单元22；输入单元23；控制装置24；存储单元25。另外，在该实施方式中，载物台21和显微镜1是共用的。载物台21具有吸附并保持基板W1的基板保持部31；使基板保持部31在上下方向(图1中的Z方向)移动的升降部32；使升降部32在与上下方向正交的两个方向(图1中的X方向和Y方向)移动的水平移动部33。另外，所说的Z方向是在显微镜1中调整焦点的光轴方向。标记附加单元22具有储存墨水的墨盒34，在墨盒34的下端安装有筒状喷嘴35。在该喷嘴35内插入有针头(needle)36。针头36的一部分也插入墨盒34内。另外，针头36通过由螺线管线圈等构成的驱动部37可从喷嘴35的末端自由进退。输入单元23是向控制装置24输入将要标记的电路W2的装置，例如包括作业者用手指操作的按钮等。并且，也包括在检查时用于使载物台21在X方向、Y方向、Z方向移动的开关等。控制装置24连接着显微镜1、载物台21的升降部32和水平移动部33、标记附加单元22的驱动部37、和存储单元25。该控制装置24由CPU(中央运算装置)和存储器等构成，控制基板W1的位置调整和附加标记的定时等。存储单元25存储利用显微镜1检查电路W2时的基板位置的信息(位置信息)。此处，位置信息由载物台21的X方向的位置(X坐标)、Y方向的位置(Y坐标)和Z方向的位置(Z坐标)构成。各坐标可以从控制装置24指令载物台21移动时输出的信号中获得。并且，在对载物台21的位置进行反馈控制时，可以从安装在升降部32和水平移动部33的位置检测传感器(未图示)的测定数据中获得。其中，所说的X坐标和Y坐标是以基板W1的中心为基准的值。这样，可以利用X坐标和Y坐标确定电路W2。另外，一般，标记是针对电路(切割后的芯片)W2的中心位置进行的，所以将该电路W2的中心位置作为X坐标和Y坐标进行存储。下面，参照图1～图4说明该实施方式的作用。首先，如图1所示，把形成有多个电路W2的基板W1吸附保持在载物台21上，使基板W1的中心和载物台21的中心一致。此时的载物台21和基板W1的中心的X坐标和Y坐标都是零。在该状态下，如图2所示，一面使载物台21在X方向和Y方向移动，一面使将要检查的电路W2移动到显微镜1的光轴上(步骤S1)。例如图3所示，在检查电路本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种标记方法，把形成有多个电路的基板保持在载物台上，根据检查电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息，在对所述特定电路附加标记时，根据关于所述特定电路的所述位置信息，调整所 述基板的位置，然后附加标记。

【技术特征摘要】
JP 2004-3-18 JP2004-0778961.一种标记方法，把形成有多个电路的基板保持在载物台上，根据检查电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息，在对所述特定电路附加标记时，根据关于所述特定电路的所述位置信息，调整所述基板的位置，然后附加标记。2.根据权利要求1所述的标记方法，其特征在于，根据对先检查的基板所测定的位置信息，调整后检查的基板的位置。3.一种标记装置，根据检查形成于基板上的多个电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，具有保持所述基板并被设置成可以移动的载物台；在使用所述载物台检查所述基板上的电路时，存...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢泽雅彦，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]