衬底输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台（１、１６）和浮起块（１１）上形成的多个空气孔（４、１８、１２）上吹空气而使玻璃衬底（３）浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底（３）在输送方向Ｃ上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使玻璃衬底在输送路径上浮起而进行输送的衬底输送装 置，该玻璃衬底(基板)是用于例如大型液晶显示(下面，省略为LCD)和 等离子显示面板(下面，省略为PDP)等平板显示器(下面，省略为FPD) 等。
技术介绍
近年来，为了对应屏幕的大型化和减少成本的要求，FPD领域中FPD 制造工艺中所处理的玻璃衬底的大小有日益大型化的倾向。作为FPD制造 工艺中输送大型玻璃衬底的方法，已知有采用使用了滚筒的滚动输送机构。例如在专利公开公报2000—193604号和专利公开公报2000—9661号 中记载着输送大型玻璃衬底的技术。前者通过使一对支撑滚筒机构仅接触 被检查衬底(相当于玻璃衬底)下面的左右两侧来进行支撑，且通过与玻 璃衬底的左右端对接的一对限制滚筒机构来限制左右方向的位置。另外， 由于玻璃衬底的中间部分因重力而向下方弯曲，所以为了限制该玻璃衬底 的弯曲，而向玻璃衬底的下面喷射压力空气。后者通过滚动输送部将玻璃衬底输送到缺陷检查部，定位玻璃衬底， 并通过夹持机构夹持玻璃衬底的端部来进行缺陷检查。缺陷检查时，为了 不接触地支撑玻璃衬底，从空气浮起台上设置的排气口中排出高压空气后， 将玻璃衬底的高度保持为一定。但是，前者的玻璃衬底的输送由于使用了一对支撑滚筒机构和一对限 制滚筒机构，故若高速输送玻璃衬底，则在与滚筒接触的玻璃衬底的滚动 面上产生了滚筒的摩擦痕迹。后者为了通过滚动输送部来输送玻璃衬底，与前者相同，若高速输送 玻璃衬底，则在与滚筒接触的玻璃衬底的滚动面上产生了滚筒的摩擦痕迹。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种在非接触状态下进行输送，可进行不 刮伤玻璃衬底的高速输送的衬底输送装置。根据本专利技术的主要观点，提供了一种衬底输送装置，输送平板显示器 制造工艺中所制造的矩形状玻璃衬底，其特征在于，包括衬底浮起块， 形成有空气孔，该空气孔吹出使上述玻璃衬底浮起的空气；槽，在上述衬 底浮起块沿上述玻璃衬底的输送方向而形成；以及衬底输送单元，设置成 可在上述槽内移动，并且具有吸附保持上述玻璃衬底的背面的吸附衬垫， 上述衬底输送单元吸附保持浮起在上述衬底浮起块上的上述玻璃衬底的背 面，并在浮起了上述玻璃衬底的状态下向上述输送方向输送。根据本专利技术的衬底输送装置，上述槽使从上述空气孔向上述衬底浮起 块和上述衬底之间吹出的空气流出。根据本专利技术的衬底输送装置，上述衬底输送单元吸附保持上述玻璃衬 底的端部的背面并输送。根据本专利技术的衬底输送装置，上述衬底输送单元吸附保持上述玻璃衬 底的相对的两边的中央部的背面，并输送。根据本专利技术的衬底输送装置，上述衬底浮起块在上面设有将空气上吹 和吸入的空气孔。附图说明图1是表示本专利技术涉及的衬底输送装置的第一实施例的平面结构图； 图2是同一装置的侧面结构图3是同一装置中，在衬底装载台l上浮起的玻璃衬底的示意图； 图4是同一装置中的玻璃衬底的空气输送动作的示意图； 图5是同一装置中的定位动作的示意图； 图6是同一装置中的定位动作的示意图； 图7是同一装置中的定位动作的示意图；图8是同一装置中的定位动作后的输送玻璃衬底输送的示意图； 图9是表示本专利技术涉及的衬底输送装置的第二实施例的结构图； 图10是同一装置中的在浮起块上形成的多个槽的示意图。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术的第一实施例。图l是将衬底(基板)输送装置适用于大型LCD和PDP等的FPD工序 的成线检查情况下的平面结构图，图2是同一装置的侧面 结构图。将搬入用的衬底装载台1设置在减振台2上。该衬底装载台1装载所 搬入的玻璃衬底3，其宽度(与输送方向C垂直的方向)形成为比玻璃衬底 3的宽度稍短。在该衬底装载台1的上面设置兼用作空气上吹和吸入的多个 空气孔4。另外，这些空气孔4也可大致有规则地设置在衬底装载台1的整 个面上。该衬底装载台1上，在相对于输送方向C为平行方向且相隔预定 间隔地形成两条槽5。另外，在衬底装载台1上设置玻璃衬底3搬入时升降 的多个抬升销(U 7卜O) 6。在衬底装载台1的相对于输送方向C垂直方向的入口侧设置搬入用输 送机器人7。该搬入用输送机器人7通过图中未示的多关节臂使两个手臂8 旋转、前进与后退，同时从盒子中取出未检查的玻璃衬底3，并搬入到衬底 装载台1上。在衬底装载台1的出口侧，沿输送方向C并列设置输送架台9。该输 送架台9形成为长度从玻璃衬底3的搬入侧到搬出侧。将该输送架台9装 载在减振台10上。从该输送架台9上的搬入侧到搬出侧，贯穿该搬入侧与搬出侧的全长 设置浮起块11。该浮起块11形成为其宽度(相对于输送方向C的垂直方向) 比玻璃衬底3的宽度稍短。在该浮起块11的上面设置兼用作空气上吹和吸 入的多个空气孔12。另外，也可在浮起块11的整个面上大致均匀地设置这 些空气孔12。在该浮起块11上，与输送方向C为平行方向且相隔预定的间 隔地形成两条槽13。浮起块11的表面高度与衬底装载台1的表面高度大致 相同。在输送架台9的输送方向C上的大致中间位置上设置对以一定速度进 行输送的玻璃衬底3进行各种检查的检査部E。该检查部E例如将显微镜、 线传感器(，^ >七 > 廿)或CCD摄像机等各种检查用设备14搭载在门型 臂15上。例如，检査用设备14通过所排列的多个线传感器取得玻璃衬底3 的图像数据。并且，通过图像处理该图像数据等来进行例如玻璃衬底3的 图像检查、缺陷检查等。在输送架台9的出口侧，沿输送方向C并列设置搬出用的衬底装载台 16。将该衬底装载台16设置在减振台17上。该衬底装载台16为了搬出从 浮起块11输送来的玻璃衬底3而进行暂时装载，其宽度(相对于输送方向 C的垂直方向)形成为比玻璃衬底3的宽度稍短。在该衬底装载台16的上 面设置兼用作空气上吹和吸入的多个空气孔18。另外，也可在衬底装载台 16的整个面上大致有规则地设置这些空气孔18。该衬底装载台16上相对 于输送方向C为平行方向且相隔预定间隔地形成两条槽19。另外，在衬底 装载台16上设置玻璃衬底3搬出时升降的多个抬升销20。衬底装载台16 的表面高度与浮起块11的表面高度大致相同。在衬底装载台16的与输送方向C为垂直方向的出口侧上设置搬出用输 送机器人21。该搬出用输送机器人通过图中未示的多关节臂使两个手臂旋 转、前进和后退，同时将检查完的玻璃衬底3容纳到盒子内。在输送架台9和减振台17上，沿输送方向C彼此平行地设置多组夹着 浮起块11和衬底装载台16的各一对滑块23 28。 一对滑块23、 24和27、 28设置在一对滑块25、 26的更外侧。另外，将这些滑块23 28的高度位 置设置为相同。将一对滑块23、 24设置在输送架台9入口侧的定位(7，Oy卜) 部A上。在这些滑块23、24上分别可移动地设置成为一对的各输送端部29、 30。这些输送端部29、 30具有分别可沿上下方向伸縮且自由旋转地设置 的各臂29a、 30a;在这些臂29a、 30a的前端部设置的，分别吸附保持玻璃 衬底3背面的两端部的各吸附衬垫29b、 30b;设置在各输送端部29、 30 内，且使各臂29a、 30a沿与输送方向C垂直的方向移动的各推杆(7'， > ^ 、)。将一对滑块25、 26设置在定位部(校准部)A的出口侧与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底输送装置，输送平板显示器制造工艺中所制造的矩形状玻璃衬底，其特征在于，包括：　衬底浮起块，形成有空气孔，该空气孔吹出使上述玻璃衬底浮起的空气；　槽，在上述衬底浮起块沿上述玻璃衬底的输送方向而形成；以及　衬底输送单元 ，设置成可在上述槽内移动，并且具有吸附保持上述玻璃衬底的背面的吸附衬垫，　上述衬底输送单元吸附保持浮起在上述衬底浮起块上的上述玻璃衬底的背面，并在浮起了上述玻璃衬底的状态下向上述输送方向输送。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安田守，藤崎畅夫，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]