基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部（６），该浮起平台部（６）使基板（１）浮起并对其进行水平支撑；第１基板搬运装置（９），其保持基板（１）的端部，在使基板（１）在浮起平台部（６）上方浮起的状态下对基板（１）进行搬运；检查部，其对由第１基板搬运装置（９）搬运来的基板（１）进行检查；以及第２基板搬运装置（８），其在浮起平台部（６）的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体（８ｂ），该旋转体（８ｂ）被设置成可以出没于浮起平台部（６）的搬运面，并支撑基板（１）的背面，以将基板（１）搬入到浮起平台部（６）内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如在晶片和液晶玻璃基板等的检查中所使用的基板检查装置。
技术介绍
以往，在晶片和液晶玻璃基板等的宏观检查中，通过对基板表面照射照明光，取入与该反射光或者透射光的光学变化对应的表面的图像，并对其进行图像处理，从而确认涂敷于表面的保护膜的膜不均、气孔等的缺陷和有无尘埃附着等。另外，当确认到在基板表面有缺陷或者尘埃附着等(缺陷)的情况下，用显微镜等微观检查装置对该缺陷进行扩大以进行详细的观察。在这种基板检查装置中，存在如下的装置对基板照射线状的照明光，并使基板在一轴方向上恒速移动，由此用线性传感相机(line sensorcamera)获取基板整个表面的图像。作为该基板的搬运装置，例如存在辊式输送机，该辊式输送机具有旋转驱动装置，该旋转驱动装置在以与移动方向正交的方式按预定间隔排列的多个旋转轴上固定设置多个滚柱，并使旋转轴旋转。在该基板搬运装置中，可以通过旋转驱动装置的驱动来使旋转轴旋转，使载置于滚柱上的基板在一轴方向上移动。具有该辊式输送机的检查平台部一般被称作辊式输送机平台，固定于各旋转轴上的各滚柱的高度被配置为处于同一水平面上，在搬运基板时可以高度保持基板的平坦度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有：浮起平台部，该浮起平台部使基板浮起并对其进行水平支撑；第１基板搬运装置，该第１基板搬运装置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平台部上方浮起的状态下，搬运上述基板；检查部，该检查部对由上述第１基板搬运装置搬运来的上述基板进行检查；以及第２基板搬运装置，该第２基板搬运装置在上述浮起平台部的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体，上述旋转体被设置成可出没于上述浮起平台部的搬运面，并支撑上述基板的背面，以将上述基板搬入到上述浮起平台部内。

【技术特征摘要】
JP 2006-3-16 2006-0727721.一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有浮起平台部，该浮起平台部使基板浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置，该第1基板搬运装置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平台部上方浮起的状态下，搬运上述基板；检查部，该检查部对由上述第1基板搬运装置搬运来的上述基板进行检查；以及第2基板搬运装置，该第2基板搬运装置在上述浮起平台部的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体，上述旋转体被设置成可出没于上述浮起平台部的搬运面，并支撑上述基板的背面，以将上述基板搬入到上述浮起平台部内。2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，上述浮起平台部具有多个以预定间隔进行配置的长方形形状的浮起块，上述第2基板搬运装置的旋转体被设置成可以出没于邻接的各浮起块之间。3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，在上述浮起平台部中，在搬运上述基板的整个搬运面上分散配置有用于喷出使上述基板浮起的气体的孔，在上述搬运面上形成有多个使上述旋转体出没的开口，上述第2基板搬运装置的旋转体通过上述开口从上述搬运面突出。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基板检查装置，其特征在于，上述第2基板搬运装置具有与上述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本胜，藤崎畅夫，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]