【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基板检查装置。例如涉及水平搬运液晶玻璃基板等那样 的薄板状基板并检査表面缺陷的基板检查装置。本申请要求2006年9月11日申请的日本专利申请第2006-245739 号的优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
近些年伴随液晶显示器的大型化，液晶玻璃基板也变得大型。因而， 检查这种薄板状基板的表面缺陷的基板检查装置大多将处于制造工序中 的基板移载到气体浮起台等搬运台上，对基板的端部进行例如吸附保持 等，将其搬运到检查部，通过在检查部水平移动基板，来进行基板表面 的检查。由此减少了用于基板移动的时间、能量损失和搬运对基板造成 的破坏。例如在日本特开2004-279335号公报中，记载了一种基板搬运装置， 该基板搬运装置具有向上吹出空气使基板浮起的浮起块，和吸附保持在 浮起块上浮起的基板的两端并向一个方向搬运基板的基板搬运部(参照 日本特开2004-279335号公报图1)。另夕卜，在日本特开2000-9661号公报中，记载了一种平板检查装置， 该平板检查装置在辊子搬运部的单侧沿着搬运方向设置有Y载物台，通 过把持机构在厚度方向上把持基板的单侧进行搬运(参...
【技术保护点】
一种基板检查装置，该基板检查装置具有： 用于搬运作为被检体的薄板状的基板的搬运台；以及 多个单侧搬运部，它们配置在搬运台的、与搬运方向正交的方向中的任意侧，它们保持基板的端部，并对基板施加搬运力， 该基板检查装置通过在多个单侧搬运部之间依次交接基板，来进行基板的搬运。
【技术特征摘要】
JP 2006-9-11 2006-2457391. 一种基板检査装置，该基板检查装置具有 用于搬运作为被检体的薄板状的基板的搬运台；以及多个单侧搬运部，它们配置在搬运台的、与搬运方向正交的方向中 的任意侧，它们保持基板的端部，并对基板施加搬运力，该基板检查装置通过在多个单侧搬运部之间依次交接基板，来进行 基板的搬运。2. 根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于， 在搬运方向上相邻地配置有多个搬运台，多个...
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